Диплом, курсовая, контрольная работа
Помощь в написании студенческих работ

Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем

Диссертация: Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

К числу важнейших физико-химических ' параметров металлических пленок на кремниевых и диэлектрических подложках относятся поверхностная энергия, электрические и адгезионные свойства, а также структурные особенности поверхности пленок. Особое внимание уделяется фундаментальным характеристикам поверхности: поверхностной энергии сг и работе выхода электрона Ф. В последнее время достигнут… Читать ещё >

Содержание

  • ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ
  • Глава 1. Современное состояние исследований по теме
    • 1. 1. Метод функционала электронной плотности и поверхностные свойства твердых металлов и сплавов
      • 1. 1. 1. О методе функционала электронной плотности
      • 1. 1. 2. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода электрона чистых металлов
      • 1. 1. 3. Размерные эффекты поверхностной энергии и работы выхода электрона
    • 1. 2. Влияние фотонного отжига на физико-химические свойства поверхности твердых тел
      • 1. 2. 1. Лазерный отжиг полупроводниковых структур
      • 1. 2. 2. Фотонный отжиг с помощью некогерентного излучения
    • 1. 3. Поверхностное натяжение металлов в твердой фазе
      • 1. 3. 1. Метод нулевой ползучести
      • 1. 3. 2. Высокотемпературный вариант компенсационного метода нулевой ползучести для измерения поверхностного натяжения металлов в твердом состоянии
      • 1. 3. 3. Поверхностное натяжение некоторых металлов, используемых в электронике
  • Выводы
  • Глава 2. Методика приготовления образцов и их исследований
    • 2. 1. Методика напыления металлических пленок на кремний и микроканальные структуры
    • 2. 2. Методика измерения электрических характеристик тонких пленок на кремнии и микроканальных структурах
    • 2. 3. Методика изучения морфологии пленок с помощью атомно-силового микроскопа
    • 2. 4. Методика рентгенофлуоресцентного и рентгеноструктурного анализа металлических пленок
  • Выводы
  • Глава 3. Поверхностные и электрические свойства металлов в твердом состоянии
    • 3. 1. Вариационные вычисления релаксации чистых металлических поверхностей
    • 3. 2. Поверхностная релаксация во внешнем электрическом поле
    • 3. 3. Влияние давления на поверхностную энергию металлов
    • 3. 4. Взаимосвязь между поверхностным натяжением и поверхностной энергией в сферической изотропной наночастице металлического сплава, находящейся в электрическом поле
    • 3. 5. О связи между поверхностной энергией и работой выхода электрона с остаточным сопротивлением металлов
  • Выводы
  • Глава 4. Поверхностное сопротивление и морфология металлических пленок на кремнии и микроканальных структурах до и после фотонного отжига
    • 4. 1. Зависимость поверхностного сопротивления металлических пленок от времени фотонного отжига
    • 4. 2. Рентгенофлуоресцентный и ренгеноструктурный анализ тонких металлических пленок
    • 4. 3. Морфология металлических пленок на наноуровне до и после фотонного отжига
  • Выводы

Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность темы

Различные металлические системы широко используются в технологиях микрои наноэлектроники при создании элементной базы электронных приборов.

К числу важнейших физико-химических ' параметров металлических пленок на кремниевых и диэлектрических подложках относятся поверхностная энергия, электрические и адгезионные свойства, а также структурные особенности поверхности пленок. Особое внимание уделяется фундаментальным характеристикам поверхности: поверхностной энергии сг и работе выхода электрона Ф. В последнее время достигнут существенный прогресс как в теоретических, так и в экспериментальных исследованиях сг и Ф чистых металлических поверхностей. Ранее в рамках метода функционала электронной плотности были установлены закономерности влияния внешних электрических полей, адсорбированных покрытий, размеров образцов на поверхностные свойства металлических систем. Однако в прежних работах не учитывалось влияние релаксации структуры на, а и Ф металлов при наличии значительных электрических полей и давлений. Не была установлена связь между поверхностной энергией и поверхностным натяжением наночастиц металлических систем, находящихся в электрических полях. Появление современных атомно-силовых, туннельных микроскопов позволяет выявлять взаимосвязи между некоторыми поверхностными свойствами и морфологией поверхности пленок, изученной на наноуровне. Однако подобных данных в литературе пока недостаточно. Вместе с тем, управляя структурой и морфологией пленок с помощью различных технологических приемов, можно получить гетероструктуры с прогнозируемыми свойствами. Одним из способов влиять на структуру, строение и свойства пленок является фотонный отжиг, который позволяет локализовать тепловую энергию в приповерхностной области и уменьшить термическую нагрузку на полупроводниковые и диэлектрические подложки, тем самым, сохраняя их функциональные свойства.

Цель работы — изучение влияния электрического поля и давления на поверхностную энергию и ультрафиолетового излучения на поверхностное сопротивление металлических систем. В соответствии с поставленной целью решались следующие задачи:

— Изучить в рамках метода функционала электронной плотности (МФЭП) влияние релаксации структуры на анизотропию поверхностной энергии (ПЭ) и работы выхода электрона (РВЭ), а также влияние внешних электрических полей и давления на ПЭ.

— Установить взаимосвязь между поверхностной энергией и поверхностным натяжением (ПН) наночастиц металлических систем в электрических полях.

— Выявить взаимосвязи между ПЭ и РВЭ с остаточным сопротивлением металлов.

— Оптимизировать технологию фотонного отжига металлических пленок на кремнии и микроканальных структурах.

