Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
В связи с высокой конкуренцией на рынке микроприборов задача снижения стоимости процесса с заметным повышением качества обработки приборов крайне актуальна. Это объясняется и тем, что микроприборы в пластмассовых корпусах являются массовыми, поскольку они дешёвые и их применение чрезвычайно широкое. Следовательно оптимизация технологического процесса — задача, включающая комплекс исследований… Читать ещё >
Содержание
- 1. Обработка поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц
- 1. 1. Виды обработки поверхности
- 1. 2. Обработка различных материалов, состояние поверхности
- 1. 3. Используемые модели взаимодействия частиц с поверхностью. Недостатки существующих моделей
- Выводы по разделу
- 2. Динамическое взаимодействие частиц различной конфигурации с поверхностью
- 2. 1. Динамическое состояние частиц в потоке
- 2. 2. Напряжённо-деформированное состояние поверхностного слоя при воздействии частиц на поверхность
- 2. 3. Износ частицы при её взаимодействии с поверхностью
- 2. 4. Взаимодействие потока частиц с поверхностью
- 2. 5. Температурное поле на поверхности обрабатываемой детали
- Выводы по разделу
- 3. Методы исследования, оборудование
- 3. 1. Установка измерения прочности частиц порошков и облоя
- 3. 2. Установка измерения динамической твёрдости материалов
- 3. 3. Установка измерения динамических характеристик пластин из различных материалов при ударном локальном возбуждении
- 3. 4. Установка обработки микроприборов потоками твёрдых частиц
- Выводы по разделу
- 4. Исследование процесса финишной обработки микро -приборов в пластмассовых корпусах потоком твёрдых частиц
- 4. 1. Структурные дефекты элементов микроприбора
- 4. 2. Анализ прочности выводов и сцепления облоя с выводами
- 4. 3. Рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора после обработки
- 4. 4. Рекомендации по оптимизации технологического процесса обработки микроприборов потоком твёрдых частиц
- Выводы по разделу
Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Обработка поверхности материалов потоком твёрдых частиц является широко используемым технологическим процессом в металлургии, машиностроении, приборостроении. Такой вид обработки позволяет решить ряд задач — очистка поверхности от загрязнения, придание ей декоративного вида, очистка литья, размерная обработка, упрочнение поверхностного слоя и т. д. [1 — 5].
Подобный технологический процесс находит применение в микроэлектронике в производстве микроприборов с пластмассовым корпусом на этапе финишной обработки.
Основная цель процесса — удаление дефектов в виде заусенцев и об-лоя, повышение качества поверхности и декоративных свойств приборов.
Требования к порошкам, используемым в обработке микроприборовхимическая инертность материала порошка, твёрдость частиц выше твёрдости обрабатываемых материалов, размер частиц значительно меньше размера наименьших элементов приборов (<200 мкм), подвергаемых обработке.
Обрабатываемыми элементами прибора являются металлические элементы (вывода) и пластмассовый корпус. Поверхность металлических выводов в исходном состоянии соответствует поверхности листа после прокатки с развитым рельефом, где присутствует большое число структурных дефектов в виде трещин и рисок.
Поверхность пластмассового корпуса микроприбора после прессования имеет сложный рельеф и также не отличается высоким качеством.
Существующий технологический процесс обработки микроприборов обладает рядом существенных недостатков. Он дорогой, малопроизводительный, требует специальных экзотических порошков. Такие порошки представляют собой косточковую крошку от абрикосов с размером частиц.
500−2500 мкм. Крупные частицы порошка часто разрушают элементы выводов приборов, поскольку размер этих элементов меньше размера бомбардирующей частицы. Удар массы крупных частиц по прибору приводит к высоким динамическим напряжениям, что в ряде случаев заканчивается разрушением элементов микросхемы.
Качество обработки определяется и структурными изменениями. Так при ударе частицы о поверхность в зоне воздействия формируется очаг пластической деформации с импульсным изменением температуры [40].
