Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий

Актуальность работы. Тонкие плёнки с большим коэффициентом отражения в инфракрасном (ИК) диапазоне длин волн являются эффективным средством защиты объектов от утечки или нежелательного воздействия теплового излучения.

В последнее время важным направлением применения таких плёнок стало снижение потерь тепла из зданий и сооружений. Как показали многочисленные исследования (например, [1]), основным каналом этих потерь являются окна и другие светопрозрачные ограждения. Более 2/3 проходящего через них тепла составляют ИК волны. Они практически полностью передаются стеклом в окружающее пространство, так как в диапазоне излучения объектов с комнатной (или несколько выше) температурой этот материал обладает большим коэффициентом эмиссии. Уменьшение его до минимального значения без существенной снижения коэффициента пропускания видимого света стало одним из основных путей улучшения теплоизолирующих свойств строительного листового стекла.

Наиболее эффективным решением этой задачи является модифицирование его поверхности с помощью теплоотражающих покрытий (ТОП).

В нашей стране окна и другие светопрозрачные ограждения занимают 10−30% от жилой площади. Жилищный фонд России, по статистике [2], составляет.

У 2 около 3,2 млрд. м". Подсчитано [3], что за отопительный сезон 1 м стекла с ТОП сохраняет до 20 кг у. т (1 т условного топлива равна 1,3 т каменного угля [4]). и предотвращает выброс до 200 м³ газообразных загрязнений. Основываясь на этих данных можно оценить, что использование данных покрытий позволит ежегодно экономить 6−20 млн. тонн у.т. и снизит на 60−200 млрд. м3 объём газообразных отходов в атмосфере. Таким образом внедрение ТОП приводит не только к экономическому, но и экологическому эффектам.

Актуальность применения таких покрытий возрастает на фоне повышения требований к термоизоляции светопрозрачных ограждений [5] и увеличения тарифов на тепловую и электрическую энергию.

Помимо решения задачи энергосбережения, ТОП весьма важны для космической отрасли. Элементы с этими покрытиями устанавливаются на поверхности летательных аппаратов и защищают их от теплового воздействия солнечного излучения. В связи с тем, что в последние годы в России наметилась устойчивая тенденция увеличения частоты запусков искусственных спутников, возникла необходимость расширения объёмов производства и повышения качества элементов тепловой защиты. Эта задача решается путём улучшения технологии и повышения производительности процесса изготовления ТОП.

Сегодня надёжно доказано, что большими возможностями при производстве ТОП обладают плазменные технологии, предполагающие получение тонкослойных структур, путем распыления твердотельных мишеней ускоренными газовыми ионами. Причём наибольший интерес вызывают магнетронные источники [6−8]. Их конструкция позволяет осаждать равномерные по толщине высококачественные покрытия на подложки большой площади при относительно небольших удельных энергетических затратах. В плазме магнетронного источника отсутствует капельная фракция. К его достоинствам можно отнести широкий по составу спектр осаждаемых материалов, низкое тепловое воздействие на подложку и т. д. Процесс осаждения покрытий экологически безопасен. Он хорошо поддаётся управлению, что даёт большие возможности его автоматизации.

Помимо разработки технологии осаждения ТОП, важным вопросом является создание соответствующего оборудования и установок. В нашей стране, несмотря на большие достижения в физике низкотемпературной плазмы и технологиях её применения для обработки материалов, внедрение этих методов в промышленности идёт весьма медленно. Значительная часть оборудования и технологий закупается в других странах. Это обстоятельство негативно сказывается на стоимости продукции и делает отечественную промышленность зависимой от зарубежных поставщиков. В связи с этим актуальным является создание и внедрение в производство собственных плазменных технологий и установок.

Поэтому целью диссертационной работы стали теоретические и экспериментальные исследования свойств тонкоплёночных ТОП, создание и внедрение технологии и оборудования для их осаждения с помощью плазмы магнетронного разряда.

Для достижения этой цели были решены следующие задачи.

1. Разработана методика расчёта и оптимизации их оптических, материальных и геометрических параметров ТОП.

2. Создана технология осаждения ТОП на крупноформатное листовое стекло с помощью плазмы магнетронного разряда и ионных пучков.

3. Разработана технология осаждения покрытий элементов тепловой защиты космических летательных аппаратов.

4. Созданы и внедрены в промышленное производство автоматизированные плазменные установки для реализации технологий по пунктам 2 и 3.

