Модификация и эксплуатационные свойства поверхностей деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота
В настоящее время для модификации поверхностных слоев открылись новые возможности с использованием азота в качестве активного вещества в процессе обработай поверхностей материалов. В первую очередь к таким методам следует отнести низкотемпературные способы химико-термической обработки (ХТО), как различные варианты азотирования и ионную имплантацию. Процессы перестройки структуры материалов… Читать ещё >
Содержание
- I. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ
- 1. 1. Азотирование и карбонитрирование
- 1. 2. Ионная имплантация азота
- 1. 3. Оценка пробега и пространственного распределения имплантированных ионов
- 1. 4. Потенциалы межатомного, межмолекулярного взаимодействия в задачах об ионной имплантации. Выбор и обоснование вида модельных потенциалов
Модификация и эксплуатационные свойства поверхностей деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Одной из ключевых проблем научно-технического прогресса является улучшение качества материалов, как инструментального, так и машиностроительного производства. Ее актуальность вытекает из необходимости увеличения надежности инструментов, машин и механизмов. Важное место в решении данной проблемы принадлежит поверхностным слоям твердых тел, которые отвечают за износостойкость, коррозионную и усталостную прочность.
В настоящее время для модификации поверхностных слоев открылись новые возможности с использованием азота в качестве активного вещества в процессе обработай поверхностей материалов. В первую очередь к таким методам следует отнести низкотемпературные способы химико-термической обработки (ХТО), как различные варианты азотирования и ионную имплантацию. Процессы перестройки структуры материалов происходят в условиях далеких от термодинамически равновесных и позволяют получать поверхностные слои с уникальным комплексом физико-механических свойств. Насыщение поверхностного слоя в докритической области температур исключает фазовые превращения при нагреве и охлаждении и обуславливает благоприятное распределение внутренних макро — и микро напряжений, создание эффективной субструктуры за счет специфических дислокационных построений, а также дисперсной гетерогенной структуры.
Одним из перспективных направлений поверхностной модификации деталей машин и инструментов является ионная имплантация, тоесть внедрение ускоренных ионов в твердые тела. Под модификацией поверхностей методом ионной имплантации азота подразумеваются процессы распыления поверхностного слоя и его насыщения имплантируемыми ионами азота.
Важнейшими особенностями ионной имплантации, в отличие от других методов ионно-вакуумной обработки, являются минимальное изменение геометрических размеров изделия и возможность обработки при низкой (до 100 °С) температуре, что обеспечивает исключение коробления изделия. Перечисленные характеристики особенно важны для решения задачи поверхностного упрочнения маложестких деталей и мелкоразмерного инструмента. В качестве результата ионной имплантации отмечено значительное повышение эксплуатационных характеристик изделий, таких как механические свойства, износостойкость, коррозионная стойкость, циклическая прочность и т. д. Использование азота в качестве обрабатывающего вещества позволяет значительно воздействовать на эксплуатационные характеристики деталей, в том числе инструментов различного назначения. Однако трудность применения метода ионной имплантации для поверхностной модификации связана с недостаточной изученностью процесса связи энергии имплантируемых ионов с пробегом и их концентрации в твердом теле, а также с отсутствием методик выбора технологических режимов обработки. Решение данных проблем позволит в плотную подойти к вопросу управляемости процесса формирования профиля имплантируемых ионов. Анализ литературных источников и результаты предварительных исследований показали, что для формирования повышенных физико-механических и эксплуатационных свойств поверхностей деталей машин и инструментов, с использованием процесса внедрения ускоренных атомов или молекулярных соединений в виде ионизованных частиц в твердое тело, должно обеспечиваться (для соответствующих материалов) определенное значение концентрации внедренных ионов и их глубины проникновения, что в свою очередь определяется режимами обработки.
В настоящее время отсутствует единый подход к вопросу назначения режимов обработки металлов с использованием процесса ионного легирования. Это объясняется отсутствием определенной теоретической оценки изменения прочности поверхностного слоя обрабатываемых материалов, что и привело к необходимости разработки компьютерной динамической модели.
Несмотря на некоторые особенности в выборе материалов с различными физико-механическими свойствами, предлагаемая модель оценки концентрации внедренных ионов и глубины их проникновения дает возможность получить детерминированную зависимость, которая может быть распространена и на другие классы материалов.