— Выявить взаимосвязи поверхностного сопротивления металлических пленок с их морфологией до и после фотонного отжига.

Научная новизна.

— В рамках МФЭП разработана методика оценки релаксации структуры, ПЭ и РВЭ граней (100) — (111) щелочных металлов.

— Впервые методом функционала электронной плотности проведены оценки влияния внешнего электрического поля и давления на ПЭ граней чистых металлических кристаллов с учетом релаксации структуры.

— Оптимизирована методика фотонного отжига металлических пленок на кремнии и микроканальных структурах. По зависимости поверхностного электросопротивления от времени воздействия светового излучения установлены оптимальные режимы фотонного отжига.

— Эмпирически установлены взаимосвязи между поверхностными свойствами (ПЭ и РВЭ) и остаточным сопротивлением металлических систем.

— Впервые в рамках термодинамики поверхностных явлений установлена взаимосвязь между ПЭ и ПН наночастиц, находящихся во внешнем электрическом поле.

Практическая значимость.

Методика фотонного отжига металлических пленок на кремнии и микроканальных структурах позволит оптимизировать технологии изготовления электронных приборов (лавинно-пролетных диодов, приборов ночного видения, диодов Шоттки и т. д.). Данные по ПЭ и РВЭ металлов могут использоваться при конструировании новых катодных материалов. Результаты ПИР используются при чтении спецкурсов в КБГУ и СКГМИ.

На защиту выносятся.

— Методика учета релаксации структуры при оценках ПЭ и РВЭ в электрических полях и при наличии внешнего давления.

— Данные по поверхностной энергии, работе выхода электрона низкоиндексных граней щелочных металлов, полученные в рамках МФЭП с учетом релаксации структуры.

— Установленная взаимосвязь между ПЭ и ПН наночастиц в электрических полях.

— Оптимальные режимы фотонного отжига некогерентным ультрафиолетовым излучением металлических пленок на кремнии и микроканальных структурах.

Апробация работы.

Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на 10 и 11 Международном симпозиуме Фазовые превращения в твердых растворах и сплавах" (ОМА-10, п. Лоо, 2007), на 11 Международном симпозиуме «Порядок и беспорядок и свойства оксидов» (ODPO-11, п. Лоо, 2008), на 1 Международном симпозиуме «Физика низкоразмерных систем и поверхностей» (LDS-2008), на научных семинарах кафедр физики и электронных приборов СКГМИ, физики межфазных явлений в КБГУ.

Достоверность результатов, полученных в данной работе, определяется применением современных теоретических и экспериментальных методик, воспроизводимостью результатов, согласованностью данных, полученных экспериментально, с теоретическими оценками, а также известными литературными данными.

Личный вклад автора. В диссертации приводятся результаты в основном полученные лично автором. Цели и задачи исследования сформулированы научным руководителем проф. В. А. Созаевым.

Публикации. Основные результаты по теме диссертации опубликованы в 11 работах, из которых 4 в журналах, рекомендованных ВАК РФ.

Объем и структура диссертации. Диссертационная работа изложена на 115 страницах машинописного текста, содержит 27 рисунков и 4 таблицы. Она состоит из введения, четырех глав, выводов и списка литературы из 157 наименований.

Выводы по работе.

1. В рамках МФЭП с учетом дискретности положительного заряда получены вклады в ПЭ и РВЭ, связанные с поверхностной релаксацией.

2. На границе низкоиндексных граней щелочных металлов показано, что на рыхлых гранях (111) наблюдается сжатие межплоскостных расстояний (S< 0), на плотноупакованных гранях (110) наблюдается растяжение (5> 0), а в случае Li и К поверхностная релаксация отсутствует (S= 0).

3. Оценки показывают, что ПЭ релаксирующих граней, как правило, ниже нерелаксированных. Для РВЭ такой закономерности не наблюдается.

4. Наличие поля усиливает поверхностную релаксацию и изменяет значения ПЭ. При Е > 0 ПЭ снижается, при Е < 0 увеличивается. В сильных полях вследствие ПР различие в анизотропии увеличивается. Например, при п.

Е = +2.6×10 В/см различие в изменении Ao/oq граней (100) и (110) натрия может достигать 2% (а0 — ПЭ в отсутствие поля).

5. Оценки влияния давления на ПЭ в рамках МФЭП для Na показывают, что при давлениях 100 МПа относительное уменьшение ПЭ (Ло/о) составляет ~ 10%.

6. В рамках термодинамики поверхностных явлений установлена взаимосвязь между поверхностным натяжением и поверхностной энергией в сферической изотропной металлической наночастице, находящейся в электрическом поле.

7. Установлена корреляция между разностью поверхностных энергий (работ выхода электрона) металла матрицы и примеси и остаточным сопротивлением.

