Интерференционно-чувствительные фотоприемники и их применения
Впервые, наличие стоячих противоположно-направленных световых волн было зафиксировано Отто Винером (Otto Wiener) в 1890 г. с помощью зеркала и фотоэлектрической эмульсии. Он исследовал слоистую структуру фотографической эмульсии, возникшую при воздействии интерференционного поля, полученного двумя световыми потоками: падающим и отраженным от зеркала. В этом эксперименте, в качестве датчика… Читать ещё >
Содержание
- ГЛАВА 1. Технологии изготовления интерференционночувствительных фотоприемников
- 1. 1. Вакуумные фотоэлектронные приборы с внешним фотоэффектом
- 1. 2. Фотоприемники на аморфном гидрогенезированном кремнии (а-БкН)
- 1. 3. Кремний на изоляторе
- 1. 4. Резистивные фотоприемники
- ГЛАВА 2. Интерференционно-чувствительный фотоприемник
- 2. 1. Определение и свойства ИЧФ
- 2. 2. Влияние оптической толщины фотоэлектрического слоя на чувствительность ИЧФ
- 2. 3. Влияние неоднородности оптической толщины ИЧФ на чувствительность
- ГЛАВА 3. Первые интерференционно-чувствительные фотоприемники
- 3. 1. Вакуумный ИЧФ
- 3. 1. 1. Вакуумный ИЧФ в составе однозеркального интерферометра
- 3. 2. Резистивный ИЧФ НА РЬЭ
- 3. 1. Вакуумный ИЧФ
- ГЛАВА 4. Квадратурные интерфернционночувствительные фотоприемники
- 4. 1. Симметричный квадратурный интерфернционно-чувствительный фотоприемник
- 4. 2. Квадратурный четырехфазный интерфернционночувствительный фотоприемник с подавлением синфазного сигнала
- ГЛАВА 5. Интерференционно-чувствительные селективные фотоприемники
- 5. 1. Принцип работы ИЧСФ
- 5. 2. РвВ- ИЧСФ
- 5. 3. ИЧСФ с двумя выходами пропускающего и режектороного фильтра
- ГЛАВА 6. Интерференционно-чувствительный фотоприемник — коррелометр оптических сигналов
Интерференционно-чувствительные фотоприемники и их применения (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Интерференционно-чувствительные фотоприемники (ИЧФ), т. е. фотоприемники, чувствительные к положению относительно интерференционных полос в поле встречных световых потоков, являются основой интерферометров, в которых регистрация осуществляется в месте противоположно-направленных световых лучей.
Впервые, наличие стоячих противоположно-направленных световых волн было зафиксировано Отто Винером (Otto Wiener) в 1890 г. с помощью зеркала и фотоэлектрической эмульсии [1]. Он исследовал слоистую структуру фотографической эмульсии, возникшую при воздействии интерференционного поля, полученного двумя световыми потоками: падающим и отраженным от зеркала. В этом эксперименте, в качестве датчика интерференционного поля, образованного встречными световыми потоками, был использован слой фотографической эмульсии.
Айве и Фрэй в 1933 г. [2] повторили эксперимент Винера с использованием в качестве датчика интерференционного поля встречных световых потоков полупрозрачного тонкого фотоэлектрического слоя.
Датчиком распределения интерференционного поля встречных световых потоков является среда, пропускающая оптическое излучение (иначе интерференционное поле разрушается), чувствительная к интенсивности световой волны и пространственно разрешающая интерференционные полосы.
Интерферометры на встречных световых потоках, имеют более простые оптические схемы, содержат меньше элементов и, соответственно, проще юстируются. Например, устройство, с которым экспериментировал Винер, состоит всего из двух элементов — фотографической пластинки и металлического зеркала, расположенных под небольшим углом друг к другу. В экспериментах Айвса и Фрэя интерференционное поле так же создавалось с помощью одного зеркала.
Однако, фотоприемники, чувствительные к пространственному положению в интерференционном поле, образованном встречными световыми потоками, не имеют серийного применения и в настоящее время [3−47]. Получили распространение интерферометры, в которых регистрируются однонаправленные световые потоки (Майкельсона, Жамена, Фабри-Перо, Рождественского, Рэлея, Физо и др.) традиционными фотоприемниками. Препятствием широкого использования простых однозеркальных интерферометров является практическое отсутствие ИЧФ. Промышленный выпуск таких фотоприемников открывает возможность создания широкого спектра новых опто-электронных устройств.