На основании вышеизложенного, целью данной работы является определение и обоснование выбора рациональных условий проведения модификации поверхностного слоя и эксплуатационных свойств деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота в металлы. Для чего необходимо решить следующие задачи:
1. Моделирование физического процесса ионной имплантации азота и рассеивания материала матрицы путем разработки компьютерной динамической модели процесса, применимой к различным материалам.
2. Теоретическая оценка проникновения азота в различные материалы.
3. Экспериментальные исследования процесса ионной модификации эксплуатационных свойств (износостойкость, микротвердость) поверхностей образцов из материалов различных групп.
4. Модернизация установки для комбинированного применения метода ионной имплантации азота с ионно-плазменным нанесением покрытий, а также системы электропитания для обеспечения стабильных параметров проведения процесса.
5. Разработка рекомендаций по осуществлению процесса ионной имплантации азота в различные материалы деталей машин и инструмента для обеспечения требуемых эксплуатационных свойств.
6. Опытная апробация метода ионной имплантации азота.
1. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ.
ИССЛЕДОВАНИЯ.
Одной из ключевых проблем научно-технического прогресса является улучшение качества материалов, как инструментального, так и машиностроительного производства. Ее актуальность вытекает из необходимости увеличения надежности инструментов, машин и механизмов. Важное место в решении данной проблемы принадлежит поверхностным слоям твердых тел, которые отвечают за износостойкость, коррозионную и усталостную прочность.
В настоящее время для модификации поверхностных слоев открылись новые возможности с использованием азота в качестве активного вещества в процессе обработай поверхностей материалов [2,6,15,30,34,50,94,96,102, 104,105]. В первую очередь, следует отметить метод низкотемпературной химико-термической обработки (ХТО) с различными его вариантами азотирования (в газовых, жидких и порошковых средах) [9,45,67,79,86,101,114]. При низкотемпературном азотировании независимо от того, в какой среде проводится обработка, происходит преимущественное насыщение металлов азотом. Процессы перестройки структуры материалов происходят в условиях далеких от термодинамически равновесных и позволяют получать поверхностные слои с уникальным комплексом физико-механических свойств.
Насыщение поверхностного слоя в докритической области температур исключает фазовые превращения при нагреве и охлаждении и обуславливает: благоприятное распределение внутренних макро — и микро напряжений, создание эффективной субструктуры за счет специфических дислокационных построений, а также дисперсной гетерогенной структуры.
ОБЩИЕ ВЫВОДЫ.
1. Анализ современного состояния вопроса об использовании азота как активного вещества в процессе обработки поверхностей материалов, для модификации поверхностей деталей машин и инструментов и, в частности, ионной имплантации показал, что ее развитие и широкое внедрение в производство в настоящее время сдерживается отсутствием научно обоснованных рекомендаций по выбору режимов и условий, базирующихся на учете различных процессов, сопровождающих ионную имплантацию азота (внедрение и рассеивание частиц в материалы).
2. Разработана компьютерная динамическая модель процесса внедрения атомов азота в металлы, которая позволяет оценить удаление части начального объема материала обрабатываемой заготовки вследствие рассеивания атомов материала, бомбардируемых пучком ионов, а также спрогнозировать распределение имплантированных атомов азота по глубине.
3. В результате исследований процесса ионной имплантации азота в А1, Cr, Fe, Mo, W, установлено, что количество рассеянных атомов заготовки может достигать 1 — 48%, в пределах слоя, подвергнутого имплантации. При этом наибольший процент относится к рассеиванию на локальных выступах. Глубина обработанного слоя для названых материалов, при облучении заготовки ионами азота, изменяется прямо пропорционально ускоряющему напряжению в диапазоне 1−10 кэВ и составляет около 0,03 — 1,12 мкм.
4. По результатам компьютерного моделирования построена функция распределения концентрации имплантированных ионов азота, которая показывает, что при увеличении ускоряющего напряжения в диапазоне 1−10 кэВ концентрация ионов азота в А1 — 0,2-Ю19 .1,61 019 1/см3- Сг — 0,31 019 .2,6-Ю19 1/см3- Fe — 0,35−1019 .2,8-Ю19 1/см3- Мо — 0,51 019 .4,4-Ю19 1/см3- W 0,8-Ю19 .10-Ю191/см3. Изменение концентрации ионов азота от глубины их проникновения приближенно описывается экспоненциальным законом. При заданной дозе облучения 10 1/см2 увеличение ускоряющего.