В связи с высокой конкуренцией на рынке микроприборов задача снижения стоимости процесса с заметным повышением качества обработки приборов крайне актуальна. Это объясняется и тем, что микроприборы в пластмассовых корпусах являются массовыми, поскольку они дешёвые и их применение чрезвычайно широкое. Следовательно оптимизация технологического процесса — задача, включающая комплекс исследований, в том числе динамики напряжённо-деформированного состояния микроприборов, структурных изменений материалов, механо-физических явлений в зоне взаимодействия бомбардирующей частицы с поверхностью.
На сегодняшний день во многих работах предпринята попытка разработать теорию процесса взаимодействия потока частиц с поверхностью материала [6 — 10]. Однако приемлемой теории, позволяющей понять явление в момент взаимодействия частицы с поверхностью нет, а следовательно нет и подходов к выбору оптимальных режимов обработки.
Цель работы: Исследование процесса взаимодействия потока твёрдых микрочастиц с поверхностью материала, разработка технологических рекомендаций и оптимизация процесса финишной обработки микроприборов.
Актуальность работы определяется необходимостью повышения качества обработки и снижения её себестоимости.
Новизна исследования заключается в разработке теоретических положений и определения принципов выбора режимов обработки микроприборов, размеров частиц и материала обрабатывающего порошка.
Научное и прикладное значение:
1. Разработана методика выбора размера частиц и её геометрии.
2. Разработана методика анализа разрушения облоя на элементах микроприборов.
3. Разработана методика оценки прочности микрочастиц порошка.
4. Разработана методика оценки температуры в очаге взаимодействия частиц с поверхностью.
5. Разработана более дешёвая технология, основанная на использовании мелкофракционных природных порошков окислов с овальной формой частиц.
На защиту выносятся:
1. Результаты исследования воздействия частиц порошка на поверхность элементов прибора.
2. Результаты исследования состояния поверхности элементов прибора.
3. Результаты исследования свойств порошка в процессе обработки поверхности прибора.
Результаты исследований изложены в диссертации следующим образом. Первый раздел посвящён обработке поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц. Рассмотрены виды обработки поверхности, обработка различных материалов, состояние поверхности, используемые модели взаимодействия частиц с поверхностью и недостатки существующих моделей.
Во втором разделе исследуется динамическое взаимодействие частиц различной конфигурации с поверхностью. Рассмотрены следующие вопросы: динамическое состояние поверхностного слоя при воздействии частиц на поверхность, износ частицы при её взаимодействии с поверхностью, взаимодействие потока частиц с поверхностью, температурное поле на поверхности обрабатываемой детали.
В третьем разделе представлены методы исследования и оборудование. Приводятся схемы и описываются принципы действия установок измерения прочности частиц порошков и облоя, измерения динамической твёрдости материалов, измерения динамических характеристик пластин из различных материалов при ударном локальном возбуждении, обработки микроприборов потоками твёрдых частиц.
Четвёртый раздел посвящен изучению процесса финишной обработки микроприборов в пластмассовых корпусах потоком твёрдых частиц. Рассматриваются структурные дефекты элементов микроприбора. Проводится анализ прочности выводов и сцепления облоя с выводами. Исследован рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора после обработки. Даются рекомендации по оптимизации технологического процесса обработки микроприборов потоком твёрдых частиц.
В заключении приведены общие выводы по результатам исследования.
Результаты работы внедряются на А. О. «Ангстрем» .
Отдельные положения работы докладывались на межвузовских научно-технических конференциях «Микроэлектроника и информатика» в 1996,1997, 1998 годах.
По теме диссертации опубликованы 2 статьи.
Автор выражает благодарность научному руководителю профессору Тимофееву Владимиру Николаевичу, а также преподавателям и сотрудникам кафедры «Техническая механика» за помощь во время работы над диссертацией.
Общие выводы.
1. Анализ основных видов обработки поверхности твёрдого тела потоком твёрдых частиц, используемых в промышленности показал, что применяемые установки и материалы не пригодны для обработки микроприборов в пластмассовых корпусах.