Научная новизна работы.

1. Разработана методика оптимизации оптических свойств ТОП на основе эволюционного алгоритма.

2. Впервые для увеличения адгезии серебряной плёнки к стеклянной подложке в покрытиях элементов тепловой защиты космического аппарата обосновано применение тонкого слоя оксида индия.

3. Впервые показана эффективность использования плазмы магнетронного разряда для осаждения теплоотражающих покрытий элементов тепловой защиты космических летательных аппаратов.

Практическая значимость.

1. Созданы и внедрены в производство технология и промышленная плазменная установка для осаждения ТОП на поверхность листового стекла большого формата.

2. Созданы и внедрены в производство технология и промышленные установки для производства элементов тепловой защиты космических летательных аппаратов.

3. Разработана и внедрена технология улучшения адгезии ТОП элементов тепловой защиты спутников.

Научные положения, выносимые на защиту.

1. Методика на основе эволюционного алгоритма является эффективным средством определения оптимальной толщины плёнок многослойных теплоотражающих покрытий.

2. Тонкий подслой 1п20з (95%)-8п02(5%) представляет собой эффективное средство повышения адгезии серебряной плёнки к стеклу.

3. Использование плазмы магнетронного разряда позволяет получить качественные покрытия элементов тепловой защиты космических летательных аппаратов, обеспечивая при этом высокую производительность процесса их изготовления.

4. Реверсивная схема осаждения тонкоплёночных прозрачных теплоотражающих покрытий с помощью плазмы магнетронного разряда является оптимальной для установок производительностью до 100 тыс. м2 стекла в год.

Достоверность полученных результатов подтверждается физической обоснованностью использованных методик расчёта и измерения свойств осаждаемых плазменных покрытий, непротиворечивостью полученных результатов, их внутренним единством и соответствием существующим представлениям о свойствах тонкоплёночных структур. На основе этих результатов были разработаны технологии осаждения покрытий с помощью плазмы магнетронного разряда и промышленные установки для их реализации. Они успешно внедрены в промышленное производство, что также является доказательством корректности полученных результатов.

Личный вклад автора состоит в том, что он разработал методики расчётов оптических свойств ТОП и технологии их осажденияпринимал участие в экспериментальных исследованиях плазменных покрытий, в работах по созданию плазменных установок, их внедрению на промышленных предприятиях, адаптации технологий и оборудования к требованиям производства, занимался испытаниями полученных образцов.

Апробация результатов работы. Основные материалы работы были представлены и обсуждались на научных конференциях и семинарах:

1. 3-я Международная конференция по радиационно-термическим эффектам в неорганических материалах (Томск, 2002 г).

2. 4-я Международная научно-техническая конференция «Измерение, контроль, автоматизация» (Барнаул, 2003 г).

3. Международная конференция по энергосберегающим технологиям (Иркутск, 2004 г).

4. 7-я Международная конференция по модификации материалов пучками заряженных частиц (Томск, 2004 г).

5. 10-я Международная конференция по газовым плазменным разрядам и их применению (Томск, 2007 г).

6. 6-я Международная конференция по физике плазмы и плазменным технологиям (Минск, 2009 г).

7. Международный семинар по перспективным материалам, приборам и конструкциям для космоса (Ереван, 2009 г).

8. Российская научно-практическая конференция по физико-техническим проблемам получения и использования пучков заряженных частиц, нейтронов, плазмы и электромагнитного излучения (Томск, 2010 г).

9. Научные семинары лаборатории 23 и кафедры «Водородная энергетика и плазменные технологии» Физико-технического института ТПУ.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 17 работы, включая 7 статей в изданиях рекомендуемых ВАК и 1 патент на изобретение.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, четырёх глав, заключения и приложений. Она изложена на 153 страницах, включая 65 рисунков, 2 таблицы, 2 приложения и список цитируемой литературы из 134 наименования.

1. Российские энергоэффективные технологии. Энергоэффективные технологии в ЖКХ. Покрытия на стекле и полимерной плёнке / Подготовили Реутов Б. Ф., Слепцов В. В., Пыжов И. Н., Арбузов В. В. — М.: Фабрика офсетной печати, 2002. — Выпуск № 1(4). — 48 с.

2. Жилищное хозяйство и бытовое обслуживание населения в России 2010. Статистический сборник. М.: Росстат, 2010. — 326 с.

