Диплом, курсовая, контрольная работа
Помощь в написании студенческих работ

Разработка и исследования пленочных термоэлектрических преобразователей для измерения параметров лазерного излучения

Диссертация: Разработка и исследования пленочных термоэлектрических преобразователей для измерения параметров лазерного излучения
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

В связи с многообразием применения лазеров (оптических квантовых генераторов) в различных областях науки и техники и расширяющейся перспективой их использования выдвигается актуальная задача — разработка эффективных средств контроля параметров излучения и управления режимом их работы. Возникает необходимость на более высоком уровне контролировать у лазеров основные параметрымощность, энергию и т… Читать ещё >

Содержание

  • 1. ТЕРМОЭЛЕКТРОДНЫЕ МЕДНО-НИКЕЛЕВЫЕ СПЛАВЫ -ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПЛЕНОЧНЫХ НАКЛОННОКОНДЕНСИРОВАННЫХ ПРИЕМНИКОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ (литературный обзор)
  • 1. Л. Модели термоэлектрических преобразователей
    • 1. 2. Измерения лазерного излучения и термоэлементы на поперечном термоэлектрическом эффекте
    • 1. 3. Материалы для резисторов, нагревательных элементов и термопар
    • 1. 4. Особенности испарения двухкомпонентных сплавов
  • Выводы по главе 1
  • 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИСПАРЕНИЯ, МИКРОСТРУКТУРЫ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК МЕДНО-НИКЕЛЕВЫХ СПЛАВОВ (теоретическая часть)
    • 2. 1. Основные параметры, характеристики и критерии выбора материалов пленочных анизотропных термопреобразователей
    • 2. 2. Условия экспериментов, исследований и измерений
    • 2. 3. Исследование особенностей испарения медно-никелевого термоэлектродного сплава
    • 2. 4. Влияние условий конденсации и отжига на микроструктуру и электрические свойства пленок
  • Выводы по главе 2
  • 3. ИССЛЕДОВАНИЕ УСЛОВИЙ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК экспериментальная часть)
  • ЗЛ. Методика получения образцов пленок, исследований и измерений
    • 3. 2. Влияние условий конденсации на микроструктуру и свойства осаждаемых пленок
    • 3. 3. Влияние условий отжига на анизотропию свойств и поперечную термоэдс наклонноконденсированных пленок
  • Выводы по главе 3
  • 4. РАЗРАБОТКА И ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ АНИЗОТРОПНЫХ ПРИЕМНИКОВ ИЗЛУЧЕНИЯ разработка и испытания опытных образцов)
    • 4. 1. Топология и конструкция пленочных анизотропных термоэлектрических преобразователей различного назначения
    • 4. 2. Метод изготовления и технологическая оснастка
    • 4. 3. Параметры, характеристики и примеры использования
  • Выводы по главе 4
  • ВЫВОДЫ
  • СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

Разработка и исследования пленочных термоэлектрических преобразователей для измерения параметров лазерного излучения (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность темы

В связи с многообразием применения лазеров (оптических квантовых генераторов) в различных областях науки и техники и расширяющейся перспективой их использования выдвигается актуальная задача — разработка эффективных средств контроля параметров излучения и управления режимом их работы. Возникает необходимость на более высоком уровне контролировать у лазеров основные параметрымощность, энергию и т. д. Особенно важным и проблематичным является создание чувствительных приёмно-преобразующих элементовпреобразователей для измерения мощности и энергии непрерывного и импульсного высокочастотного лазерного излучения превосходящих по быстродействию фотоэлектрические преобразователи, а по диапазону спектральной чувствительности термоэлектрические (термопарные) преобразователи. В этом направлении накоплен большой и разнообразный опыт физических экспериментов и технического конструирования, однако, только на уровне поискового характера и без обобщённого материаловедческого и технологического подхода, приводящего к достаточно рациональному практическому решению проблем.