Прецизионные измерения с помощью интерферометров — это основной метод прямых сверхточных измерений геометрических параметров. Мировые лидеры производят интерферометры с разрешением < 1 нм. При возросшем интересе современной науки к нано-размерным исследованиям, развитие новых принципов интерферометрии весьма актуально. Многоэлементный интерференционно-чувствительный фотоприемник с ИЧ элементами, разнесенными в направлении световых лучей [27, 39, 41], имеет многофазные сигналы, что позволяет значительно увеличить разрешение интерферометров при измерении перемещения.
ИЧФ может быть избирательным по длине волны, без применения каких-либо элементов с селективным поглощением или отражением света [26]. Это позволяет рассмотреть новые принципы создания ячейки матричного приемника цветного изображения. Трехэлементный интерференционно-чувствительный селективный фотоэлемент (ИЧСФ) позволяет получить Ы, С, В-сигналы с селективностью, приближающейся к селективности человеческого зрения [32, 44]. ИЧФ позволяет производить электронную запись голографического изображения [16]. В перспективе ИЧСФ позволит решить задачу записи цветного голографического изображения без освещения объекта монохроматическим излучением, т. е. в белом свете. Иначе говоря, ИЧФ может стать основным элементом цветной топографической видеокамеры.
Используя мульти-пленочный ИЧФ в качестве фотоприемника в Фурье-спектрометре [17, 31, 43], можно отказаться от механического сканирования, которое осуществляется для получения необходимой разности хода световых лучей в традиционных Фурье-спектрометрах [48]. Разработка такого фотоприемника — главный шаг на пути создания Фурье-спектрометра на одной микросхеме. Оптический коррелометр может так же быть использован: для измерения малых задержек и длительности оптических импульсов (принципы измерения задержек сигналов с помощью коррелометра хорошо проработаны в радиотехических дисциплинах [49]) — устройствах селективной регистрации интерферирующих встречных световых излучений [26, 32, 44]- устройствах обработки оптической информации, в частности, ее декодирования [49]. Новый коррелометр может стать важным элементом оптического компьютера [50].
Целью настоящей работы является разработка физических основ способа регистрации интерференционных полей встречных световых потоков с помощью тонких фоточувствительных электрических слоев.
Основные задачи, решаемые в данной работе:
1. Исследование влияния неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность этих слоев.
2. Разработка вакуумного квадратурного ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны.
3. Расчет селективного фотоприемника с характеристиками селективности, эквивалентными избирательности усредненного человеческого зрения (ЯОВ-фотоприемник).
4. Расчет характеристик селективности ИЧФ с двумя выходами полосно-пропускающего и режекторного фильтра, не содержащего элементов избирательного поглощения.
5. Разработка схемы коррелометра и автокоррелометра оптических сигналов на основе ИЧФ.
Структура диссертации.
Во введении обоснована актуальность выбранной темы исследования, определена цель работы, дана общая характеристика проведенных исследований, отражены научная новизна и практическая значимость полученных результатов.
Во главе 1 описаны существующие технологии изготовления фотоприемников, перспективные для изготовления интерференционно-чувствительных фотоприемников, сообщаются результаты исследований ИЧФ, созданных по этим технологиям.
В главе 2 представлены результаты расчета влияния неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.
В главе 3 представлен первый вакуумный ИЧФ и его сигналы в составе однозеркального интерферометра.
Глава 4 описывает квадратурный ИЧФ и четырехфазный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала.
Глава 5 посвящена построению селективных интерференционно-чувствительных фотоприемников (ИЧСФ).
В главе 6 заложены основы построения ИЧФ — коррелометра оптических сигналов без механического сканирования разности хода.
Научная новизна.
1. Исследовано влияние неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.
2. Произведен расчет селективного ИЧФ с двумя выходами, имеющий характеристики селективности полосно-пропускающего и режекторного фильтра.
3. На основе моделирования расположения фотоэлектрических слоев в интерференционном поле встречных световых потоков, разработан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и свойствами избирательности по длине волны с высоким отношением сигнал/шум.
4. Показано, что ИЧФ с тремя ИЧ элементами может обладать цветовой избирательностью, приближающейся к цветовой избирательности человеческого глаза.