3. Территориальные строительные нормы Томской области. Тепловая защита жилых и общественных зданий: ТСН 23−316−2000: приняты и введены в действие с 29.09.2000 постановлением Администрации Томской области № 364 от 29.09.2000.

4. Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings. Science, Applications and Technology / Martin P. M. 3rd ed. — Elsevier, 2010. — 912 p.

5. Magnetron sputtring: a review of recent developments and applications / Kelly P. J., Arnell R. D. // Vacuum. 2000. — Vol. 56, iss. 3. — P. 159−172.

6. Large area glass coatings / Brauer G // Surface and Coatings Technology. -1999. Vol. 112, iss. 1−3. -P. 358−365.

7. History of the development and industrial production of low thermal emissivity coatings for high heat insulating glass units / Glaser H. J. // Applied Optics. 2008. -Vol. 47, iss. 13. — P. C193-C199.

8. Silver-based low-emissivity coatings for architectural windows: optical and structural properties / Martin-Palma R. J., Vazquez L., Martinez-Duart J. M., Malats-Riera // Solar Energy Materials and Solar Cells. 1998. — Vol. 53, iss. 1−2. — P. 55−66.

9. Energy-efficient optical coatings for flat glass / Saidur R., Hasan M. M., Haseeb A. S. M. A., Masjuki H. H. // Journal of Applied Science. 2008. — Vol. 8, № 10.-P. 1883−1890.

10. Низкоэмиссионное покрытие, нанесенное на прозрачную подложку: пат. 2 190 692 Рос. Федерация: МПК7 С23С14/08, С03С17/36 / Суханов А. Б., Чудинов Б. М. — заявители и патентообладатели Суханов А. Б., Чудинов Б. М. — заявл. 13.03.01 — опубл. 10.10.02.

11. Свободные электроны в твердых телах / Гроссе П. М.: Мир, 1982. — 270е., ил.

12. Fluorine doped tin oxide coatings over 50 years and going strong / Gerhardinger P., Strickler D. // Key Engineering Materials. — 2008. — Vol. 380. — P. 169−178.

13. Tin doped indium oxide thin films: Electrical properties / Radhouane В. H. Т., Takayuki В., Yutaka O., Takahashi Y. // Journal of Applied Physics. 1998. — Vol. 83, iss. 5.-P. 2631−2645.

14. Thickness dependence of resistivity and optical reflectance of ITO films // Gao M.-Zh., Job R, Xue De-Sh., Fahrner W R. // Chinese Physics Letters. 2008. -Vol. 25, № 4.-P. 1380−1383.

15. Large area glass coating / Glaser H. J. Dresden: Von Arderme Anlagen Technik, 2000. — 472 p.

16. The N02 sensing ITO thin films prepared by ultrasonic spray pyrolysis / Jiao Zh., Wu M., Qin Zh., Lu M., Gu J // Sensors. 2003. — Vol. 3, iss. 8. — P. 285−289.

17. Анализатор газовых примесей атмосферы на основе полупроводниковых сенсоров / Беликов И. Б., Жерников К. В., Обвинцева JI. А. Шумский Р. А. // Приборы и техника эксперимента. 2008. — № 6. — С. 139−140.

18. Отражающий р-контакт на основе тонких пленок ITO для флип-чип светодиодов AlGalnN / Марков JI. К., Смирнова И. П., Павлюченко А. С., Аракчеева Е. М., Кулагина М. М. // Физика и техника полупроводников. 2009. -Т. 43.-С. 1564−1569.

19. Magnetron sputtered AZO thin films on commercial ITO glass for application of a very low resistance transparent electrode / Fang G., Li D., Yao B.-L. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2002. — Vol. 35, № 23.-P. 3096−3100.

20. Optical solar reflectors Recent developments and problems / Boshma J. // Proceedings of an International Symposium on Spacecraft Materials in Space Environment: Toulouse, France, June 8−12, 1982. — P. 159−173.

21. Композиционные электропроводные материалы для терморегулирования и электростатической защиты / Ермолаев Р. А., Харламов В. А., Евкин И. В., Миронович В. В., Халиманович В. И. // Конструкции из композиционных материалов. 2006. — № 1. — С. 73−80.

22. Optical solar reflectors: пат. 6 587 263 В1 США: МПК7 G02B5/20 / Iacovangelo Ch. D., Pan Y., Wei Ch., Chen M. — патентообладатель Lockheed Martin Corporation — заяв. 31.03.00 — опубл. 01.07.2003.