Для измерения параметров лазерного излучения, несомненно, перспективны наклонноконденсированные плёнки на электроизолирующих и теплопроводящих подложках. Они работают в широком спектральном диапазоне, обладают высоким быстродействием, выдерживают потоки излучения большой плотности, несложны и удобны в эксплуатации. Принцип действия наклонноконденсированных плёнок заключается в возникновении термоэдс в плёнке в направлении параллельном подложке под действием падающего на её поверхность излучения. Условием появления этого эффекта в плёнках является наличие в них анизотропии термоэлектрических свойств. Анизотропный (поперечный) термоэлектрический эффект определяется главным образом наклонной микроструктурой, относительным контактным электрическим сопротивлением и тепловым сопротивлением на границах кристаллитов. Возможность получения искусственно анизотропных плёнок открывает перспективы создания преобразователей на основе разнообразных материалов — полупроводников (теллур), полуметаллов (висмут) и металлов (хром, никель и тантал), что во многом обеспечивает достижение требуемой совокупности параметров.

Наиболее успешной и технически целесообразной представляется разработка преобразователей на основе медно-никелевых термоэлектродных сплавов МНМц 43−0,5 (копель) и МНМц 40−1,5 (константан). Эти сплавы выделяются среди других сплавов высоким абсолютным значением термоэдс и малой теплопроводностью, величина отношения которых является одним из критериев эффективности материала для изготовления преобразователей. Копель и константан имеют сравнительно высокую температуру плавления, жароустойчивы и коррозионноустойчивы. Данные качества позволяют плёнкам этих сплавов выдерживать излучение высокой интенсивности. Положительной особенностью этих сплавов является малая величина температурного коэффициента электрического сопротивления, что имеет большое значение при согласовании преобразователей с измерительной аппаратурой. Производство медно-никелевых сплавов освоено отечественной промышленностью, они имеют низкую стоимость и недефицитны.

Диссертационная работа выполнена в рамках Федеральных целевых научно-технических программ: «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники» на 2002;2006 годы (по лоту 1 — «Проведение научных исследований молодыми учеными». «Индустрия наносистем и материалы») на тему «Материаловедческо-технологическая разработка плёночных термоэлектрических приёмно-преобразующих элементов для измерителей температуры, в том числе температуры поверхности" — «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009;2013 годы (по лоту 13 — «Проведение научных исследований коллективами научно-образовательных центров в области лазерных, плазменных и пучковых технологий для атомной техники») по теме «Исследование процесса взаимодействия мощных электронных пучков с металлическими материалами, разработка оборудования и технологических основ электронно-лучевой сварки деталей большой толщины».

Цель и задачи работы. Целью данной работы является исследование условий получения методом конденсации в вакууме изотропных (по структуре) плёнок медно-никелевых сплавов копель и константан на электроизолирующих и теплопроводных подложках и разработка на их основе эффективных плёночных анизотропных (по текстуре из-за наклонной конденсации) термоэлектрических преобразователей лазерного излучения.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

— установление возможности получения чувствительных к излучению плёнок сплавов копель и константан методом термического испарения и конденсации в вакууме на подложки, наклонно установленные относительно потока паров испаряемого материала;

— исследование особенностей испарения медно-никелевых сплавов копель и константан, и выбор оптимального метода испарения для получения плёнок аналогичного состава;

— выявление особенностей микроструктуры наклонноконденсирован-ных плёнок изучаемых сплавов методами оптической и электронной микроскопии, а также рентгеновской дифрактометрии;

— исследование зависимости характера микроструктуры и анизотропии термоэлектрических свойств плёнок копеля и константана от условий конденсацииисследования влияния последующей термообработки на анизотропию электрических свойств и величину поперечной термоэдс в наклонноконденсированных плёнках копеля и константана;

— разработка преобразователей различной конструкции (в зависимости от целевого назначения), изготовление опытных образцов, проведение испытаний, внедрение разработанного метода в опытно-промышленное производство.

Научная новизна. В ходе выполнения работы получены следующие результаты, обладающие научной новизной:

— предложены комплексные критерии эффективности материалов для изготовления преобразователей на основе наклонноконденсированных пленок, отличающиеся тем, что в них, к традиционно учитываемым свойствам таким, как коэффициент термоэдс — а0, удельное электрическое сопротивление — р0, удельная теплопроводность — к0, добавлено ещё одно важное свойство — удельная теплоёмкость ©. Это позволяет при различном функциональном назначении однозначно определять эффективность материала плёнок;

— используя предложенные в работе комплексные критерии эффективности материалов для изготовления преобразователей, обоснована возможность получения чувствительных к излучению анизотропных плёнок на основе медно-никелевых сплавов копель и константан методом наклонной конденсации в вакууме. Эти материалы обладают самыми высокими критериями эффективности в ряду типичных металлов и сплавов, они температурои коррозионно-устойчивы и имеют малый температурный коэффициент электрического сопротивления. При выборе материалов учитывалась склонность к образованию пластинчатой или волокнистой микроструктуры при наклонной конденсации в вакууме, технологичность и эксплуатационные свойства.