8. Изучено влияние времени фотонного отжига с помощью ультрафиолетового облучения на поверхностное сопротивление пленок хрома и алюминия на кремнии и микроканальных структурах. Фотонный отжиг при соответствующем подборе режима облучения приводит к улучшению морфологии поверхности и соответственно к уменьшению поверхностного сопротивления пленок.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Кон, В. Электронная структура вещества — волновые функции и функционалы плотности / В. Кон // УФН. — 2002. — Т. 172, № 3. — С. 336 -348.
  2. , В. И. Квантоворазмерные металлические коллоидные системы /
  3. B. И. Ролдугин // Успехи химии. 2000. — Т. 69, № 10. — С. 899−923.
  4. , А. Н. Теоретические методы в физике поверхности / А. Н. Вакилов, М. В. Мамонова, В. В. Прудников, И. А. Прудникова. -ОМГУ. Омск, 2001. — 123с.
  5. , В. Ф. Электронно-статистическая теория металлов и ионных кристаллов / В. Ф. Ухов, Р. М. Кобелева, Г. В. Дедков, А. И. Темроков // М.: Наука, 1982.-160 с.
  6. Теория неоднородного электронного газа / Под ред. С. С. Лундквиста, Н. Марча. М.: Мир, 1987. — 400 с.
  7. Kiejna, A. Surface properties of alkali metal alloys / A. Kiejna, K. Wojciechowski // J. Phys. C. Solid State Phys. 1983. — V. 16. — P. 68 836 896.
  8. Yamauchi, H. Surface segregation in jellium binary solid solutions / H. Yamauchi // Phys. Rev. 1985. — V. 31, № 12. — P. 7688−7694.
  9. , P. M. К теории поверхностной сегрегации сплавов щелочных металлов / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев // Поверхность. 1988. — Вып. 7.1. C. 42−46.
  10. Kiejna, A. Responce of a stabilized jellium surface to a static electric field / A. Kiejna // Surf. Sci. 1995. — № 1−5. — P. 6765−6569.
  11. Kiejna, A. Surface stress of stabilized jellium / A. Kiejna, P. Ziesche // Solid St. Commun. 1993. — V. 88, № 2. — P. 143−147.
  12. , В. В. К теории самосжимающихся твердых и жидких металлических кластеров / В. В. Погосов // ФТТ.-1995.- Т. 37, № 9.-С. 2807−2813.
  13. , А. 3. Поверхностные свойства сплавов щелочных металлов /
  14. A. 3. Кашежев, А. X. Мамбетов, В. А. Созаев, Д. В. Яганов // Поверхность. 2001. — № 12. — С. 53−59.
  15. , Р. М. Индуцированная поверхностная сегрегация в сплавах щелочных металлов / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев // Поверхность. 1992. -№ 4. — С. 22−25.
  16. , А. Г. Электронная теория поверхностного натяжения металлов / А. Г. Самойлович // ЖЭТФ. 1946. — Т. 16, № 2. — С. 135−150.
  17. Smoluchowski, R. Anisotropy of the electron work function of metals / R. Smoluchowski // Phys. Rev. 1941. -V. 60. — P. 663−674.
  18. , С. H. Влияние модуляций электронной плотности на поверхностное натяжение металлов / С. Н. Бурмистров, JI. Б. Дубровский // ФТТ. 1981. — Т. 23, Вып. 10. — С. 3104−3107.
  19. , М. Б. К самосогласованной теории энергетического барьера на границе металла с диэлектрической средой / М. Б. Партенский,
  20. B. Е. Кузема // ФТТ. 1979. — Т. 21, Вып. 9. — С. 2842−2844.
  21. , Г. И. Влияние субмонослойных пленок на поверхностные свойства металлов / Г. И. Бигун // УФЖ. 1979. — Т. 24, № 9. — С. 1313−1320.
  22. Badiali, J. P. Effect of solvent on properties of liquid metal surface / J. P. Badiali, M.L.Rosenberg, J. Goodisman // J. Electr. Chem. 1981. — V. 130.-P. 31−45!
  23. , P. M. Размерный эффект поверхностной сегрегации в сплавах щелочных металлов / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев // Поверхность. 1989. — № 11.-С. 22−24.
  24. Geldart, D. J. Exchange and correlation energy of an inhomogeneous electron gas at metallic densities / D. J. Geldart, M. Rasolt // Phys. Rev. B. 1976. -V. 13, № 4.-P. 1477−1488.
  25. , С. H. К обоснованию правила Бравэ / С. Н. Задумкин // ФТТ. -1963.-Т. 5, Вып. 11.-С. 3317−3318.
  26. , С. Н. Взаимосвязь между поверхностными и другими свойствами веществ / С. Н. Задумкин, А. И. Темроков, И. Г. Шебзухова, И. М. Алиев // В кн.: Поверхностные явления в расплавах / Киев: Наукова Думка, 1968.-С. 9−20.
  27. , А. И. О теплофизических характеристиках поверхностей кристаллических тел / А. И. Темроков // Теплофизика высоких температур. 2000. — Т. 38, № 4. — С. 573−578.
  28. , С. Н. Приближенная оценка ориентационной зависимости поверхностной энергии и поверхностного натяжения металлических кристаллов / С. Н. Задумкин, И. Г. Шебзухова // ФММ. 1969.- Т. 28, № 3.-С. 434−439.
  29. , И. Г. О расчете поверхностной энергии металлов IB группы электронно-статистическим методом / И. Г. Шебзухова, С. Н. Задумкин,