5. Разработан способ измерения корреляционной функции оптических сигналов без механического сканирования разности оптических путей.
Научная и практическая значимость.
1. Разработаны ИЧФ, которые могут быть использованы для оптоэлектроники, интерферометрии, спектроскопии, электронной голографии, телекоммуникаций и других применений.
2. Предложен коррелометр оптических сигналов — основа миниатюрного Фурье-спектрометр без механического сканирования.
3. Разработан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны для измерения перемещений с высоким отношением сигнал/шум (более 100) с граничной частотой >3 МГц.
Основные положения, выносимые на защиту.
1. Результаты расчета неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.
2. Вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и со свойствами избирательности по длине волны.
3. Схема и характеристики селективности интерференционно-чувствительного RGB-фотоприемника.
4. Схема и характеристики селективности интерференционно-чувствительного фотоприемника с двумя выходами, имеющего характеристики селективности, характерные для полосно-пропускающего и режекторного фильтра для одних и тех же характерных длин волн.
5. Схема ИЧФ-коррелометра и ИЧФ-автокоррелометра оптических сигналов.
Апробация работы.
Результаты, положенные в основу диссертации, опубликованы в журнале.
Оптика и спектроскопия", трудах SPIE, представлены на конференциях в США (Орландо), Новосибирске, Москве, Томске, Ялте, в Сибирском Федеральном Университете. ИЧ-фотоприемник и интерферометр на встречных световых потоках демонстрировались на Международных выставках достижений РАН в Китае (г. Шеньян, 2006 г.), «Фотоника-2008» (г. Москва) и «0птика-2008» (г. Москва).
Основные публикации по теме диссертации.
1. Shestakov N.P., Ivanenko A.A., Sysoev A.M. Photodetector interference field // Proceedings of SPIE, V. 4900, Part Two. — 2002. — P. 1276−1289.
2. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. New photodetector — meter of the correlation function of optical signals // Proceeding SCI, V.10. -2003. -P. 124−129.
3. Пат. 2 222 039 Российская федерация, МКП G03H1/04, Устройство для записи голограммы объекта во встречных пучках / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. — № 2 002 104 016/28- 2002.02.13- утв. 2004.01.20, Бюл. № 2.
4. Пат. 2 217 710 Российская федерация, МКП G01J3/457, Способ измерения корреляционной функции световых потоков и устройство для его осуществления / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. -№ 2 002 112 978/28- 2002.05.13- утв. 2003.11.27, Бюл. № 33.
5. Пат. 2 227 341 Российская федерация, МКП H01J40/02, Фотоэлектронный прибор / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M. — № 2 002 103 994/09- 2002.02.13- утв. 2004.04.20, Бюл. № 11.
6. Пат. 2 224 331 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Фотоприемник (варианты) / Шестаков Н. П., Иваненко А. А., Сысоев A.M. — № 2 001 131 679/28- 2001.11.23- утв. 2004.02.20, Бюл. № 5.
7. Пат. 2 239 918 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко А. А., Сысоев A.M. — № 2 002 103 558/28- 2002.02.08- утв. 2004.11.10, Бюл. № 31.
8. Пат. 2 239 917 Российская федерация, МКП 7H01L 31/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко А. А., Сысоев A.M. — № 2 002 101 414/28- 11.01.2002; утв. 10.11.2004, Бюл. № 31.
9. Пат. 2 243 615 Российская федерация, МКП H01L 31/00, Фотоприемник / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M. — № 2 002 105 463/28- 2002.02.28- утв. 2004.12.27, Бюл. № 36.
10. Пат. 2 241 280 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко А. А., Сысоев A.M. — № 2 002 102 016/28- 2002.01.21- утв. 2004.11.27, Бюл. № 33.
11. Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. Method for measuring light flux correlation function and device for carrying out said method // WO 2005/8 201.-2005. 17 p.
12. Пат. 2 255 306 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Иваненко А. А., Сысоев А. М, Шестаков Н. П. — № 2 002 107 179/28- 2002.03.20- утв. 2005.06.27, Бюл. № 18.
13. Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. Квадратурный двухфазный интерфернционно-чувствительный фотоприемник для интерферометров встречных световых потоков // Труды Всероссийской научно-технической конференции. — Красноярск. -2006. С. 339−343.