— предложено модельное представление, описываемое дифференциальным уравнением в частных производных, подобным уравнению конвективной диффузии, решение которого методом неявной разностной схемы и использования итерационного метода позволило получить расчётные зависимости состава паров и концентрации легколетучего компонента на поверхности расплава от времени испарения для конкретных сплавов. Это дало возможность оценить целесообразность применения метода термического испарения при отсутствии перемешивания расплава для конкретных сплавов с целью получения плёнок без изменения состава;

— экспериментально определены зависимости характера микроструктуры, анизотропии термоэлектрических свойств и поперечной термоэдс в наклонноконденсированных пленках копеля от условий конденсации. Насыщение поперечной термоэдс наблюдается при температуре конденсации 295 К, скорости конденсации 0,6. 1 нм/с, толщине пленки 1 мкм. Оптимальный угол наклона текстуры относительно нормали подложки 88°.

Практическая значимость. Определены оптимальные условия получения плёнок медно-никелевых сплавов копель и константан с искусственно наведённой анизотропией термоэлектрических свойств методом наклонной конденсации в вакууме.

Разработаны и изготовлены образцы пленочных термоэлектрических преобразователей круглого, квадратного, матричного и полоскового типа для измерения пространственно-энергетических характеристик лазерного излучения.

Изготовлены быстродействующие преобразователи, обладающие временем разрешения 3. 5 не.

На защиту выносятся следующие положения:

— при определении перспективности наклонноконденсированных плёнок медно-никелевых сплавов для преобразователей в зависимости от конкретных требований, предъявляемых к ним, определяющим фактором анизотропного термоэлектрического эффекта в плёнках является наличие наклонной микроструктуры и относительного контактного электрического и теплового сопротивления между кристаллитами;

— температура конденсации 295 К, скорость конденсации 0,6. 1 нм/с (при испарении навески с прямонакального испарителя), при толщине пленки 1мкм. и оптимальном угле наклона текстуры относительно нормали подложки 88°-это оптимальные условия, позволяющие получать термочувствительные наклонноконденсированные плёнки копеля для преобразователей с высокими функциональными параметрами;

— отжиг наклонноконденсированных плёнок копеля при температуре отжига 453±5 К в течении 20.25 мин, приводит к увеличению чувствительности к излучению в 1,2. 1,5 раз, значительно уменьшается разброс электрического сопротивления и поперечной термоэдс. выявленные закономерности при формировании наклонноконденсированных пленок медно-никелевых сплавов обеспечивают высокую воспроизводимость метода получения и управляемое производство эффективных преобразователей типа МНМц 43−0,5 (копель).

Обоснованность и достоверность работы. Основные научные положения, выводы и рекомендации подтверждаются материаловедческими исследованиями и экспериментами, проверкой преобразователей на лабораторных и промышленных стендах, показавшими удовлетворительное согласование теоретических и экспериментальных результатов исследований.

Получены Акты о реализации разработок на предприятии: Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», ООО «Экоинформсистема» и ООО «ЛАНХИТ».

Общие выводы, которые можно сделать по четвертой главе, следующие: разработаны и изготовлены пленочные анизотропные термоэлектрические преобразователи различных топологий и конструкций для измерения параметров ИКизлучения;

— разработана техническая оснастка для изготовления пленочного анизотропного термоэлектрического преобразователя на основе копеля;

— проведено исследование и измерение ряда электрических и метрологических параметров пленочных анизотропных термоэлектрических преобразователей лазерного излучения на основе пленок копеля (табл. 4.2) — проведена серия испытаний пленочного анизотропного термоэлектрического преобразователя на основе копеля для измерения параметров лазерного излучения, плазменных потоков и исследования кинетики остывания расплава металлов. кристаллографического направления <111> вблизи нормали к поверхности плёнки. Плёнки копеля, осаждённые на брокеритовые подложки, установленные перпендикулярно потоку паров, имеют блочную структуру с явно выраженными порами (трещинами) по границам блоков-кристаллитов. При увеличении угла наклона подложки к горизонтали размеры кристаллитов несколько уменьшаются.