  30. B. К. Кумыков // В кн.: Смачиваемость и поверхностные свойства расплавов и твердых тел / Киев: Наукова Думка, 1972. С. 146−151.
  31. , И. Г. Расчет анизотропии поверхностной энергии металлических кристаллов / И. Г. Шебзухова // Физика и химия поверхности / Нальчик: КБГУ, 1982. С. 27−31.
  32. , И. Г. Влияние полиморфных превращений на анизотропию поверхностной энергии Зс1-металлов / И. Г. Шебзухова, JI. П. Арефьева // Вестник КБГУ, Сер. Физические науки. Нальчик: КБГУ. 2004. — Вып. 9.1. C.7−9.
  33. , Н. JI. Вычисление поверхностной энергии сплавов / Н. JI. Покровский, В. А. Созаев // Юм — Розери. Адгезия расплавов и пайка материалов / Киев: Наукова Думка, 1984. № 12. — С. 51−55.
  34. , X. X. Расчет поверхностной энергии граней металлических монокристаллов по их значениям работы выхода электрона / X. X. Калажоков // Известия СКНЦВШ. Серия естественные науки. -1988. №. — С. 77.
  35. , X. X. К расчету поверхностной энергии грани монокристалла через значение ее работы выхода электрона / X. X. Калажоков, А. С. Гонов, 3. X. Калажоков // Металлы. 1996. — № 3. — С. 53−55.
  36. , С. Н. Поверхностная энергия и работы выхода гладких граней металлического монокристалла / С. Н. Задумкин, И. Г. Шебзузова, Б. Б. Алчагиров // ФММ. 1970. — Т. 30, № 6. — С. 1313−1315.
  37. Hohenberg, P. Inhomogeneous electron gas / P. Hohenberg, W. Kohn // Phys. Rev.-1964.-V. 136.-P. 846−871.
  38. Kohn, W. Self consistent equations including exchange and correlation effects / W. Kohn, L. J. Sham // Phys. Rev. — 1965. — V. 140. — P. 1135−1138.
  39. Lang, N. D. Theory of metal surfaces: charge density and surface energy / N. D. Lang, W. Kohn // Phys. Rev. B. 1970. — V. 1, № 12. — P. 4555−4568.
  40. , P. M. К расчету поверхностной энергии металлов в модели дискретного положительного заряда / Р. М. Кобелева, Б. Р. Гельчинский, В. Ф. Ухов // ФММ. 1978. — Т. 45, № 1.-С. 25−32.
  41. Monnier, R. Surface energy of simple metals: Self consistent inclusion of ion potential / R. Monnier, J. R. Perdew // Phys. Rev. Lett. 1976. — V. 37, № 19. -P. 1286−1289.
  42. Kiejna, A. Surface properties of simple metals in a structureless pseudopotential model / A. Kiejna // Phys. Rev. B. 1993. — V. 47, № 12. — P. 7361−7364.
  43. Kiejna, A. A note on face dependent surface properties of simple metals / A. Kiejna // J. Phys. D. Solid State Phys. — 1982. — V. 15. — P. 4717−4725.
  44. , P. M. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода электрона простых металлов в модели Ланга / Р. М. Дигилов, Ю. А. Орквасов, X. Б. Хоконов // В кн. Поверхностные явления на границах конденсированных фаз / Нальчик: КБГУ, 1983. С. 3−22.
  45. , Р. М. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода щелочных металлов / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев, X. Б. Хоконов // Поверхность. Физика, Химия, Механика. 1987. — Вып. 6. — С. 13−18.
  46. , М. Достижения электронной теории металлов. Т.1, 2 / М. Таут, И. Мертиг, П. Реннерт и др.- Под редакцией П. Цише, Г. Леманна. — М.: Мир, 1984.-346 с.
  47. , В. Теория псевдопотенциалов / В. Хейне, М. Коэн, Д. Уэйр. М.: Мир, 1973.-224 с.
  48. , Р. М. Анизотропия поверхностной энергии и работы выхода в присутствии адсорбата / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев, X. Б. Хоконов // Поверхность. 1987. -№ 12. — С. 138−139.
  49. Fall, С. J. Anomaly in the anisotropy of the aluminium work function / C. J. Fall, N. Bingelli, A. Baldereschi // Phys. Rev. B. 1983. — V. 28, №. 12.1. P. 7544−7547.
  50. Kiejna, A. On adhesive energies at bimetallic interfaces / A. Kiejna, J. Zieba // Surf. Sci. Lett. 1985. — № 59. — P. 411−415.
  51. , X. И. Работа выхода электрона в физико-химических исследованиях расплавов и твердых фаз на металлической основе / X. И. Ибрагимов, В. А. Корольков. М.: Металлургия, 1995. — 75 с.
  52. Williams, F. L. Binary alloy surface composition from bulk alloy thermodynamic date / F. L. Williams, D. Nason // Surf. Sci. 1974. — V. 5, № 2.-P. 377−381.
  53. Матысина, 3. А. Ориентационная зависимость поверхностной энергии свободных граней идеальных ГПУ кристаллов / 3. А. Матысина, И. Б. Лимина // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 1999. — № 11. — С. 88−90.
  54. Матысина, 3. А. Поверхностная энергия свободных граней типа (hkl) ГПУ кристаллов / 3. А. Матысина // Поверхность. — 1995. — № 4. — С. 13.