23. Fabrication of thin films of ITO by aerosol CVD / Maki K., Komiya N., Suzuki A. // Thin Solid Films. 2003. — Vol. 445, iss. 2. — P. 224−228.

24. Coating glass: пат. 2 225 343 Великобритании: МПК4 С03С17/22, С23С16/30 / Grundy В. Th., Hargreaves E., Whitfield P. J. — заявитель Pilkington pic — заявл. 13.10.1989 — опубл. 30.05.90.

25. Магнетронные распылительные системы / Данилин Б. С., Сырчин В. К. -М.: Радио и связь, 1982. 72 е., ил.

26. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Е. В., Сейдман JL А. М.: Техносфера, 2010. — 528 с.

27. Устройства со скрещенными электрическими и магнитными полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади: автореф. дис.. канд. техн. наук: 05.27.02 / Соловьев Андрей Александрович. Томск, 2007.-21 с.

28. Physical properties of ITO thin films prepared by DC-magnetron sputtering for low-e glass / Askari H., Askari M. // Trends in Advanced Science and Engineering. -2011.-Vol. 1, № 2. P. 16−20.

29. Advanced indium-tin oxide ceramics for sputtering targets / Medvedovski E., Alvarez N., Yankov O., Olsson M. K. // Ceramics International. 2008. — Vol. 34, iss. 5.-P. 1173−1182.

30. Transparent conductive zinc oxide: Basics and applications in thin film solar cells. Springer series in materials science 104/ Ed. Ellmer K., Klein A., Rech B. -Springer, 2008. 450 p.

31. A novel technique for the deposition of aluminum-doped zinc oxide films / Kelly P. J., Zhou Y., Postill A // Thin Solid Films. 2003. — Vol. 426. — P. 111−116.

32. Recent aspects concerning DC reactive magnetron sputtering of thin films: A review / Safi I. // Surface and Coatings Technology. 2000. — Vol. 127, iss. 2−3. — P. 203−219.

33. Reactive gas control of non-stable plasma conditions / Bellido-Gonzalez V., Daniel В., Counsell J., Monaghan D. // Thin Solid Films. 2006. -Vol. 502. — P. 34−39.

34. Magnetron sputtering of ITO and ZnO films for large area glass coating / May C., Strumpfei J., Schulze D. // Proceeding of the 43h Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters: April 17−20, 2000, Denver, USA. P. 34−38.

35. Thin Film Photovoltaic Production Technology / Willkommen U., Dimer M. // Workshop Proceedings of the 3rd International Workshop Thin Film in the Photovoltaic Industry: 22−23 November, 2007, Ispra, Italy / Ed. Jager-Waldau A. P. 67−89.

36. Оптимизация магнетронной распылительной системы / Асаинов О. X., Ибрагимов Е. А., Кривобоков В. П., Юрьев Ю. Н. // Известия вузов. Физика. -2009. № 11/2. — С. 202−205.

37. Planar magnetron sputtering magnet assembly: пат. 5 262 028 США: МПК3 С23С14/35 / Manly В. W. — патентообладатель Sierra Applied Sciences, Inc. — заявл. 01.06.92 — опубл. 16.11.93.

38. High target utilization magnet array and associated methods: пат. 6 372 098 B1 США: МПК7 C23C14/35 / Newcomb R. L., Ceelen H. P. Th. — патентообладатель The BOC Group, Inc. — заявл. 28.09.20 — опубл. 16.04.02.

39. Function and Production of Coatings on Architectural Glass. Basic and Overview электронный ресурс. Режим доступа: http://www.leyboldoptics.com/cms/upload/downloads/GlassCoatingTechnologyPri mer. PDF, свободный.

40. Coatings Technology Handbook / Ed. Tracton A. A. 3rd ed. — CRC Press, 2006. — 828 p.

41. Chemical vapour deposition of coatings / Choy K. L. // Progress in Materials Science. 2003. -Vol.48. — P. 57−170.

42. Optical solar reflector: пат. 5 541 010 США: МПК6 B32B18/00 / Tranzilli R. A., Gebhardt J. J. — патентоообладатель The United States of America As Represented By The Secretary Of The Air Force — заявл. 23.09.93 — опубл. 30.07.96.

43. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел / Под ред. Бериша Р. М.: Мир, 1984. -336 е., ил.