14. Пат. 2 335 034 Российская федерация, МКП НОЮ 1/00, Квадратурное фотоприемное устройство / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. -№ 2 007 115 748/28- 2007.04.25- утв. 2008.09.27, Бюл. № 27.
15. Ivanenko А.А., Shabanov V.F., Sysoev A.M., Shestakov N.P. Interference Sensitive Selective Photodetector // Proceedings of SPIE. — 2008. — Volume 7009, 7009IK. 8 pages.
Заключение
.
Настоящая диссертация посвящена разработке физических основ способа регистрации интерференционных полей встречных световых потоков с помощью тонких фоточувствительных электрических слоев. В работе исследовано влияние неоднородностей, толщины фотоэлектрических слоев на интерференционную чувствительность.
На основе моделирования расположения фотоэлектрических слоев в интерференционном поле встречных световых потоков, создан селективный ИЧФ с двумя выходами, имеющий характеристики селективности полосно-пропускающего и режекторного фильтра.
Показано, что ИЧФ с тремя ИЧ элементами может обладать цветовой избирательностью, приближающейся к цветовой избирательности человеческого глаза.
Разработан способ измерения корреляционной функции оптических сигналов без механического сканирования разности оптических путей.
Создан вакуумный квадратурный ИЧФ с подавлением синфазного сигнала и свойствами избирательности по длине волны с высоким отношением сигнал/шум и граничной частотой > 3 МГц.
В заключении автор считает своим долгом поблагодарить научных руководителей В. Ф. Шабанова и Н. П. Шестакова за высококвалифицированное научное руководство.
Автор выражает благодарность A.M. Сысоеву, H.A. Крыловой, А. Д. Игонину, Ю. С. Русецкому, Н. И. Павленко, О. В. Белоусову, В. Я. Зырянову за сотрудничество при создании интерференционно-чувствительных фотоприемников.
Список литературы
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. — М: Наука. — 1973. — 720 с.
- Ives Н., Fry Т. Standing light waves- Repetition of an experiment by Wiener, using a photoelectric probe surface // J. of Optical Society of America, V. 23. 1933. P. 73−83.
- Bucher H. Stehende-Wellen-Interferometer zur Messung von optischen Gangunterschieden // Patentschift DE 3 300 369. 1983. — 6 p.
- Alexander D.H., Ishizuka K., Sato R.N. Optical Displacement Sensor // US Patent 4 443 107. 1984. -6 p.
- Bucher H. Standing wave interferometer four measuring optical path differences // US Patent 4 571 083. 1986. — 8 p.
- Jager G., Bucher H. Inkrementalen Stehende-Wellen-Sensor // Offenlegungsschift DE 3 612 221 AI. 1986. — 9 p.
- Miller D.A.B. Laser Tuners and Wavelength-Sensitive Detectors Based on Absorbers in Standing Waves // IEEE Journal of Quantum Electronics, V. 30(3). -1994.-P. 732−749.
- Sasaki M., Mi X., Hane K. Standing wave detection and interferometer application using a photodiode thinner than optical wavelength // Applied Physics Letters. 1999. — P. 2008−2010.
- Mi X., Sasaki M., Hane K. Ultra-thin film photodiodes for use in position sensors // J. Modern Optics, V. 48(1). 2001. — P. 55−66.
- Пат. 2 188 401 Российская федерация, МКП G01J3/00, G01R23/00, G01J3/45, H01L31/00, Интерферометр / Атнашев A.B., Атнашев В. Б., Атнашев П. В. № 2 001 113 539/28- 16.05.2001- утв. 27.08.2002, Бюл. № 24.
- Пат. 2 188 402 Российская федерация, МКП G01J3/00, G01J3/45, G01R23/00, H01L31/00, Интерферометр / Атнашев A.B., Атнашев В. Б., Атнашев П. В. № 2 001 117 004/28- 22.06.2001- утв. 27.08.2002, Бюл. № 24.
- Shestakov N.P., Ivanenko A.A., Sysoev A.M. Photodetector interference field // Proceedings of SPIE, V. 4900, Part Two. 2002. — P. 1276−1289.
- Harris J.S.J, Kung H.L., Miller D.A.B. Compact Transform Spectrometer Based on Sampling a Standing Wave Cross-Reference to Related applications // PCT WO 02/14 782 Al. -2002. 24 p.
- Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. New photodetector meter of the correlation function of optical signals // Proceeding SCI, V.10. -2003. — P. 124−129.
- Пат. 2 222 039 Российская федерация, МКП G03H1/04, Устройство для записи голограммы объекта во встречных пучках / Иваненко A.A., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. № 2 002 104 016/28- 2002.02.13- утв. 2004.01.20, Бюл. № 2.
- Li Y., Mi X., Sasaki М., Напе К. Precision optical displacement sensor based on ultra-thin film photodiode type optical interferometers // Measurement Science and Technology. 2003. — P. 479−483.
- Stiebig H., Buchner H.J., Bunte E., Mandryka V., Knipp D., Jager G. Standing wave detection by thin transparent n-i-p diodes of amorphous silicon. // www.elsevier.com/locate/sna, Thin Solid Films 427. 2003. — P. 152−156.
- D. Knipp, H. Stiebig, S.R. Bhalotra, H. Kung, D.A.B. Miller, Thin Film Technology based Micro-Fourier spectrometer // SPIE Photonics West, Conference on MOEMS and Miniaturized Systems III, SPIE 4983−15. 2003. 12 p.
- Buchner H.J., Stiebig H., Mandryka V., Bunte E., Jager G. An optical standing-wave interferometer for displacement measurements // Measurement Science Technology, NO. 14. 2003. — P. 311−316.
- Пат. 2 227 341 Российская федерация, МКП H01J40/02, Фотоэлектронный прибор / Иваненко A.A., Шестаков Н. П., Сысоев A.M. № 2 002 103 994/09- 2002.02.13- утв. 2004.04.20, Бюл. № 11.
- Пат. 2 224 331 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник (варианты) / Шестаков Н. П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2 001 131 679/28- 2001.11.23- утв. 2004.02.20, Бюл. № 5.
- Пат. 2 239 918 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2 002 103 558/28- 2002.02.08- утв. 2004.11.10, Бюл. № 31.
- Пат. 2 239 917 Российская федерация, МКП 7H01L 31/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2 002 101 414/28- 11.01.2002- утв. 10.11.2004, Бюл. № 31.
- Пат. 2 243 615 Российская федерация, МКП H01L 31/00, Фотоприемник / Иваненко A.A., Шестаков Н. П., Сысоев A.M. № 2 002 105 463/28- 2002.02.28- утв. 2004.12.27, Бюл. № 36.
- Пат. 2 241 280 Российская федерация, МКП H01L31/00, Фотоприемник / Шестаков Н. П., Иваненко A.A., Сысоев A.M. № 2 002 102 016/28- 2002.01.21- утв. 2004.11.27, Бюл. № 33.
- Stiebig Н., Mandryka V., Bunte Е., Buchner H.J., Jun К.Н. Novel micro interferometer for length measurements // Journal of Non-Crystalline Solids. 2004. — P. 793−796.
- Bunte E., Mandryka V., Juna K.H., Buchner H.J., Jager G., Stiebig H. Thin transparent pin-photodiodes for length measurements // Sensors and Actuators, A 113.-2004.-P. 334−337.
- Buchner H.J., Mandryka V., Jager G. Design and investigation of an optical standing-wave interferometer for displacement measurements // Proc. of SPIE, V. 5594.-2004. .-P. 57−65.
- Ivanenko A.A., Shestakov N.P., Sysoev A.M., Shabanov V.F. Method for measuring light flux correlation function and device for carrying out said method // WO 2005/8 201. 2005. — 17 p.
- Ivanenko A. A., Shabanov V.F., Sysoev A. M., Shestakov N. P. Selective interference sensitive photodetector. // Proceeding on CAOL/LFNM/POEO. Yalta, Crimea, Ukraine, 12−17 Septeember, -2005. — P. 275−278.
- Пат. 2 255 306 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Иваненко A.A., Сысоев А. М, Шестаков Н. П. № 2 002 107 179/28- 2002.03.20- утв. 2005.06.27, Бюл. № 18
- Chen R., Chin Н., Miller D.A.B., Ma К., Harris J.S. MSM-Based Integrated CMOS Wavelength-Tunable Optical Receiver // IEEE Photonics Technology Letters, V. 17, NO. 6.-2005.-P. 1271−1273.