  55. , А. Ф. Анизотропия работы выхода электрона и ретикулярное уплотнение «рыхлых» граней металлических кристаллов / А. Ф. Владимиров // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1999. — № 9. — С. 66−68.
  56. Liu, X. Y. Anisotropic surface segregation in Al-Mg alloys / X.Y.Liu, P. P. Ohotnicky, J. B. Adams, C. L. Rohrer, R. W. Hyland // Surf. Sci. 1997. -V. 373, № 2−3. — P. 357−370.
  57. Crampin, S. Segregation and the work function of a random alloy: Pd — Ag (111) / S. Crampin // J. Phys.: Condens. Mater. 1993. — V. 5, № 36. — P. 14 431 447.
  58. , А. Ю. Автосегрегация на поверхности неупорядоченных сплавов / А. Ю. Лозовой, П. А. Коржавый, А. В. Пономарева, Ю. X. Векилов // Материаловедение. 1997. -№ 1. — С. 43−50.
  59. Smirnova, Е. A. Surface segregation in AlZn Random Alloys / E. A. Smirnova, P. A. Korhavyi, Yu. Kh. Vekilov // Phys. Low-Dim. Struct.- 1999.- V. 5, № 6.-P. 113−116.
  60. , P. M. Поверхностная энергия и работа выхода щелочных металлов с учетом сегрегации / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев // В кн. Адгезия и контактное взаимодействие расплавов / Киев: Наукова думка, 1988. -С. 87−95.
  61. Bogdanov, Н. Electronic surface properties of alkali metal alloys / H. Bogdanov, K. F. Wojciechovski // J. Phys. D.: Appl. Phys. — 1996. — V. 29. -P. 1310−1315.
  62. , К. А. Термодинамические свойства металлов и сплавов в методе модельного функционала электронной плотности / К. А. Бынков, П. П. Каминский, К. М. Кузнецов, В. Ф. Перевалова, Ю. А. Кон // В кн.
  63. Фазовые равновесия, структура и свойства сплавов / Киев: Наукова Думка, 1990.-С. 147−159.
  64. , А. И. К ориентационной зависимости эффекта поверхностной сегрегации в бинарных сплавах / А. И. Гранкина, В. И. Рыжков, М. А. Васильев // Поверхность. 1988. — № 6. — С. 105−109.
  65. , В. 3. Влияние электрического поля на анизотропию поверхностной энергии сплавов щелочных металлов / В. 3. Канчукоев,
  66. A. 3. Кашежев, А. X. Мамбетов, В. А. Созаев // Письма в ЖТФ. 2001. -Т. 27, № 20.-С. 89−91.
  67. , В. А. Межфазная энергия и энергетический барьер на границе металлическая наноструктура — диэлектрик / В. А. Созаев, Р. А. Чернышева, Д. В. Яганов // Известие вузов. Материалы электронной техники. 2003. — № 4. — С. 61−64.
  68. , К. П. Влияние диэлектрических покрытий на концентрационные зависимости межфазной энергии и работы выхода электрона тонких пленок сплавов щелочных металлов / К. П. Лошицкая,
  69. B. А. Созаев, Р. А. Чернышева // Поверхность. 2005. — № 9. — С. 104−108.
  70. , В. 3. Влияние электрического поля на поверхностную энергию и работу выхода электрона тонких пленок сплавов щелочных металлов /
  71. B. 3. Канчукоев, А. 3. Кашежев, А. X. Мамбетов, В. А. Созаев // Письма в ЖТФ. — 2001. —Т. 28, № 12.-С. 57−61.
  72. , В. С. Эмиссионные свойства материалов / В. С. Фоменко. -Справочник, Киев: Наукова Думка, 1981. 362 с.
  73. , Дж. Физика твердого состояния / Дж. Блейкмор. М.: Металлургия, 1972. — 488 с.
  74. , А. 3. Концентрационная зависимость работы выхода электрона сплавов алюминий-литий / А. 3. Кашежев, К. П. Лошицкая, В. А. Созаев // Вестник КБГУ, Сер. Физические науки, Нальчик: КБГУ. 2007. — № 11.—1. C. 8−9.
  75. , М. Е. Сплавы щелочных и щелочноземельных металлов / М. Е. Дриц, JI. JI. Зусман. Справочник. М.: Металлургия, 1986. — 248 с.
  76. , Г. Г. Эмиссионные свойства алюминий — литиевого сплава / Г. Г. Бондаренко, А. В. Шишков // Поверхность. 1995. — № 5. — С. 35−38.
  77. Kellock, A. J. Thin film adhesion improvement under photon irradiation /
  78. A. J. Kellock, G. L. Nyberg, J. S. Williams // J. Vac. 1985. — V. 35, № 12. -P. 625−628.
  79. Katsuhiro, Y. Hologen and mercury lamp annealing of arsenic implanted into silicon / Yokota Katsuhiro, Nuta Kenji et. al. // Jap. J. Appl. Phys. 1987. -Pt. 2.26, № 2. — P. 87−89.
  80. , Ю. К. Лазерные микротехнологии и их применения в электронике / Ю. К. Альтудов, Ф. Г. Горицин. М: Радио и связь, 2001. -С. 370−374.
  81. , Е. В. Температурная зависимость сопротивления омических контактов металл-п-арсенид галлия / Е. В. Бузанева, Г. Д. Попова,
  82. B. И. Стриха // Электронная техника. Сер. Полупроводниковые приборы. -1976. Вып. 6. — С. 77−82.
  83. , В. И. Физические основы надежности металл-полупроводник в интегральной электронике / В. И. Стриха, Е. В. Бузанева. М.: Радио и связь, 1987.-254с.