2. Из рассмотрения существующих моделей взаимодействия частиц с поверхностью установлено, что их общим недостатком является отсутствие принципа подбора размера, формы и материала частиц при обработке деталей разных конфигураций из различных материалов, а также то, что модели не затрагивают обработку слоистых структур (облой на поверхности материала). Показана актуальность задачи разработки теоретических положений и принципов выбора технологических режимов обработки микроприборов, материала обрабатывающего порошка.
3. Проведён анализ напряжённо-деформированного состояния поверхностного слоя при воздействии частиц на поверхность. Представлена расчётная оценка параметров взаимодействия для различных материалов, обработанных сферическими частицами. Установлено, что глубина наклёпанного слоя не превышает 10−12% диаметра частицы.
4. Построена модель износа частицы при её взаимодействии с поверхностью. Показано, что разрушение частицы определяется формированием трещин от действия растягивающих напряжений для хрупких материалов и за счёт скольжения в зоне контакта пластичных материалов.
5. Установлена зависимость плотности ударов частиц на поверхности мишени и высоты микровыступов от скорости перемещения мишени. Показано, что для получения наименьшего рельефа скорость перемещения мишени не должна превышать 5 мм/с.
6. Проведён анализ температурного поля на поверхности обрабатываемого материала. Установлено, что для металлов при взаимодействии со сферической частицей мгновенная температура на поверхности, в зависимости от времени контакта и мощности источника, может достигать температуры плавления.
7. Для проведения исследований разработаны установки и методики измерения прочности частиц порошков и облоя, динамической твёрдости материалов, динамических характеристик материалов микроприборов. Разработана схема трёхпозиционной универсальной высокопроизводительной установки финишной обработки микроприборов для работы с различными газами и с управляемой подачей микроприборов в зону обработки.
8. Изучены структурные дефекты элементов микроприбора. Показано, что основными дефектами материала корпуса являются поры размером 10−50 мкм с произвольной формой. Дефекты выводов — рельеф поверхности с высотой продольных микровыступов до 10 мкм.
Установлено, что площадь фактического контакта облоя с поверхностью выводов составляет 30−60% от контурной площади.
9. Из анализа прочности сцепления облоя с выводами установлено, что для разрушения облоя в окнах достаточно давления газового потока.
Показано, что от действия косточковой крошки напряжённое состояние в выводе не удовлетворяет условию прочности. Можно ожидать, что в наиболее слабом сечении вывода возможно развитие трещины, т. е. возможно разрушение. Обработка микроприборов стеклянными микросферами и частицами песка не приводит к разрушению выводов, т. к. напряжения от действия таких частиц много меньше предела прочности материала выводов.
10. Показано, что рельеф поверхности выводов и корпуса микроприбора после обработки различными порошками зависит от размера частиц. Так при обработке косточковой крошкой рельеф более развитый, а после обработки микросферами и песком боле слабый «выглаженный» .
11. На основании проведённых исследований сформулированы рекомендации по выбору технологических параметров обработки микроприборов в пластмассовых корпусах: диаметр выходного отверстия сопла для порошков из стеклянных микросфер и овального песка [)с = 10 мм, для порошка из косточковой крошки Ос = 9 ммрасстояние от выходного отверстия сопла до обрабатываемой поверхности С =90−110 ммдавление сжатого газа р = 5 атмвремя обработки микроприбора при использовании порошков из стеклянных микросфер и овального песка «6−8 с, а при использовании косточковой крошки ~ 3−4 с. скорость перемещения микроприборов в зоне обработки 4−5 мм/с.
Частицы порошка должны быть меньше в 2−2,5 раза наименьшего размера элемента микроприбора. Форма частиц должна быть сферической или овальной.
Исходя из экономических требований, для обработки микроприборов в пластмассовых корпусах рекомендуется природный порошок из озёрного песка состава ЗЮг-СаОРегОз с частицами фракции 120−150 мкм.
Стоимость такого порошка ниже стоимости порошка из косточковой крошки в ~ 10 раз.
Список литературы
- Бурке Дж., Вайс Ф. Обработка поверхности и надёжность материалов: Пер. с англ. / Под ред. Э. М. Лазарева. — М.: Мир, 1985. — 192 с.
