ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
ΠΠ΄Π΅ΡΡ ΠΠ° — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠΈ: ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΠ΅ ΠΠΉ = 1 (Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΏΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅ΡΡ), ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠ°Ρ
Π = 1,2… 1,5 (ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΡΡ); — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΡΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ: ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΠΌ ΡΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΡ= 9,8, ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΠΏΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ = 1, ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΡ = 1,5; Π0 — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ³ΠΎΠ» 0 Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΊ Π³ΠΎΡΠΈΠ·ΠΎΠ½ΡΡ. ΠΡΠΈ 0 < 45Β° Π0…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ
Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΡ
ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π²ΡΠ΅ Π΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΄ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠ΅ ΠΎΠΏΠΎΠΊ, ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°ΠΌΠ±ΠΎΠ²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΌ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²ΠΊΠ΅ ΠΈΡ
Π½Π° ΡΡΠ°ΡΡΠΎΠΊ Π·Π°Π»ΠΈΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠΌ. ΠΠ° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Ρ
ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΌ Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ
Π·ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ Π³Π°Π·Ρ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈ Π»ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎ ΠΎΡ ΡΡΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. Π ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΠΎΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ
…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π ΡΠΏΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅ Π²ΡΠ½ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π° ΠΌΠ°ΡΠΎΠΊ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. ΠΠ½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ — ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅ ΡΡΡΠ°Π»ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠΌ Π²ΡΠ½ΠΎΡΠ»ΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ, Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ (Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Ρ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΡΡΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ° Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ
ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ°. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ³ΠΎΠ²Π°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΈΠ· Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ {Π·Ρ (0) = 3, Ρ{0) = 0} Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ {Ρ (Π’) = 0, Ρ (Π’) = 0} Π·Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ < 30. ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΈΠ· Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ {Xj (0) = 2, Ρ
2(0) = 0} Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ (Ρ
,(Π’) = 0, Ρ
2(Π’) = 0} Π·Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ Π³ΠΎΠΌΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ² Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΠ±ΡΠ°ΡΡΡ
(ΠΏΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ
) Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ². 11ΡΠΈ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠ°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΉΠΊΠΎ-Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² (Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Ρ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ Π³Π»Π°Π²Ρ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡ
Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π’Π°ΠΌ ΠΆΠ΅ Π±ΡΠ» ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΎΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΊ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΠΏΡΠΈΠΈ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ, Π° Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ — ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠ½ΠΈΡΡ ΠΈ Π±ΡΠ°ΠΊΠ΅ΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ ΠΏΠ°Π»ΡΠ±Ρ. ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΊΠ½ΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Ρ Π±ΠΎΡΡΠΎΠ². ΠΡΠΈ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΊΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ°Π»ΡΠ±Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΆΠ΅ΡΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½Ρ Π½Π° Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ°, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΠ½ΠΈΡΡ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° Π½ΠΈΡ
. Π ΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ
Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°Π΄Π΅Π»ΠΊΠΈ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ-ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ
Π·Π²Π΅Π½ΡΡΡ
ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ (ΠΏΡΡΠΌΠ°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ), Ρ. Π΅. Π²Ρ
ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄Ρ Π²ΡΠ΅Ρ
Π·Π²Π΅Π½ΡΠ΅Π², Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΠ°Π²Π½Π° ΡΡΠΌΠΌΠ΅ Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ
Π·Π²Π΅Π½ΡΠ΅Π². ΠΠ° ΡΠΈΡ. 3.11, 6 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΡΡΠ°ΡΡΠΎΠΊ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Ρ
ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Π½ΡΡ
Π·Π²Π΅Π½ΡΠ΅Π², Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡΠΌΠΈ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠΎΠ»ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°Π±ΡΠΎΡΠ±Π΅ΡΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ, ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°Π²Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΈΡ
ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π³ΡΡΠ·Π½Π΅Π½Π½ΡΡ
Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ
ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΡΡ
Π³Π°Π·ΠΎΠ². Π ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ
Π°Π±ΡΠΎΡΠ±Π΅ΡΠ°Ρ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°Π·Π°ΠΌΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·Π±ΡΡΠ·Π³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ΅. ΠΡΠΈ Π°Π±ΡΠΎΡΠ±Π΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡΡ Π½Π°: Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΡΠΌΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π Π°Π·Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΠ±ΠΊΠΈ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΎΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ°. Π Π°Π·Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΠ±ΠΊΠΈ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΠ’Π-82, ΠΠ΅Π»Π°ΡΡΡ Π 82, ΠΠ’-157, Π-703. ΠΠ° ΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ ΠΠ₯Π’-4 ΡΠ°Π·Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΠ±ΠΊΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π΅Ρ ΠΊΡΡΡΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ΅Π΄ΡΠΊΡΠΎΡ Π»Π΅Π±Π΅Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΠ±ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Ρ. Π — Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π·ΡΠ±ΡΠ°ΡΡΠΉ Π²Π΅Π½Π΅Ρ; Π — ΠΌΠ°Π»ΡΠΉ Π·ΡΠ±ΡΠ°ΡΡΠΉ Π²Π΅Π½Π΅Ρ Π ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΏΠ°Π·Π°Ρ
ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈ 5 ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ
Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ
Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ (ΠΠ ΠΠ’) (ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΡ), Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ CVD-Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 250 Π½ΠΌ. ΠΠ° Π½Π΅ΠΌ Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ»ΠΈ 5-ΡΠ»ΠΎΠΉ CVD-Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΡΠΎΠΌ Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ 5β1020 ΡΠΌ-3. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠΎΠ³ΠΎ 5-ΡΠ»ΠΎΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π»Π° 10 Π½ΠΌ. ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ
5-ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π»ΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ. ΠΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΡ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ»Ρ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΡΠΎΡΠΎΠ½ Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΠΎΡΡ, ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡΡ
Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π° Π²Π°Π»Ρ ΡΠΊΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡ, ΠΊ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠΉ. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΎΠ΄Π° ΡΠΎΠΊΠ° ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΠΊΠΎΡΡ Π² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅Π²…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ-ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ±Ρ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠ»Π΅ΠΉΠΌΠΎ ΠΎΠ± ΠΈΡ
ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠ΅. Π‘ΡΡΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ» Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΡΠΊΠ΅, ΠΈΡΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ
ΠΈ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ — ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ½Π°Π»Π°Π΄ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΠ°Π±ΠΎΡ. ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΎΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π½Π° ΡΡΡΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ
ΠΎΠ±ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ ΠΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ° ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠΉ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ° Π·Π° Π²ΡΠ΅ΠΌΡ t. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π°Π³ΡΠ΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΡΠ»ΡΡΠΈΠΌΠ΅Π΄ΠΈΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΡΠΌΠΌΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΊΡΠΈΠ²ΡΡ
, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