- Stiebig H., Bunte E., Kung H.L. Optimization of Phase-Sensitive Transparent Detector for Length Measurements // IEEE Transactions on Electron Devices, V. 52, NO. 7.-2005.-P. 1656−1661.
- Stiebig H., Knipp D., Bhalotra S.R., Kung H.L., Miller D.A.B. Interferometric Sensors for Spectral Imaging // Sensors and Actuators A: Physical, 120/1. 2005. -P. 110−114.
- Knipp D., Stiebig H., Bhalotra S.R., Bunte E., Kung H.L., Miller D.A.B. Silicon-Based Micro-Fourier Spectrometer // IEEE Transactions on Electron Devices, V. 52, NO. 3. 2005. — P. 419−426.
- Пат. 2 277 222 Российская федерация, МКП G01B9/02, Интерферометр / Шабанов В. Ф., Иваненко A.A., Шестаков Н. П., Сысоев A.M. № 2 002 115 414/28- 2002.06.07- утв. 2006.05.07, Бюл. № 15.
- Stiebig Н., Knippa D., Bunte Е. Standing-wave spectrometer // Applied Physics Letters. 2006. — V. 88. — P. 83 509−1 — 83 509−3.
- Пат. 2 335 034 Российская федерация, МКП H01L31/00, Квадратурное фотоприемное устройство / Иваненко А. А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. № 2 007 115 748/28- 2007.04.25- утв. 2008.09.27, Бюл. № 27.
- Шабанов В.Ф., Шестаков Н.П, Иваненко А. А., Сысоев A.M. Интерференционно-чувствительный фотоприемник // Фотоника. 2007. — № 6. -С. 32−34.
- Иваненко А.А., Шестаков Н. П., Сысоев A.M., Шабанов В. Ф. Интерференционно-чувствительный фотоприемник-коррелометр оптических сигналов // Оптика и спектроскопия. 2008. — Том 104, № 4. — С. 687−689.
- Ivanenko А.А., Shabanov V.F., Sysoev A.M., Shestakov N.P. Interference Sensitive Selective Photodetector // Proceedings of SPIE. 2008. — Volume 7009, 7009IK. 8 pages.
- А.А. Иваненко, Н. П. Шестаков, Интерференционно чувствительный фотоприемник (ИЧФ), Международная выставка «Научно-технические достижения РАН», г. Шеньян, Китай, 2006 г, — С. 86.
- Н.П. Шестаков, А. А. Иваненко, Интерферометр на встречных световых потоках // Международная выставка «Научно-технические достижения РАН», г. Шеньян, Китай, -2006 г, С. 86
- А.А. Ivanenko, N.P. Shestakov, A.M. Sysoev, V.F. Shabanov, Interference-sensitive selective photodetector, Third International Forum «Optics 2007», Moscow, Theses science conference in All-Russia exhibition center, — 2007, — P. 53.
- Вагин B.A., Гершун M.A., Жижин Т. Н., Тарасов К. И. Светосильные спектральные приборы М.: Наука. — 1988. — 264 с.
- Баскаков С.И. Радиотехнические цепи и сигналы. М.: Высш. щкола -1988.-448 с.
- Васильев A.A., Касасент Д., Компанец И. Н., Парфенов A.B. Пространственные модуляторы света М.: Радио и связь. — 1987. — 320 с.
- Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника. М: Мир. — 1976.-432 с.
- Hertz Н., Uber einen Einfluss des ultravioletten Lichtes auf die electrische Entladung // Annalen der Physik und Chemie, Bd 31. 1887.
- Lenard Р. Erzeugung von Kathodenstrahlen durch ultraviolettes Licht // Sitzungsberichte der Kaiserlichen Akademie der Wissenschaften, 108. 1899. — P. 1649−1666.
- Эйнштейн А., Собр. научн. тр. // М: Наука, т. 3. — 1966. — 632 с.
- Dakin J.P., Brown R.G.W. Handbook of Optoelectronics New York, London: Taylor & Fransis Group, Vol. 1. — 2006. — 763 p.
- Добрецов Jl. H., Гомоюнова М. В. Эмиссионная электроника. М.: Наука. — 1966. — 546 с.
- Берковский А.Г., Гаванин В. А., Зайдель И. Н. Вакуумные фотоэлектронные приборы. -М.: Радио и связь. 1988. — 272 с.