- Полякова К. К., Коноплянский В. С. Защитные покрытия труб. — М.: Металлургия, 1975. — 216 с.
- Покрытия и обработка поверхности для защиты от коррозии и износа. Сб. статей / Под ред. К. Н. Стаффорда. — М.: Металлургия, 1991. — 238 с.
- Гинберг А. М. Повышение антикоррозионных свойств металлических покрытий. — М.: Металлургия, 1984. — 168 с.
- Достижения науки о коррозии и технология защиты от неё. Коррозионное растрескивание металлов / Под ред. М. Фонтана, Р. Стейла. — М.: Металлургия, 1985. — 488 с.
- Рачёв X., Стефанов С. Справочник по коррозии. — М.: Мир, 1982. — 520 с.
- Синявский В. С. Коррозия и защита алюминиевых сплавов. — М.: Металлургия, 1986. — 368 с.
- Скалли Дж. Основы учения о коррозии и защите металлов: Пер. с англ.1. М.:Мир, 1978, —232 с.
- Улиг Г. Г., Реви Р. У. Коррозия и борьба с ней. Введение в коррозионную науку и технику. — Л.: Химия, 1989. — 455 с.
- Ю.Защитные покрытия на металлах. Сб. статей. Вып. 9. — Киев, 1975.208 с.
- П.Петров Н. В. Окраска металлических поверхностей. — М.: Химия, 1978.368 с.
- Скворцов К. Ф. Подготовка поверхностей деталей для нанесения покрытий. —М.: Машиностроение, 1980. — 64 с.
- Гарбер М. И. Прогрессивные методы подготовки поверхности. — М.: Машиностроение, 1990. — 59 с.
- Балалаев Г. А. Защита строительных конструкций от коррозии. — М.: Стройиздат, 1966. — 67 с.
- Бахвалов Г. Т., Турковская А. В. Коррозия и защита металлов. — М.: Металлургиздат, 1959. — 268 с.
- Обработка поверхности алюминия и его сплавов перед нанесением лакокрасочных покрытий: Научно-технический и производственный опыт, № М-59−235/23 / ЦИТЭИН. — 1959. — 57 с.
- Марутян С. В., Бойко И. А., Голубев А. И. Активация поверхности стали путём её ударной обработки // Физика и химия обработки материалов. — 1988, — № 2. — с. 74−78.
- Покрытия и обработка поверхности для защиты от коррозии и износа. Сб. статей / Под ред. В. В. Кудинова. — М.: Металлургия, 1991. — 257 с.
- Иванов В. К. Справочник инженера-строителя: В 2 т. — М.: Стройиздат, 1968, —2 т.
- Голант Ш. Н. Справочник по отделочным работам. — М.: Госстрой-издат, 1961. — 317 с.
- Соколов А. Н., Липницкий А. М. Механизация работ по обрубке и очистке литья. — М.: Машгиз, 1957. — 132 с.
- Gesell W. Jahresubersicht Ritzverfahren und einrichtungen // Gesserei. —1971, —Vol 58, № 18, —s. 536−544.
- Gesell W. Jahresubersicht Putzverfahren und einrichtungen // Gesserei. —1972. — Vol 59, № 17. — s. 535−545.
- Horowitz J. Les installations de decapage mecanigue dans le domains de la metallurgie et indusries annexes // Schweiz, techn. z. — 1978. — Vol 75, № 15−16, —s. 436−442.
- Claning of castings // Brit. Foimdryman. — 1983. — Vol 76, № 11. — s. 193−208.
- Никитин А. И., Чумак Б. Н., Ушаков В. И. О дробемётной очистке отливок // Литейное производство. — 1977. — № 8. — с. 28−29.
- Свешников Д. А. Применение дробеструйной очистки поковок от окалины взамен химического травления: Научно-технический опыт № М-60−209/ЦИТЭИН. — 1960. — 54 с.
- Дробеструйная обработка деталей: Библиографический справочник. — М.: Машгиз, 1960. — 134 с.
