Сканирующий спектроэллипсометр «ЭЛЬФ»

Сканирующий спектроэллипсометр «ЭЛЬФ» производства Концерна «Наноиндустрия» предназначен для измерения толщины тонких пленок и многослойных пленочных структур, измерения спектров оптических постоянных и диэлектрических свойств материалов, анализа состояния поверхности и структуры тонких поверхностных слоев.

Позволяет проводить исследования тонких пленок толщиной 0,1 нм — 2 мкм с точностью до 0,1 нм в диапазоне длин волн 270 — 1000 нм с шагом 1 нм, со спектральным разрешением не хуже 4 нм. Оборудован двумя источниками света; микроприставкой, позволяющей улучшить пространственное разрешение; ахроматическим компенсатором, позволяющим повысить точность измерений слоев толщиной менее 10 нм; блоком сопряжения с персональным компьютером (с современным программным обеспечением). Данный прибор входит в состав комплектации лаборатории микроскопии первого этапа и за время эксплуатации зарекомендовал себя с наилучшей стороны при решении образовательных задач.

Стоимость установки — 700 000 руб.

Лазерный эллипсометр SE 400adv SENTECH

SE 400adv — лазерный (сканирующий) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Характеристика: Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов.

Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощьюавтоколлиматического телескопа (АСТ). Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH.

Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

Технические характеристики:

эллипсометрия поляризация микробиология.