ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ
ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ (ΠΠΠΠ’ — High Electron Mobility Transistor), Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π½Π΅Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠ»ΠΎΠ΅Π². ΠΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ, Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, Π² ΠΠΠ-ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΠΠΠ-ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΌΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π° ΡΠ»Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ
, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΎΠ². Π Π°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΡΠΎΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΡΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π½Π° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ
ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Ρ (Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ
Π»ΠΎΠ²ΡΡΠ΅ΠΊ) ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄Π° Π² Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΡΡΠΈΠΈ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ
Π»ΠΎΠ²ΡΡΠ΅ΠΊ). Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π° 8-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½Π°Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ°Ρ Π½Π° Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π£ΠΠ, ΡΡΠΎ Π΄Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ Π²ΡΠ΅Ρ
ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΡΡ
Π½Π° ΡΠ°Π½Π½ΠΈΡ
ΡΡΠ°ΠΏΠ°Ρ
ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ
ΡΡΠ°ΠΏΠ°Ρ
ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΠ΅ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π£ΠΠ. ΠΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ², ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ
Π΄Π΅Π»ΠΎ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ
ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ
ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΊΠΈ (Π€Π Π’) ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ
ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ (ΠΠΠ€)). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ
Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½ΠΎ ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½, ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡ
ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ, Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ. ΠΡΠΎ ΠΈ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π°, ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° Π½Π° Π΄Π°Π»ΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ, ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π°, ΡΠ»ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ»Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΠΈΠΉΡΡ ΠΊ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ. ΠΡΡΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ
ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π·Π°Π΄Π°Ρ. Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ
ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ
ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΡΡ
Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ ΠΎΡΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΡΡ
ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ X*, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡΠΌ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠΈΡ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΡΠΈΡ
ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΠ°Π·Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΠΈ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΠΈΡ
ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠ΅Π² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ Π΄Π²ΡΡ
Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ Π°ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΡΡ Π±Π΅Π·Π°Π±Π΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΈΠ· Π°Π±Π΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ°, ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π΄Π²ΡΡ
Π°ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π». ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ
ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΌΠ°Π»ΡΡ
ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΡΡ
ΠΎΡ Π·Π°Π΄ΡΠΌΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΡ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΡ
ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ
: ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΠΊΠΎΠ»Π°-ΡΠ΅ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ»ΠΎΠ΄ΡΡ
ΡΡΠ΅Π½ΡΡ
«Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ» (Π’ΠΎΠΌΡΠΊ, 2004 Π³.), International Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials «EDM — 2005» (Er-lagol, 2005), IEEE International Siberian Conference on Control and Communications «SIBCON-2005…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΡ
Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΠΊΡ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° «Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ
» ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ², ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΈΡ
ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° Π Π’Π Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΠΌ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ AlGaN/IGaN/GaN ΠΈ AlInGaP ΡΡ
ΠΎΠΆΠΈ Ρ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΠΈ SiC p-i-n ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, Π½Π΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ
Π½Π° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠ½ΡΡΠ΅. Π’Π΅ΠΎΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΡΡ
Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ (ΠΠΠ₯) p-i-n Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π±ΡΠ»Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° Π² ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ. Π ΡΡΠΈΡ
ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΏΡΠΎΠ±Π°ΡΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ
: ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ «ΠΠ°ΡΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ: Π¨Π°Π³ Π² Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅-2006» (ΠΠΈΠ΅Π², 2006) — V ΠΈ VI International Conference Plasmas' Physics and Plasma Technology — PPPT (Minsk, 2006 ΠΈ 2009) — IV, V ΠΈ VI ΠΡΠ΅ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ «Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°» (ΠΠ°Ρ
Π°ΡΠΊΠ°Π»Π°, 2006, 2008 ΠΈ 2010) — VIII ΠΈ IX ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π² ΠΏ. 6, ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΡΡ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΡΠΌΠΎΡΠ³ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΠΎΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Οu Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄Π΅. ΠΠΎΡΡΠ½ΠΈΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ ΠΠ₯Π§ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΠΈΠ΄ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅. ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ½ΡΠ°, Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΠ°Π΄Π° ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ°. ΠΠ²Π΅Π΄ΡΠ½ ΠΠ’Π£Π G1 Ρ ΠΊΡΡΡΠΈΠ·Π½ΠΎΠΉ, Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠΎ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΠΉ Π½Π° Π ΠΈΡ. 3, ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ S = Ku/Rout…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