- Дёвкин М. М., Севастьянов Н. Д. Очистка поверхностей деталей металлическим песком. —М.: Машиностроение, 1968. — 67 с.
- Ардаев В. Б. Пескоструйщик. — М.: Стройиздат, 1970. — 91 с.
- Семёнов И. Т. Обдувка поверхности деталей дробью. — М.: Оборонгиз, 1948, —58 с.
- Самсонов Ф. Л. Обработка автомобильных деталей дробью для повышения усталостной прочности // Автомобильная промышленность. — 1948.2, —с. 12−15.
- Технология металлов и конструкционные материалы / Под ред. Б. А. Кузьмина. — М.: Машиностроение, 1989. — 495 с.
- Технология конструкционных материалов: Учебное пособие для ВУЗов / Под ред. А. М. Дальского. — М.: Машиностроение, 1990. — 352 с.
- Справочник технолога-машиностроителя / Под ред. А. Г. Косиловой, Р. К. Мещерякова. — М.: Машиностроение, 1985. — 496 с.
- Справочник технолога-приборостроителя / Под ред. Е. А. Скороходова.
- М.: Машиностроение, 1980. — 463 с.
- Ушакова С. Е. Технология конструкционных материалов в электронном машиностроении: Учебное пособие по курсу «Технология конструкционных материалов». — М.: МИЭТ, 1984. — 118 с.
- Одинцов JI. Г. Упрочнение и отделка деталей поверхностным пластическим деформированием: Справочник. — М.: Машиностроение, 1987.330 с.
- Обработка металлов и пластмасс. Сб. статей / Под ред. А. Я. Гоголева.
- Новочеркасск, 1970. — 109 с.
- Обработка неметаллических материалов. Сб. науч. тр. АН УССР / Под ред. В. В. Рогова. — Киев: ИСМ, 1982. — 147 с.
- Гуляев А. В. Гидропескоочистка деталей от окалины: Промышленно-экономический бюллетень / Свердовский СНХ. — 1958. — № 2.
- Дудник И. Р. Применение металлического абразива для очистки деталей: Бюллетень обмена производственно-техническим опытом / Московский Дом техники. — 1958. — № 12.
- Ефимов Ф. Т., Фролов Н. Г. Металлические дробь и песок. — М.: Машгиз, 1963. — 124 с.
- Ясногорский И. 3. Способ производства чугунной и стальной дроби: Бюллетень изобретений / ЦБТИ. — 1960. — № 2.47 .Myers R. Blast Cleaning Abrasives and Their Application // Foundry Marg. and Technol. — 1977. — Vol 105, № 11, 42, 44, 46.
- Gessell W. Strahlmittelfragen // Fachber Huttenprax. Metallweiterverarb. — 1979, —№ 6, —s. 491−493.
- Абраменко Ю. E. Повышение качества дроби для очистки отливок // Вестник машиностроения. — 1984. —№ 4. С. 63−64.
- Абразивная обработка деталей из неметаллических материалов под окраску: Технологические рекомендации / НИАТ. — 1988. — 58 с.
- Варенцов Б. В. Сопло пескоструйного аппарата с минералокера-мической втулкой: Научно-технический опыт № 1272/20/ТЭКСО. — 1955. —49 с.
- Кудрявцев Ю. Г. К вопросу экономической стойкости минералокерами-ческих сопел: Технико-экономический бюллетень / Челябинск — 1958. — № 1.
- Папшев Д. Д. Отделочно-упрочняющая обработка поверхностным пластическим деформированием. — М.: Машиностроение, 1978. — 152 с.
- Обработка давлением тугоплавких металлов и сплавов. — М.: Металлургия, 1975, —439 с.
- Ящевицин П. И., Минаков А. П. Упрочняющая обработка нежёстких деталей в машиностроении. —Минск: Наука и техника, 1986. — 215 с.
- Полевой С. Н., Евдокимов В. Д. Упрочнение металлов: Справочник. — М.: Машиностроение, 1986. — 320 с.