44. Plasma and ion sources in large area coatings: A review / Anders A. // Surface and Coatings Technology. 2005. — Vol. 200, iss. 5−6. — P. 1893−1906.

45. Industrial ion sources: Broadbeam gridless ion source technology / Zhurin V. V. Wiley-VCH, 2012. — 326 p.

46. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов / Гильман А. Б., Потапов В. К. // Прикладная физика. 1995. — № 3−4. — С. 14−21.

47. Plasma surface modification of polymers. Relevance to adhesion volume 4/ Ed. by Mittal K. L. VSP: Leiden — Boston, 2007. — 305 p.

48. Investigation of the effect of activating the surface of Teflon-4 on its joining and metallizing characteristics / Soshko A. I., Teterskii V. A., Roter E. A., Gural V. M., Tynnyi A. N. // Materials Science. 1973. — Vol. 6, № 5. — P. 600−603.

49. Физика тонких пленок / Под ред. Хасса Э. и Туна Р. Э. М.: Мир, 1968. — Т. III. — 322 с.

50. Автоматизированное нанесение тонкопленочных интерференционных покрытий в вакууме / Введенский В. Д., Фурман Ш. А. — JL: Ленинградский дом научно-технической пропаганды, 1983. 27 с.

51. Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Майссела Л., Гленга Р. -М.: Советское радио, 1977. Т. 1. — 664 е., ил.

52. Vacuum deposition onto webs, films, and foils / Bishop Ch. A. New York: William Andrew Publishing, 2007. — 473 p.

53. Practical design and production of optical thin film / Willey R. R. New York: Marcel Dekker, 2002. — 547 p.

54. Основы оптики / Борн M., Вольф Э. М.: Наука, 1973. — 720 е., ил.

55. Solar optical properties of windows / Rubin M. // Energy Research. 1982. -Vol. 6.-P. 123−133.

56. A single-thin-film model for the angle dependent optical properties of coated glazings / Maestre I. R., Molina J. L., Roose A., Coronel J. F. // Solar Energy. 2007. -Vol. 81, iss. 8.-P. 969−976.

57. Физика тонких пленок / Под ред. Франкомба М. X. и Гофмана Р. У. М.: Мир, 1973.-Т. VI.-392 с.

58. Измеритель оптической толщины пленки / Баинов Д. Д., Лебедев Е. В., Меркулов С. В. // Измерение, контроль, информатизация: Материалы IV Международной научно-технической конференции / Под ред. Яканина А. Г. -Барнаул: Изд-во АГТУ, 2003. С. 55−58.

59. Determination of the thickness and optical constants of amorphous silicon / Swanepoel R. // Journal of Physics E: Scientific Instruments. 1983. — Vol. 16, № 12. -P. 1214−1222.

60. A simple spectrophotometric method for determination of the optical constants and band gap energy of multiple layer ТЮ2 thin films / Sreemany M., Sen S. // Materials Chemistry and Physics. 2004. -Vol. 83, iss. 1. — P. 169−177.

61. Метод отношения огибающих спектра отражения для определения оптических постоянных и толщины тонких пленок / Филиппов В. В. // Оптика и спектроскопия. 2000. — Т. 88, № 4. — С. 641−646.

62. Determination of optical constants of thermally evaporated CdSxSeix thin films using only transmission spectra / Soliman L. I., Ibrahim A. M. // Fizika A. 1997. -Vol. 6, iss. l.-P. 181−189.

63. Determination of (nk) for absorbing thin films using reflectance measurements / Siqueiros J. M., Regalado L. E., Machorro R. // Applied Optics. 1988. — Vol. 27, № 20. — P. 4260−4264.

64. A method for determining thickness and optical constants of absorbing thin films / Pekker D., Pekker L. // Thin Solid Films. 2003. — Vol. 425, iss. 1−2. — P. 203 209.

65. Determination of optical parameters of very thin (A/50) films / Gushterova P. Sharlandjiev P. Hristov B. // Applied Optics. 2008. — Vol. 47, № 28. -P. 5117−5122.

66. Method for calculating the optical constants of a non-transmitting layer upon a transmitting substrate / Minkov D. A., Dashkova P. H. // Thin Solid Films. 1990. -Vol. 191, iss. 2.-P. 193−200.

67. Exact expressions for calculating thin-film absorption coefficients from laser calorimetric data / Bubenzer A., Koidl P. // Applied Optics. 1984. — Vol. 23, № 17. -P. 2886−2891.