  84. , А. В. Модификации морфологии поверхности кремниевых слоев под действием импульсного лазерного излучения наносекундной длительности / А. В. Демчук, Н. И. Данилович, В. А. Лабу нов // Поверхность, химия, механика. 1988. — № 8. — С. 84−88.
  85. Micheli, F. Laser microfabrication of thin films: Part two / F. Micheli, I. W. Boyd// Optics and laser technology. 1987. — V.19(l). — P. 19−25.
  86. , В. П. Влияние лазерного отжига на электрические характеристики МДП структур на основе GaAs / В. П. Воронков,
  87. B. М. Калыгина, С. Ю. Муленков и др. // ФТП. 1992.- Т. 26, Вып. 6.1. C. 1120−1123.
  88. Pizzuto, С. Activation of electrical carriers in Zn implanted InP by lowpower pulsed-laser annealing / C. Pizzuto, Q. Zollo, G. Vitali // J. Appl. Phys. -1997. V. 82(11). — 1 D. — P. 5334−5338.
  89. Kramer, K. J. Crystallinity, strein, and thermal stability of heteroepitaxial
  90. SixxGex / Si (100) layers created using pulsed inductd epitaxy / K. J. Kramer, S. Talwar, T. W. Sigmun, K. Weiner // Appl. Phys. Lett.- 1992: — V. 61.-P. 769−771.
  91. Lombardo, S. Demonstration of laser-assisted epitaxial deposition of GexSixx, alloys on single-crystal Si / S. Lombardo, M. O. Thompson // Appl. Phys. Lett. 1991. — V. 58. — P. 1768−1770.
  92. , Э. В. Структурные и композитные перестройки в
  93. ОС — Ge — Si02 — Si (111) при импульсном лазерном облучении / Э. В. Монахов, О. И. Лебедев, Ф. Г. Васильев и др. // Микроэлектроника. -1997.-Т. 26, № 1.-С. 64−70.
  94. , В. К. Влияние некоегерентного светового излучения на сопротивление контакта металл кремний / В. К. Кумыков, X. М. Гукетлов, X. Т. Шидов, Р. 3. Ошроева // Изв. Вузов. Материалы электронной техники. — 2003. — № 2, С. 30−31.
  95. , В. К. Установка для высокотемпературного нагрева в вакууме тугоплавких металлов и сплавов / В. К. Кумыков, X. М. Гукетлов // Заводская Лаборатория. Диагностика материалов. — 2004. № 6. — С. 3536.
  96. , Д. М. Поверхностная энергия твердых металлических фаз / Д. М. Скоров, А. И. Дашковский, В. Н. Маскалец, В. К. Хижный. М.: Атомиздат, 1973. — 172с.
  97. , X. Б. Методы измерений поверхностной энергии и натяжения металлов и сплавов в твердом состоянии / X. Б. Хоконов // В кн. Поверхностные явления в сплавах и возникающих из них твердых фазах / Кишинев: Штиинца, 1974. С. 190−261.
  98. , V. К. On the measurement of the surface free energy and surface tension of solid metals / V. K. Kumykov, Kh. B. Khokonov // J. Appl. Phys. -1983.-V. 54(3).-P. 1346−1350.
  99. , В. К. Поверхностное натяжение некоторых редкоземельных металлов в твердом состоянии / В. К. Кумыков, X. М. Гукетлов // ФММ. -1983. Т. 56, Вып. 2. — С. 408−409.
  100. , В. К. Поверхностное натяжение цветных металлов на границе раздела твердая фаза собственный пар / В. К. Кумыков, М. В. Гедгагова,
  101. A. Р. Манукянц // Известия высших учебных заведений, Цветная металлургия. 2006. — № 4. — С. 447.
  102. , В. К. Измерение поверхностного натяжения материалов электронной техники / В. К. Кумыков, X. М. Гукетлов, М. В. Гедгагова // Известия РАН. Серия физическая. 2006. — Т. 70, № 4. — С. 593−596.
  103. , М. В. Высокотемпературные измерения поверхностного натяжения металлов в вакууме / М. В. Гедгагова, X. М. Гукетлов,
  104. B. К. Кумыков, А. Р. Манукянц, И. В. Сергеев, В. А. Созаев // Известия РАН, Сер. Физическая. 2007. — Т. 71, № 5. — С.631−633.
  105. , С. И. Поверхностные явления в расплавах / С. И. Попель. — Свердловск: Металлургия, 1994. 432 с.
  106. , X. Т. Температурная зависимость контактного сопротивления на границе Si-Al и Si-Cr. / X. Т. Шидов, К. А. Гетажеев, А. К. Шухостанов / Физика и технология поверхности. Сборник научных трудов. Нальчик, КБГУ, 1990.
  107. , В. Е. Наноэлектроника: учеб. пособие для студентов специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения в 3-х частях Часть 2 Нанотехнология / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева. Мн: БГУИР, 2003.-76 с.
  108. , F. А1{111} revisited / F. Jona, D. Sondericker, P.M.Marcus // J. Phys
  109. C. 1980. — V. 13, № 8. — P. L155 — L158.
  110. Bianconi, A. Al Surface Relaxation Using Surface Extended X-Ray-Absorption Fine Structure / A. Bianconi, R. Z. Backrach // Phys. Rev. Lett.- 1979.-V. 42.-P. 104−108.
  111. Noonan, J. R. Truncation-induced multilayer relaxation of the Al (l 10) surface / J. R. Noonan, H. L. Davis // Phys Rev. B. 1984. — V. 29, № 8. — P. 4349−4355.