Ф напряжения приводит к более равномерному распределению ионов азота по глубине.
5. Анализ результатов экспериментальных исследований показал, что: повышение износостойкости зафиксировано для всех имплантированных азотом образцов и составляет: для стали Р6М5 от 13% до 72% от исходной, для 40Х — 41%, износостойкость сплава АМг-2 повысилась более чем в 3,5 раза. Повышение износостойкости образцов (в диапазоне циклов изнашивания 7500 — 10 000), после комбинированной обработки составляет: для стали Р6М5 при комбинации ИИА + ИПУ — 36% и 7% при If, комбинации ИПУ + ИИА, для сплава АМг-2 — в 5 и 2 раза соответственно;
— прирост относительный микротвердости, в зависимости от ускоряющего напряжения и времени имплантации, носит практически линейный характер (в рассматриваемых диапазонах варьирования режимов обработки) и составляет: для стали Р6М5 — от 32% до 75%, для стали 40Х -45%, для стали 12Х18Н9Т — от 13% до 2 раз, для стали 40 — от 25% до 27%., для чугуна ВЧ65−48−1 — от 18 до 23%;
— установлено, что ионная имплантация азота в поверхности малолегированных материалов (сталь 40, ВЧ65−48−1) является нецелесообразной в связи с малозначительным повышением их.
Щ' трибологических свойств;
— при экспериментальном исследовании глубина проникновения ионов азота для Р6М5, а теоретический прогноз для Fe, находится в допустимых пределах и совпадает по порядку величин. Расхождение толщины имплантированного ионами азота слоя связано с разницей в химическом составе сравниваемых материалов, с шероховатостью образцов, с наличием оксидной пленки на поверхности образцов.
6. Проведена модернизация системы электропитания обеспечившая стабильность протекания процесса ионной имплантации азота. Установленный дополнительный катодный узел, предназначенный для # получения металлической плазмы, разработанная схема коммутации позволили реализовать комбинированный процесс «ионная имплантации азота — ионно-плазменное упрочнение».
7. Разработан алгоритм выбора условий обработки, учитывающий тип материала основы, размеры и геометрическую конфигурацию обрабатываемой детали, кинематику перемещения объекта в камере, что позволяет существенно сократить количество экспериментальных исследований.
8. Проведена апробация разработанной методики выбора условий проведения процесса ионной имплантации азота на дисковых фрезах из стали Р6М5 и на деталях из 40Х, АМг-2. Установлено повышение износостойкости до 75%.
Список литературы
- Абрамович М., Стиган И. (ред.). Справочник по специальным функциям, с формулами, графиками и математическими таблицами. М.: Наука, 1979.
- Азотирование и карбонитрирование. Чатгерджи Фишер Р., Эйзелл Ф.
- B. и др. Пер. с нем. / Под ред. Супова А. В. М.: Металлургия, 1990,280 с.
- Алберг Дж., Нил сон Э., Уолш Дж. Теория сплайнов и ее приложения. М.: Мир, 1972.
- Анималу А. Квантовая теория кристаллических твердых тел. М.: Мир, щ 1981.-570 с.
- Анищенко Л.М., Дружинин А. В., Углов А. А. Ионное легирование полупроводников и его применение// Физикаи химия обработки материалов. 1982. -№ 4. — С. 3 -19.
- Бабушка И., Витасек Э., ПрагерМ. Численные процессы решения ^ дифференциальных уравнений. М.: Мир, 1969.
- Банных О.А., Зинченко В. М., Прусаков Б. А., Сыропятов В. Я. Развитие азотирования в России. М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1998. — 68 с.
- Башнин Ю.А., Ушаков Б. К., Секей А. Г. Технология термической обработки. М.: Металлургия, 1986. -285 с.
- Ф 13. Белоцерковский О. М., Давыдов Ю. М. Метод крупных частиц в газовой динамике. Вычислительный эксперимент. —М.: Наука, 1982.
- Белый А.В., Симонов Л. В., Ших С.К. Применение ионного легирования для повышения эксплуатационных характеристик деталей машин и оборудования. Минск: БЕЛНИИТИ, 1985. 44с.