- Саверин М. М. Дробеструйный наклёп. Теоретические основы и практика применения. — М.: Машгиз, 1955, — 312с.
- Экспериментальные исследования конструкционной прочности машиностроительных материалов и деталей машин / Под ред. И. В. Кудрявцева. — М.: Машиностроение, 1967. — 258 с.
- Вопросы прочности крупных деталей машин / Под ред. И. В. Кудрявцева. — М.: Машиностроение, 1976. — 306 с.
- Папшев Д. Д. Эффективность методов отделочно-упрочняющей обработки // Вестник машиностроения. — 1983. — № 7. — с. 42−44.61.0лейник Н. В., Кычин В. П., Луговской А. Л. Поверхностное динамическое упрочнение деталей машин. — Киев.: Техника, 1984. — 151 с.
- Расчёты пластического деформирования металлов. Сб. статей / Под ред. А. Д. Томлёнова. — М.: Наука, 1975. — 135 с.
- Полухин П. И. Сопротивление пластической деформации металлов и сплавов: Справочник. —М.: Металлургия, 1983. — 352 с.
- Хает Л. Г., Гах В. М., Левин В. И. Упрочнение твердосплавного режущего инструмента поверхностным деформированием. — М.: НИИМАШ, 1981. — 54 с. — (Обзор. Сер. 2).
- Туманов А. Т. Поверхностный наклёп высокопрочных материалов. — М.:ВИАМ, 1971, —252 с.
- Саверин М. М. Тепловой эффект процесса дробеструйного наклёпа // Вестник машиностроения. — 1951. — № 10. — с. 21−27.
- Кудрявцев П. И. Нераспространяющиеся усталостные трещины. — М.: Машиностроение, 1982. — 173 с.
- Петросов В. В. Гидродробеструйное упрочнение деталей и инструмента. — М.: Машиностроение, 1977. — 165 с.
- Браславский В. М., Бараз А. А. Деформационное упрочнение деталей машин // Вестник машиностроения. — 1983. — № 7. — с. 61−63.
- Иосилевич Г. Б., Точилкин А. А., Кривная Л. С. К проектированию процессов упрочняющей обработки поверхности пластическим деформированием // Вестник машиностроения. — 1978. — № 7. — с. 39−41.
- Проволоцкий А. Е., Ясев А. Г. Иммитационное моделирование процесса обработки потоком абразивных частиц // Известия ВУЗов. Машиностроение. — 1987. — № 4. — с. 112−116.
- Билик Т. М. Жидкостно-абразивная обработка металлов. — М.: Машгиз, 1961, —67 с.
- Сегерлинд Л. Применение метода конечных элементов. — М.: Мир, 1979, —92 с.
- Крагельский И. В. Основы расчётов на трение и износ. — М.: Машиностроение, 1977. — 526 с.
- Абразивная и алмазная обработка материалов: Справочник / Под ред. А. Н. Резникова. — М.: Машиностроение, 1977. — 235 с.
- Лойцянский Л. Г. Механика жидкости и газа: Учебное пособие для ВУЗов. — М.: Наука, 1987. — 840 с.
- Пирумов У. Г., Росляков Г. С. Численные методы газовой динамики: Учебное пособие для ВУЗов. — М.: Высшая школа, 1987. — 232 с.
- Резибуа П., Де Ленер М. Классическая кинетическая теория жидкостей и газов: Пер. с франц. — М.: Мир, 1980. — 423 с.
- Газовая динамика. Механика жидкости и газа / Под ред. А. И. Леонтьева. — М.: МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1997. — 667 с.
- Газовая динамика. Сб. статей / Под ред. Л. В. Комаровского. — Томск: Изд-во Томского универститета, 1991. — 111с.83 .Газовая динамика. Сб. статей / Под ред. А. М. Буденчикова. — Томск: Изд-во Томского универститета, 1987. — 194 с.
- Качанов Л. М. Основы теории пластичности. — М.: Наука, 1969−419 с.
- Хилл Р. Математическая теория пластичности. — М.: ГИТТЛ, 1956. — 523 с.