  112. , А. И. Расчеты решеточной релаксации металлических поверхностей с учетом влияния градиентных поправок на неоднородностьэлектронной системы / А. И. Вакилов, В. В. Прудников, М. В. Прудникова // ФММ. 1993. — Т. 76. — С. 3848.
  113. ЮЗ.Берч, А. В. Поверхностная энергия и многослойная релаксация поверхности ГЦК—переходных металлов / А. В. Берн, А. Г. Липницкий, Е. В. Чулков // Поверхность: физика, химия, механика.- 1994.- № 6.-С. 23−31.
  114. Sahni, V. Variational calculations of low-index crystal face-dependent surface energies and work-functions of simple metals / y. Sahni, J. B. Perdew, J. Guenebaum // Phys Rev. B. 1981. — V. 23, № 12. — P. 6512−6523.
  115. Sholl, C. A. The calculations of electrostatic energies of metals by plane wise summation Proc / C. A. Sholl // Phys. Soc. 1967. — V. 92. — P. 434−449.
  116. , К. Введение в физику поверхности / К. Оура, В. Г. Лифшиц, А. А. Саранин, А. В. Зотов, М. Катаяма. М.: Наука, 2006. — 491 с.
  117. Andersen, J. N. Oscillatory relaxation of the Al (110) surface / J. N. Andersen, H. B. Nielsen, L. Petersen, D. L. Adams // J. Phys. C. 1984. — V. 17. — P. 173 192.
  118. Jona, F. LEED Crystallography / F. Jona // J. Phys C. Solid State Phys.-1978. V. 11. -P. 4271−4306.
  119. Smith, J. R. Self consistent theory of electron work functions and surface potential characteristics for selected metals / J. R. Smith // Phys. Rev. B. -1969.-V. 181,№ 2.-P. 522−529.
  120. , M. Б. Проникновение электрического поля в металл и его влияние на величину поверхностного барьера / М. Б. Партенский, Я. Г. Смородинский // ФТТ. 1974. — Т. 16, № 3. — С. 644−647.
  121. , М. Б. Некоторые вопросы электронной теории металлической поверхности / М. Б. Партенский // Поверхность.- 1982.— Вып. 10.-С. 15−32.
  122. McMullen, Е. R. Effects of an intense electric field on metal surface geometry / E. R. McMullen, J. P. Perdew, J.H.Rose // Solid State Commun. 1982.-V. 44, № 6. -P. 941−945.
  123. Kiejna, A. The effect of strong electric field on lattice relaxation of metal surface / A. Kiejna // Solid State Commun. 1984. — V. 50, № 4. — P. 349−352.
  124. , P. M. Влияние внешнего электростатического поля на поверхностную сегрегацию в сплавах щелочных металлов / Р. М. Дигилов, В. А. Созаев // Поверхность. 1990. — № 10. — С. 138−139.
  125. Lang, N. D. Self-consistent properties of the electron distribution at a metal surface / N. D. Lang // Solid State Commun. 1969. — V. 7, № 15. — P. 10 471 053.
  126. Lang, N. D. The density-functional formalism and the electronic structure of metal surfaces / N. D. Lang // Solid State Phys. 1973. — V. 28, № 4. — P. 225 300.
  127. Lang, N. D. Theory of metal surface: charge density and surface energy / N. D. Lang, W. Kohn // Phys. Rev. B. 1970. — V. 1, № 12. — P. 4555−4568.
  128. Badiali, J.P. Effect of solvent on properties of liquid metal surface / J. P. Badiali, M.L.Rosenberg, J. Goodisman // J. Electr. Chem. 1981. — V. 130.-P. 31−45.
  129. , В. К. Поверхностная энергия и поверхностная релаксация щелочных металлов во внешнем электрическом поле / В. К. Кумыков, А. Р. Манукянц, В. А. Созаев // Вестник КБГУ, Серия Физические науки. -2009.-Вып. 12.-С. 3−6.
  130. , А. И. Фазовые равновесия и поверхностные явления / А. И. Русанов. Ленинград: Химия, 1967. — С. 99−106.
  131. , А. И. / А. И. Русанов, Н. Н. Кочурова, В. Н. Хабаров, ДАН СССР. 1972. — Т. 202. — Вып. 2. — С. 380−383.
  132. Попел ь, С. И. / С. И. Попель, В. В. Павлов, В. Н. Кожурков // в сб.: Поверхностные явления в расплавах / Киев: Наукова Думка, 1968. С. 86 105.
  133. , И. // Техническая мысль. 1976. -№ 12, Вып. 2. — С. 101−108.
  134. , В. Н. / В. Н. Хабаров, Н. Н. Кожуркова, А. И. Русанов // Вестник Ленинградского Университета. 1974. — № 4. — С. 127−132.
  135. , Б. X. Влияние газовой среды на поверхностное натяжение жидких металлов / Б. X. Унежев, С. Н. Задумкин, А. А. Карашаев / В кн.: Электрохимия и расплавы. М.: Наука. — 1974. — С. 111−118.
  136. , М. М. Физика межфазных явлений / М. М. Махова, Б. X. Унежев, X. Б. Хоконов, А. X. Эфендиев. Нальчик: КБГУ, 1981. — С. 41−44.
  137. Simon, G. Gesamteenegie destorter kristalle / G. Simon, U. Hubner // Acta Phys. Austriaca. 1972. — V.35. — P. 51−63.
  138. , A. 3. Влияние давления на поверхностную энергию металлов /
  139. A. 3. Кашежев, В. К. Кумыков, А. Р. Манукянц, И. Н. Сергеев, В. А. Созаев / Материалы 1 Международного симпозиума «Физика низкоразмерных систем и поверхностей» (LDS 2008), п. Лоо. — 2008. — С. 289−292.