- Бельский Е.И., Ситкевич М. В., Понкратин Е. И., Стефанович В. А. Химико-термическая обработка инструментальных материалов.-Мн.: Наука и техника, 1986.-247 с.
- Бернштейн М.Л., Займовский В. А. Структура и механические свойства II металлов. М.: Металлургия, 1970.- 472 с.
- Бетчер X. Принципы динамической теории решетки. М.: Мир, 1986. -392 с.
- Блейкмор Дж. Физика твердого тела. М.: Мир, 1988. 608 с.
- Бойко В.И., Валяев А. Н., Погребняк А. Д. Модификация металлических материалов импульсными мощными пучками частиц. // УФН. 1999. Т. 169. № 11. С. 1243.
- Бокштейн С.Э. Диффузия и структура металлов. Серия «Успехи современного металловедения». М.: Металлургия, 1991.- 320 с.
- Бори М., Хуан Кунь Динамическая теория кристаллических решеток. М.: ^ Мир
- Бусленко Н.П., Голенко Д. И., Соболь И. М., Срагович В. И., Шрейдер Ю. А. Метод статистических испытаний (метод Монте-Карло). М.: Наука, 1962. -332 с.
- Бутенко О.А., Крымский Ю. Н., Лахтин Ю. М. Использование тлеющего разряда для химико-термической обработки. МИТОМ, № 3,1967. с. 7.
- Ван Кампен Н. Г. Стохастические процессы в физике и химии.- М.: Высшая школа, 1990.
- Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали/ «Физика и химия обработки1. Ш материалов», N1, 1989.
- Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали/ «Физика и химия обработки материалов», N1,1989.
- Верещака, А.С. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями/ Третьяков, И.П. М.: машиностроение, 1986. — 192 е., ил.
- Витальский Д.В. Исследование износостойкости ионно-модифицированных поверхностей алюминиевых сплавов. // Упрочняющие технологии и покрытия № 12 2006. с. 50−53.
- Власов В.М., Илюшечкин Е. В. Технологические возможности процесса антикоррозионного газового азотирования сталей/ / Изв. ТулГУ. Сер. «Автомобильный транспорт». Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2004. — с.57 — 60.
- Габович М.Д., Буденная Л. Ф., Порицкий В Л., Проценко И. М. В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым теплом. — Киев: Hay ков, а думка, 1974, т. 2, с. 136.
- Гардинер К.В. Стохастические методы в естественных науках.- М.: Мир, 1986.
- Григорьев B.C., Солодкин Г. А., Шевчук С. А. Кинетика ионной нитроцементации конструкционных сталей с непосредственной закалкой // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1991. № 7. — С. 31−33.
- Дедков Г. В. Межатомные потенциалы взаимодействия в радиационной физике. // УФН. 1995. Т.165. № 8. С. 919.
- Демидович Б.П., Марон И. А., Шувалова Э. З. Численные методы анализа. -М.: Наука, 1967.
- Джордж А., Лю Дж. Численное решение больших разреженных систем уравнений. М.: Мир, 1984.
- Жаблон К., Симон Ж.-К. Применение ЭВМ для численного моделирования в физике. М.: Наука, 1983.
- Жирифалько JI. Статистическая физика твердого тела. М.: Мир, 1975. -382 с.
- Илюшечкин Е.В. Влияние технологической наследственности на характер совместимости трущихся поверхностей / / Изв. ТулГУ. Сер. «Автомобильный транспорт». Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2000. — с.57 — 60.
- Илюшечкин Е.В., Власов В. М. Основные аспекты вопроса повышения эксплуатационных свойств деталей автомобилей с использовнием ресурсосберегающих технологий и экологически чистого производства/ /
- Изв. ТулГУ. Сер. «Автомобильный транспорт». Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2005. — с.57 — 60.
- Инзарцев Ю.В. Повышение эксплуатационных характеристик инструмента методом ионной имплантации азота. Дисс. на соиск. Уч. степ. канд. техн. наук. Тула, ТулГУ, 2001. — 127 с.
- Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы. Сборник статей: Пер с ант. /Под ред. В. С. Вавилова. М.: Издательство «Мир», 1980.-332 с.
- Калачев М.И. Деформационное упрочнение металлов. Мн., Наука и техника, 1980,256с.
- Каплан И.Г. Введение в теорию межмолекулярных взаимодействий. М.: Наука, 1982.-312 с.