- Пластическая деформация металлов и сплавов / Под ред. П. И. Полухина. — М.: Металлургия, 1975. — 312 с.
- Соколовский В. В. Построение полей напряжений и скоростей в задачах пластического течения // Инженерный журнал. — 1961. — Т. 1. — в. 3. с. 34−37.
- Голденблат И. И. Некоторые вопросы механики деформируемых сред.1. М.: ГИТТЛ, 1955. — 253 с.
- Качанов JI. М. Механика пластических сред. — М.: Гостехиздат, 1948.348 с.
- Теория пластических деформаций металлов / Под ред. Е. П. Унксова, А. Г. Овчинникова. — М.: Машиностроение, 1983. — 598 с.
- Тимошенко С. П., Гудьер Дж. Теория упругости. —М.: Наука, 1979. — 560 с.
- Лейбензон Л. С. Курс теории упругости. -— М.: Гостехиздат, 1947. — 427 с. 93 .Новожилов В. В. Теория упругости. — М.: Судопромгиз, 1958. — 517с.
- Вишняков Я. Д., Пискарёв В. Д. Управление остаточными напряжениями в металлах и сплавах. — М.: Металлургия, 1989. — 253 с.
- Давиденков Н. Н. Динамические испытания металлов. — М.: ОНТИ, 1934, — 112с.
- Варнелло В. В. Распространение пластической деформации при шариковой пробе. —Новосибирск: Трансжелдориздат, 1952. — 247 с.
- Ляв А. Математическая теория упругости. — М.: Гостехиздат, 1935. — 537 с.
- Филлипс К. Д. Разрушение стекла: В кн. Разрушение. — М.: Мир, 1976.1т. — с. 19−57.
- Боуден Ф. П., Тейбор Д. Трение и смазка твёрдых тел. — М.: Машиностроение, 1968. — 521 с.
- Булат С. И. Деформируемость структурно неоднородных сталей и сплавов. — М.: Металлургия, 1975. — 350 с.
- ЮЗ.Хоникомб Р. Пластическая деформация металлов: Пер. с англ. — М.: Мир, 1972, —400 с.
- Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. — М.: Мир, 1967. — 352 с.
- Лыков А. В. Тепломассообмен: Справочник. — М.: Энергия, 1978. — 480 с.
- Юб.Механика интегральных структур: Лабораторный практикум / Под ред.
- В. Н. Тимофеева. — М.: МИЭТ, 1993. — 86 с. 107. Тимофеев В. Н. Способ определения прочности керамических микробаллонов при сжатии и оценке прочности материала их стенки при растяжении // Физика и химия обработки материалов. — 1985. — № 4.с. 132−134.
- Ю8.Кузнецов О. А., Погалов А. И., Сергеев В. С. Прочность элементовмикроэлектронной аппаратуры. — М.: Радио и связь, 1990. — 144 с. Ю9. Парфёнов Е. М., Камышная Э. Н. Проектирование конструкций РЭА.
- М.: Радио и связь, 1990. — 272 с.
- Ю.Аш Ж. Датчики измерительных систем. — М.: Мир, 1992. — 424 с. 111. Основы механики и сопротивления материалов: Лабораторный практикум / Под ред. В. А. Летягина. — М.: МИЭТ, 1997. — 187 с.
- Хасуй А., Моригаки О. Наплавка и напыление. — М.: Машиностроение, 1985. — 238 с.
- Справочник по пластическим массам / Под ред. В. М. Катаева, В. А. Попова. — М.: Химия, 1975. — 568 с.
- Потт Дж. Основы механики разрушения. — М.: Металлургия, 1978. — 255 с.
- Беляев Н. М. Сопротивление металлов. — М.: ГИТЛ, 1958. — 850 с.
- Энциклопедия неорганических материалов / Под ред. И. М. Федор-ченко. — Киев: Главная редакция УСЭ, 1977. — Т. 2. — 813 с.
- Основы взаимозаменяемости и технические измерения: Лабораторный практикум / Под ред. Е. В. Николаевского. — М.: МИЭТ, 1980. — 89 с.