  140. , А. 3. Зависимость поверхностной энергии металлов от давления / А. 3. Кашежев, В. К. Кумыков, А. Р. Манукянц, И. Н. Сергеев,
  141. B. А. Созаев // Известия РАН, Сер. Физическая. 2009. — Т. 73, № 8.1. C. 1243−1245.
  142. , С. Н. Общие условия равновесия межфазных границ и уравнения капиллярности / С. Н. Задумкин, X. Б. Хоконов / Методы исследования и свойства границ раздела контактирующих фаз. Киев: Наукова Думка, 1977. С. 163 — 175.
  143. , V. М. Molecular Dynamical Simulation of Structure Formation After Nanodroplet Spreading Over Heterogeneous Surfaces / V. M. Samsonov,
  144. V. V. Dronnikov, A. A. Volnukhina, S. D. Muravyev // Surf. Sci.- 2003.-V. 532−535.-P. 560−566.
  145. , M. X. Ультрадисперсное структурное состояние металлических сплавов и соединений и его влияние на фазовые превращения и свойства / М. X. Шоршоров. М.: Изд-во ИМЕТ, 1997.200 с.
  146. , М. X. // Материаловедение. 2000. — № 5. — С. 6−12.
  147. , А. И. Полное условие механического равновесия на искривленной несферической поверхности / А. И. Русанов, А. К. Щекин // Коллоидный журнал. 2002. — Т. 64, № 2. — С. 209−212.
  148. , А. Н. Применение термодинамической теории возмущений к расчету поверхностного и межфазного натяжений нанометровых микрокапель / А. Н. Базулев, В. М. Самсонов, Н. Ю. Сдобняков // ЖФХ. -2002. Т. 76, № 11. — С. 2073−2077.
  149. , В. М. Условия применимости термодинамического описания высокодисперсных и микрогетерогенных систем / В. М. Самсонов // ЖФХ. 2002. — Т. 76, № 11. — С. 2063−2067.
  150. , В. А, О связи поверхностного натяжения и поверхностной энергии в наночастицах металлических сплавов / В. А. Созаев // Поверхность. -2005.-№ 11.-С. 118−119.
  151. , R. // Proc. Rhys. Soc. Ser. A. 1950. -V. 63, № 4. — P. 444.
  152. , M. Я. Поверхностные явления в расплавах алмазоподобных фаз / М. Я. Дашевский // В сб.: Поверхностные явления в полупроводниках. Научные труды, МИСиС / М.: Металлургия, 1976. — № 89. С. 10−15.
  153. , И. М. Электронная теория металлов / И. М. Лифшиц, М. Я. Азбель, М. И. Каганов. М.: Наука, 1971. — 415 с.
  154. Guyot, P. Contribution a la theorie de la resistivite electrique des joints de grains metalliques / P. Guyot // Phys. Stat. Sol. B. 1970. — V. 38. — P. 409114.
  155. , A. 3. О связи поверхностной энергии и работы выхода электрона с остаточным сопротивлением металлов / А. 3. Кашежев,
  156. A. Р. Манукянц, В. А. Созаев // Сборник научных трудов, Владикавказ: СКГМИ. — 2006. № 4. — С. 18−20.
  157. , В. И. Поверхностное натяжение жидких металлов и сплавов /
  158. B. И. Ниженко, Л. И. Флока. -М.: Металлургия, 1981. 209 с.
  159. , Б. Б. Исследование работы выхода электрона бинарных систем In-Pb, In-Sn, Sn-Pb / Б. Б. Алчагиров, X. X. Калажоков, X. Б. Хоконов // Поверхность. Физика. Химия. Механика.— 1982.— Вып. 7. С. 49−55.
  160. , Б. Н. Влияние примесей на остаточное электросопротивление свинца / Б. Н. Александров, В. В. Дукин.// ФММ. -1974. Т. 38, Вып. 6. — С. 1191−1200.
  161. , Б. Н. Остаточное сопротивление как критерий чистоты металлов / Б. Н. Александров // Физика конденсированного состояния, Харьков. 1970. — Вып. 6. — С. 52−101.
  162. , А. В. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов. М.: Наука, 1982.-208 с.
  163. , И. Лазерный отжиг ионно — имплантированных слоев в тонких металлизированных кремниевых структурах / И. Королькова, Г. А. Крысов, Ю. П. Синьков // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ.- 1986.-Вып. 7 (391).-С. 65−71.
  164. Kemerink, G. J. Indium vacancy interaction in laser annealed solution / G. J. Kemerink, F. Pleiter // Hyperfine Interact.- 1987.- V. 35.- №H.-P. 711−712.
  165. Armigliato, A. Electron microscopy of As supersaturated silicon / A. Armigliato, D. Nobili, S. Solmi, A. Bourret, P. Werner // J. Electron. Chem. Soc. 1986. — V. 133, № 13. — P. 2560−2565.
  166. Верещагина, 3. Д. Импульсное вжигание металлических пленок в кремнии / 3. Д. Верещагина, Г. А. Крысов, Е. А. Цехмейстер, А. С. Сергеичев // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. 1983.- Вып. 10 (358). -С. 57−59.
  167. Некоторые часто встречающиеся сокращения
  168. ПЭ — поверхностная энергия.
  169. РВЭ работа выхода электрона.
  170. МФЭП метод функционала электронной плотности.
  171. ПН — поверхностное натяжение.
  172. Ячейка ВЗ — ячейка Вигнера-Зейтца.
  173. МКП — микроканальная пластина.
  174. ПР поверхностная релаксация.
Заполнить форму текущей работой

На отлично!