- Карацюба А.П. Новая область применения ионной имплантации в твердотельной электронике// Зарубежная электронная техника. 1978. -№ 19.-С. 3−46.
- Карацюба А.П. Ионная имплантация в технологии кремниевых приборов и интегральных схем// Зарубежная электронная техника. 1978. — № 19. -С. 47−80.
- Коробейников В.П.. Принципы математического моделирования. — М.: Дальнаука, 1996.
- Костерин К.В. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: адатомные механизмы и возможная роль фононов.// Физика и химия обработки материалов № 3 1995. с. 43−48.
- Кочергин А.С., Ридош Б. М. Химико-термическая обработка шестерен трансмиссии и переднего привода автомобилей ВАЗ // Металловед, и термич. обраб. металлов. 1996. -№ 10. — С. 15−17.
- Краснощекое П.С., Петров А. А. Принципы построения моделей. М.: Изд-воМГУ, 1983.
- Криштал М.М. Механизм диффузии в железных сплавах. М.: Металлургия, 1972. -187 с.
- Кумахов М.А., Комаров Ф. Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах. Мн.: Изд-во БГУ, 1979 -320с.
- Лахтин Ю.М. //МиТОМ. 1993. № 7 -с. 6−11.
- Лахтин Ю.М. Диффузионные основы процесса азотирования // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1995. № 7. — С. 14−17.
- Лахтин Ю.М. Регулирование фазового состава и содержания азота в нитридном слое при азотировании стали 38Х2МЮА // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1996. -№ 1. С. 6−11.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д. Азотирование в тлеющем разряде // Технология и механизация термической обработки металлов. М.: НИИИнформтяжмаш, 13 -74 — 8,1976. 36 с.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д. Азотирование стали. М.: Машиностроение, 1976.-256 с.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д. Регулирование процесса азотирования //Металловедение и термическая обработка металлов. 1979, № 8. с. 59 64.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д., Солодкин Г. А., Глиберман Л. А. Прогнозирование распределения твердости в азотированном слое сталей // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1986. № 1. — С. 14−18.
- Лахтин Ю.М., Коган Я. Д., Шпис Г. И., Бемер З. М. Теория и технология азотирования. М.: Металлургия. 1991. 319 с.
- Лейбфрид Г. Микроскопическая теория механических и тепловых свойств кристаллов. М., Л.: ФизМатЛит, 1963. 312 с.
- Лоусон У., Хенсон Р. Численное решение задач метода наименьших квадратов. М.: Наука, 1986.
- Любимов В.В., Витальский Д. В., Иванов А. В., Протопопов А. А. Повышение качества поверхности инструментов ионно-вакуумными методами.// Упрочняющие технологии и покрытия № 7 2006. с. 36 — 39.
- Любимов В.В., Иванов А. В., Витальский Д. В. Разработка методики выбора условий процесса ионной имплантации азота в стали и сплавы.// Известия Тульского государственного университета. Серия:
- Электрофизикохимические воздействия на материалы Тула: ТулГУ, 2006.
- Ляхович Л.С., Ворошнин Л. Г., Карпенко Д. П. Повышение стойкости пггампового инструмента методами химико-термической обработки. М.: БелНИИНТИ, 1971. — 62 с.
- Маделунг О. Теория твердого тела. М.: Наука, 1980. -416 с.
- Маделунг О. Физика твердого тела. Локализованные состояния. М: Мир, 1985.- 184 с.
- Матюхин С.И. Ионная имплантация: новые возможности известного метода. Известия ОрелГТУ. Серия «Естественные науки». 2003. № 1−2. С.59−62.
- Мацевитый, В.М. Покрытия для режущих инструментов. X.: Вшца шк. Изд-во при Харьк. ун-те, 1987.- 128 с.
- Мейер Дж.7 Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников.- М.: Мир, 1970.
- Металловедение. Под ред. канд. техн. наук Е. В. Эхиной. М.: Металлургия, 1990.-416 с.
- Минкевич А.Н. Химико-термическая обработка металлов и сплавов. М.: Машиностроение, 1965. — 492 с.
- Модификация твердых тел с применением лазерных, ионных и электронных пучков/ Под. Ред. Дж. М. Поута, Ж. Фоти, Э. С. Якобсона. М.: Машиностроение, 1987.424с.