5. Изучена зависимость термоэлектрических свойств плёнок копеля и константана от условий конденсации. Для получения плёнок, с, максимальной чувствительностью предпочтительной является температура конденсации ~295 К. Относительное контактное электрическое и тепловое сопротивление границ кристаллитов уменьшается с ростом температуры конденсации. Величина отношения значений параметров вдоль и поперёк проекции направления молекулярного пучка на поверхность подложки остается практически постоянной (~2) до температуры конденсации -373 К, а затем начинает уменьшатся.

6. Исследовано влияние термообработки на анизотропию электрических свойств и величину поперечной термоэдс в наклонноконденсированных плёнках копеля и константана. Показано, что при отжиге наклонноконденсированных плёнок, копеля (температура отжига 453±5 К при времени 20. 25 мин), чувствительность к излучению повышается в 1,2. 1,5 раз и значительно уменьшается разброс электрического сопротивления и поперечной термоэдс.

7. Разработаны конструкции преобразователей различного назначения, приспособление на изготовление преобразователей на основе наклонноконденсированных плёнок копеля. Изготовлены образцы преобразователей круглого, квадратного, матричного и полоскового типа для измерения пространственно-энергетических характеристик лазерного излучения.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Основные достижения научных школ Юбилейный сборник к 100-летию Московской государственной академии тонкой химической технологии им М. В. Ломоносова. М.: ИПЦ при МИТХТ, 2000. — 360 с.
  2. Московский энергетический институт (технический университет). 1930−2005. 75 лет МЭИ. М.: Издательство МЭИ, 2005. — 456 с.
  3. Московский институт электронной техники, 1965−1995 / Под ред.
  4. Гиредмет 75 лет: Наука, конструирование, проектирование, ноу-хау, патенты Юбилейный сборник. — М.: Гиредмет, 2006. — 196 с.
  5. Проблемы новых материалов и технологий. Сборник статей / Под ред. В. Н. Вигдоровича. М.: НПО ЦНИИ «Волна», 1989 (Вып.1) — М.: Научно-производственное ассоциация, 1990 (Вып.2), 1991 (Вып.З) и 1992 (Вып.4).
  6. В.И. Наноэлектроника основа информационных систем XXI века // Соросовский образовательный журнал. 1997. № 5.1. C.100−104.
  7. P.A. Наноструктурные материалы состояние разработок и применение // Перспективные материалы. 2001. № 6. С.5−11.
  8. Нанотехнология в ближайшем десятилетии: Прогноз направления и исследований / Пер. с англ. Под ред. P.A. Андреевского. М.: Мир, 2002. -291 с.
  9. Ю.И. Введение в нанотехнологию. М.:
  10. Машиностроение-1, 2003. 112 с.
  11. И.А., Шейнерман А. Г. Наномеханика квантовых точек и проволок. С.-Пб.: Янус, 2004- 165 с.
  12. Нанотехнология / Пер. с англ. под ред. A.B. Назаренко. М.: Изд. дом «Вильяме», 2004. — 234 с.
  13. В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2005. — 152 с. (Мир материалов и технологий).
  14. Пул Ч., Оуэне Ф. Нанотехнологии / Пер. с англ. под ред. Ю. И. Головина М.: Техносфера, 2005. — 336 с. (Мир материалов и технологий).
  15. P.A., Рагуля A.B. Наноструктурные материалы. -М.: Изд. центр «Академия», 2005. 192 с.
  16. Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля / Пер. с англ. под ред. C. J1. Баженова. М.: Техносфера, 2006. — 384 с. (Мир материалов и технологий).
  17. В.М. Наноструктурные пленки и нанопроволоки. Мн.: ИЦБГУ, 2006.-310 с.
  18. Наноматериалы. Нанотехнологии. Наносистемная техника. Мировые достижения за 2005 год / Под ред. П. П Мальцева. М.: Техносфера, 2006. — 152 с. (Мир материалов и технологий).