68. Эллипсометрия метод исследования поверхности / Под ред. Ржанова А. В. — Новосибирск: Наука, 1983. -180 с.

69. Kramers-Kronig relations in optical materials research. Springer series in optical sciences 110/ Ed. Lucarini V., Saarinen J. J., Peiponen K.-E., Vartiainen E. M. -Berlin: Springer, 2005. 162 p.

70. Методы расчета рефракционных индексов тонких кристаллических пленок / Ловецкий К. П., Жуков А. А. // Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Прикладная и компьютерная математика. 2005. — Т. 4, № 1. — С. 56−66.

71. Handbook of Optical Constants of Solids / Ed. by Palik E. D New York: Academic Press, 1985. — 804 p.

72. Оптимизация параметров плазменных теплоотражающих покрытий / Баинов Д. Д., Кривобоков В. П., Легостаев В. Н. // Известия Томского политехнического университета. 2004. — Т. 307, № 2. — С. 29−33.

73. High transmittance, low emissivity coatings for substrates: пат. 6 524 688 B1 США: МПК7 G02B5/28 / Eby E., O’Shaughnessy R., Bond R. — патентообладатель Cardinal CG Company — заявл. 11.03.97 — опубл. 25.02.03.

74. Low-e coating with high visible transmission: пат. 6 942 923 США: МПК7 B32B9/00 / Stachowiak G. — патентообладатель Guardian Industries Corp. — заявл. 09.12.02 — опубл. 13.09.05.

75. Интерференционные покрытия / Крылова Т. Н. М.: Наука, 1968. — 282е., ил.

76. Синтез слоистых сред / Тихонравов А. В. -М.: Знание, 1987. 48 с.

77. Synthesis of optical multilayer systems using genetic algorithms / Martin S., Rivory J., Schoenauer M. // Applied Optics. 1995. — Vol. 34, № 13. — P. 2247−2253.

78. Markov-chain Monte Carlo approach to the design of multilayer thin-film optical coatings / Hobson M. P., Baldwin J. E. // Applied Optics. 2004. — Vol. 43, № 13.-P. 2651−2660.

79. Inhomogeneous optical filter design with the use of a Riccati equation / Chang H., Lee S.-S., Choi M.-R., Lim S. // Microwave and Optical Technology Letters. 1999. — Vol. 22, № 2. — P. 140−144.

80. Gradient-index optical filter synthesis with controllable and predictable refractive index profiles / Cheng X., Fan В., Dobrowolski J. A., Li W, Wang Zh. // Optics Express. 2008. — Vol. 16, № 4. — P. 2315−2321.

81. Оптимизация коэффициента пропускания теплоотражающих покрытий / Дыскин В. Г. // Известия Томского политехнического университета. 2007. — Т. 310, № 1.-С. 96−98.

82. Optimization of interference filters with genetic algorithms applied to silver-based heat mirrors / Eisenhammer Т., Lazarov M., Leutbecher M., Schiffel U., Sizmann R.//Applied Optics. 1993.-Vol. 32, № 31.-P. 6310−6315.

83. Оптика и атомная физика / Поль Р. В. М.: Наука, 1966. — 552 е., ил.

84. Antireflection treatment of low-emitting glazings for energy efficient windows with high visible transmittance / Hammarberg E., Roos A. // Thin Solid Films. 2003. — Vol. 442, iss. 1. — p. 2220−226.

85. Review of modern techniques to generate antireflective properties on thermoplastic polymers / Schulz U. // Applied Optics. 2006. — Vol. 45, № 7. — P. 1608−1618.

86. Optimization of antireflecting effect of heat-reflecting coatings / Bainov D. D., Krivobokov V. P. and Legostaev V. N. // Applied Solar Energy. 2004. — Vol. 40, № 3. — P. 78−83.

87. Просветление оптики / Под ред. академика Гребенщикова И. В. М.: ОГИЗ — Гостехиздат, 1946. — 212 с.

88. Строительные нормы и правила. Строительная климатология: СНиП 23−01−99*: утв. Госстроем РФ 11.06.99: введ. в действие с 01.01.00 М.: ГП ЦПП, 2010.-70 с.

89. Строительные нормы и правила. Тепловая защита зданий: СНиП 2302−2003: приняты и введ. в действие Госстроем РФ 26.06.03. СПб.: ДЕАН, 2005. -64 с.

90. Vacuum glazing: Current performance and future prospects / Eames Ph. C. // Vacuum.-2008.-Vol. 82, iss. 7.-P. 717−722.