- Мэтъюз Дж., Финк К. Численные методы. Использование MATLAB. М.: Издательский дом «Вильяме», 2001. 720 с.
- Никитин А.А., Травина Н. Г. Ионная имплантация металлов и сплавов. // Бюллетень ЦНИИЧ. 1986. — № 23.
- Оборудование ионной имплантации/ В. В. Симонов, JI.A. Корнилов, А. В. Шашелев, Е. В. Шокин. М.: Радио и связь, 1988. — 184 с. (25)
- Поверхностные свойства твердых тел. М.: Мир, 1972. -432 с.
- Принявичюс Л., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками. Вильнюс: Мокелас, 1980. -180 с.
- Радциг А.А., Смирнов Б. М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. 240.
- Резников А.Н. Теплофизика процессов механической обработки материалов. М.: Машиностроение, 1981. — 279 с.
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация/Пер. с англ. Под ред. М. И. Гусевой М.: Наука, 1983. — 360 с.
- Рыжов Н.М., Смирнов А. Е., Кириллов К. И., Семенов М. Ю. Комплексная система управления процессом ионной нитроцементации // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1996. -№ 1. С. 11−15.
- Самарский А.А., Михайлов А. П. Математическое моделирование. — М.: Физматлит, 1997.
- Смирнов А.А. Молекулярно-кинетическая теория металлов. М.: Мир, 1966.-488 с.
- Тациковски Я., Санаторски Я., Панасюк В. Метод комплексной химико-термической обработки деталей машин и инструмента // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1995. № 2. — С. 9−10.
- Теория и технология азотирования / Лахтин Ю. М., Коган Я. Д., Шпис Г. И., Бемер 3. М.: Металлургия, 1991.- 320 с.
- Теория и технология азотирования/ Лахтин Ю. М., Коган Я. Д., Шпис Г.-И., Бемер 3. -М.: Металлургия, 1991,320с.
- Теория термической обработки. Учебник для вузов. Блантер М. Е. М.: Металлургия, 1984,328с.
- Технология термической обработки стали. Учебник для вузов. Башнин Ю. А., Ушаков Б. К., Секей А. Г. М.: Металлургия, 1986.424 с.
- Тихонов А.К., Богданова Н. В. Кратковременное газовое азотирование деталей автомобилей ВАЗ // Металловед, и термич. обраб. металлов.-1996.-№ 10.-С. 11−15.
- Хокни Р., Иствуд Дж. Численное моделирование методом частиц. М.: Мир, 1987.
- Черняева Т.П. Радиационные дефекты и распухание металлов. -Киев: Наукова думка, 1988. 296 с.
- Юргенсон А.А. Азотирование деталей в жидких средах//Технология и механизация термической обработки металлов. М.: НИИИнфортяжмаш, 13−71−6,1971,34 с.
- Baumvol I.Y. R., Sautos С.A. In. Ion Implantation Equipment and Techniques. Berlin. 1983. P 347.
- Bohmer S., Schroter W., Lerche W., Lachtin Ju.M., Kogan Ja.D.// Neue Hutte 24 (1979) 10.S. 384 390.
- Hartley N.E. W. В кн.: Proc. Int. Conf. on Applications of Ion Beams to Materials (University of Warwick, UK, 1975), eds. Carter G., Colligon J.S.,
- Grant W.A., Institute of Physics, London, Conf. Ser. 28, 1976., p.323 Kanaya K., Koga K., Toki K., Journ. Phys. (London), E5, 541 (1972).
- The book of abstracts. 10-th Congress of the International Federation for Heat Treatment and Surface Engineering, Sept. 1996, Brighton, UK. 220 c.
- Tuheux D., Fauenlly S. Modifications super filme lies par implantation d’ions application a la tribologie // Vide coueches minees. 1987. — V. 42. — # 328.-p. 415−418.
- Tuheux D., Fauenlly S. Modifications super filme lies par implantation d’ions application a la tribologie // Vide coueches minees. 1987. — V. 42. — # 328.-p. 415−418.
- Youming Liu, Liuhe Li, Ming Xu, Qiulong Chen, Yawei Hu, Xun Cai, Paul K. Chu. The effect of N+ implanted aluminium substrate on the mechanical properties of TiN films / Surface & Coatings Technology 200, 2006, p. 2672−2678