- Бабичев А.П., Бабушкина H.A., Братковский A.M. и др. Физические величины: Справочник. -М.- Энергоатоииздат. 1991. — 1232 с.
- Antypas G.A., James J.W., Uebbing I. J. Operation of III-V Semiconductor Photocathodes in the Semitransparent Mode // J. Appl. Phys. 41, — 1970. P. 2888.
- James L.W., Antypas G.A., Edgecumbe J., Moon R.L., Bell R.L. Dependence on Crystalline Face of the Band Bending in Cs2 O-Activated GaAs. // J. Appl. Phys. 42.-1971.-P. 4976.
- James L. W., Antypas G. A., Uebbing J. J., Yep Т. O., Bell R. L. Optimization of the InAsxP l-x—Cs20 Photocathode // J. Appl. Phys, 42. 1971. — P. 580.
- Spicer W.E., Bell R.L. The III-V Photocathode: a major Detector Development // Pub. Astron. Soc. Pacific, V. 84. 1972. — P. 354−355.
- Bell R.L. Spicer W.E., 3−5 compound photocathodes: A new family of photoemitters with greatly improved performance // Proceedings of the IEEE. 1970. P. 1788−1802.
- Пахневич A.A., Бакин B.B., Шайблер Г. Э., Терехов А. С. Эмиссия баллистических фотоэлектронов из p-GaN(Cs, 0) с эффективным отрицательным электронным сродством. // ФТТ, т.49, вып.11. 2007. — С. 19 761 980.
- Ковтонюк Н.Ф., Сальников Е. Н. Фоточувствительные МДП приборы для преобразования изображений. — М.: Радио и связь, 1990. — 160 с.
- Новоселова А.В., Лазарева В. Б. Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. М.: Наука. — 1979. — 340 с.
- Гременок В.Ф., Ильчук Г. А., Никитин С. Е., Рудь В. Ю. Получение и фотоэлектрические свойства гетеропереходов ZnO-Cu(In, Ga) Se2. // Физика и техника полупроводников, -т. 39, вып. 2. -2005. -С. 218−221.
- Тютиков A.M. Электронные умножители нового типа. // Успехи физических наук, т. 10, вып.З. 1970. — С. 467−503.
- Скрипников А., Канальные фотоумножители PerkinElmer Optoelectronics. // Компоненты и технологии. 2005, № 3. — С. 24−26.
- Анисимова И.И., Глуховской Б. М. Фотоэлектронные умножители. —М.: Советское радио. 1974. 64 с.
- Spear W.E., Lecomber P.G. Electronic Properties of Substituted Doped Amorphous Si and Ge // Phys. Mag., V. 33. 1976. — P. 935−949.
- Carlson D.E. Amorphous Silicon Solar Cells // IEEE Trans on Electron Devices, Vol. ED-24. 1977. — P. 449−453.
- Хамайкава Й. Аморфные полупроводники и приборы на их основе. М.: Металлургия. — 1986. — 376 с.
- Адонин А. Новые возможности технологии БИС со структурой «кремний на сапфире». // Электронные компоненты, № 3. 2000. — С. 2−6.
- Lau S. S. Improvement of Crystalline Quality of Epitaxial Si Layers by IonImplantation Techniques. // Applied Physics Letters, NO. 1. 1979. — P. 34
- Lam B.F., Mark Burgener M., Reedy R. Multi-GHz CMOS technology delivers new level of RF integration. // Defense Electronics, 2005. — P. 10−14.
- Houssaye D.L. Fabrication of n-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with 0.2 fi m gate lengths in 500A thin film silicon on sapphire. // Journal of Vacuum Science & Technology B, vol. 10, No. 6, 1992, — P. 2954−2957.
- Буткевич В. Г., Бочков В. Д., Глобус Е. Р. Фотоприемники и фотоприемные устройства на основе поликристаллических и эпитаксиальных слоев халькогенидов свинца // Прикладная физика, № 6. 2001. — С. 66−112.
- Мартынов В.Н., Кольцов Г. И. Полупроводниковая оптоэлектроника: Учебное пособие для вузов. -М.: «МИСИС», 1999. — 400 с.
- Пономаренко В.П., Филачев A.M. Фотоприемники и фотоприемные модули нового поколения (к 55-летию НИИ-801 — НПО «Орион») // Прикладная физика, № 6. 2001. — С. 20−38.