91. International standard ISO 10 292. Glass in building Calculation of steady-state U values (thermal transmittance) of multiple glazing. — 8 p.

92. Строительные нормы и правила. Строительная теплотехника: СНиП II-3−79*: утв. Госстроем РФ 19.01.98: введ. в действие 01.03.98. М.: ГП ЦПП, 1998.-29 с.

93. Исследования факторов влияющих на теплозащитные свойства стеклопакетов / Соболь Н. П., Ткачева С. А., Саввова О. В., Шалыгина О. В. // Зб1рник наукових праць ВАТ «УкрНД1Вогнетрив1 В IMem A.C. Бережного». 2008. -Т. 108.-С. 210−214.

94. Теория теплопроводности / Лыков А. В. М.: Высшая школа, 1967.600 с.

95. Стекло листовое. Технические условия: ГОСТ 111–2001 — введ. 01.01.03. -М.: Изд-во стандартов, 2002.-20 с.

96. Плазменные низкоэмиссионные покрытия для теплоизоляции зданий и сооружений / Асаинов О. X., Баинов Д. Д., Кривобоков В. П., Пащенко О. В. // Известия вузов. Физика. 2007. — Т. 50, № 10/3. — С. 72−78.

97. Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра / Асаинов О. X., Баинов Д. Д., Кривобоков В. П., Пащенко О. В. Юдаков С. В. // Известия вузов. Физика. 2012. — Т. 55, № 11/2. — с. 241−246.

98. Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера: автореф. дис.. канд. техн. наук: 05.27.06 / Колесник Леонид Леонидович. -М., 2009, — 16 с.

99. The technology of glass and ceramics: An introduction. Glass science and technology, 4 / Hlavac J. Amsterdam — Oxford — New York: Elsevier, 1983. — 429 p.

100. Визуальный контроль качества стекла / Кумалагов И. А. // Окна. Двери. Витражи. 2003. — № 3. — С. 1−6.

101. Optical properties of soda-lime float glass from spectroscopic ellipsometry / Synowicki R. A., Johs B. D., Martin A. C. // Thin Solid Films. 2011. — Vol. 519, iss. 9.-P. 2907−2913.

102. Optical constants and bulk optical properties of soda lime silica glasses for windows / Rubin M. // Solar Energy Materials. 1985. — Vol. 12, № 4. — P. 275−288.

103. Физика тонких пленок / Под редакцией Хасса Э. и Туна Р. Э. М.: Мир, 1972.-Т. V. — 344 с.

104. Optical properties of thin Ag films deposited by magnetron sputtering / Charton C., Fahland M. // Surface and Coatings Technology. 2003. — Vol. 174−175. -P. 181−186.

105. Плазменные теплоотражающие покрытия / Асаинов О. X., Баинов Д. Д., Кривобоков В. П., Михайлов М. Н., Пащенко О. В. Юдаков С. В., Чернятина А. А. // Известия вузов. Физика. 2011. — Т. 54, № 11/2. — С. 154−157.

106. Плазменная установка для нанесения модифицирующих покрытий на поверхность твердых тел «Яшма-2» / Ананьин П. С., Баинов Д. Д., Косицын Л. Г., Кривобоков В. П., Легостаев В. Н., Юдаков С. В. // Приборы и техника эксперимента. 2004. — № 4. — С. 138−141.

107. Источник интенсивных широких пучков ионов газов на основе разряда с полым катодом в магнитном поле / Гаврилов Н. В., Никулин С. П., Радковский Г. В. // Приборы и техника эксперимента. 1996. — № 1. — С. 93−98.

108. Формирование ленточного эмиттера ионов в импульсной плазме с плазменным катодом / Гаврилов Н. В., Емлин Д. Р., Каменских А. С., Меньшаков А. И. // Известия вузов. Физика. 2009. — № 11/2. — С. 85−90.

109. Обработка поверхности материалов плазмой магнетронного разряда и ионными пучками / Асаинов О. X., Баинов Д. Д., Кривобоков В. П., Юдаков С. В. // Известия вузов. Физика. 2009. — Т. 52, № 11/2. — С. 172−175.

110. Система управления промышленной плазменной установкой / Зоркальцев А. А., Кривобоков В. П., Юдаков С. В. // Известия Томского политехнического университета. 2005. — Т. 308, № 4. — С. 59−53.149.