  19. Ф., Оикова Т. Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия. М.: Техносфера, 2006. — 256 с. (Мир материалов и технологий).
  20. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике / Отв. ред. A.JT. Асеев. 2-е изд. Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2007. — 368 с.
  21. A.A. Наноэлектроника / Под ред. Ю. В. Гуляева. М.: Физматкнига, 2007. — 464 с. (МФТИ, серия «Электроника»).
  22. Р.З., Александров И. В. Объемные наноструктурные металлические материалы. М.: Академкнига, 2007. — 398 с.
  23. JI.B., Косушкин В. Г., Крапухин В. В., Пархоменко Ю. Н. Технология материалов микро- и наноэлектроники. М.: МИСиС, 2007. -554 с. (Металлургия и материаловедение XXI века).
  24. H.H., Пархоменко Ю. Н. Кремний материал наноэлектроники. — М.: Техносфера, 2007. — 352 с. (Мир материалов и технологий).
  25. А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. -М.: Физматлит, 2007. 416 с.
  26. Е.А. Сила нанотехнологий: наука & бизнес. /Предисловие B. J1. Гинзбурга. М.: Фонд «Успехи физики» — ООО «Век 2», 2007. — 160 с. (Идеи и технологии будущего).
  27. Деформация и разрушение материалов и наноматериалов // Труды второй международной конференции (DFMN-2007) (12−15 ноября 2007 года, Москва). М.: ИМиМ им. A.A. Байкова РАН, 2007. — 736 с.
  28. Г. Д., Курочка С. П., Кушхов А. Р., Демченкова Д.Н.,
  29. A.C. Процессы микро- и нанотехнологий: Ионно-плазменная обработка. М.: Из-во «Учеба», МИСиС, 2007. — 148 с.
  30. Г. Д., Кушхов А. Р. Элионная технология в микро- и наноиндустрия. М.: Изд-во «Учеба», МИСиС, 2008. — 156 с.
  31. Г. Д., Деченкова Д. Н., Симакин С. Б. Микро- и нанотехнология гетерокомпозиций. М.: Изд-во «Учеба», МИСиС, 2008. -190 с.
  32. Прикладная синергетика в нанотехнологиях // Труды Пятого международного междисциплинарного симпозиума (ФиПС-08) (17−20 ноября 2008 года, Москва). М.: МАТИ им. К. Э. Циолковского, 2008. -528 с.
  33. A.A., Карамурзов Б. С., Созаев В. А. Фазовые переходы в наноматериалах. Нальчик: Кабард.-Балк. ун-т, 2008. — 205 с.
  34. Д.А. Мир микро- и нанотехнологии / Пер. с англ. Под ред. С. П. Тимошенкова, Б. М. Симонова и A.B. Заводян. В 2-х ч. Калуга: Экспромт. 4.1. 2009. — 71 с. 4.2. 2008. — 78 с.
  35. Деформация и разрушение материалов и наноматериалов // Труды третьей международной конференции (DFMN-2009) (12−15 ноября 2009 года, Москва). Под ред. O.A. Банных. В 2-х тт. М.: ИМиМ им. A.A. Байкова РАН, 2009. Т.1. — 527 е., Т.2. — 407 с.
  36. В.В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д. Технология материалов электронной техники. Теория процессов полупроводниковой технологии. Изд. 2-е, перераб. и доп. М.: МИСиС, 1995. — 493 с.
  37. С.С., Дашевский М. Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков: Учебник для вузов. М.: Изд-во МИСиС, 2003.-480 с.
  38. А.Ф., Стильбанс JI.C., Иорданишвили Е. К., Ставицкая Т. С. Термоэлектрическое охлаждение. M.-JL: Изд-во АН СССР, 1956. — 108 с.
  39. А.Ф. Физика полупроводников. M.-JL: Изд-во АН СССР, 1957.-492 с.
  40. А.Ф. Полупроводниковые термоэлементы. M.-JL: Изд-во АН СССР, 1960.- 148 с.
  41. В.И. Введение в физику полупроводников. 2-е изд., перераб. и доп. М.: Высшая школа, 1984. — 352 с.
  42. В.И. Физика и химия твёрдого тела. В 2-х тт. М.: Металлургия, 1995. — Т. 1. — 480 е.- Т.2. — 320 с.
  43. В.И. Новые материалы: Состояние. Проблемы и перспективы. М.: МИСиС, 1995. — 142 с.
  44. .Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников / Под ред. В. М. Глазова. 3-е изд., испр. и доп. — М.: Высшая школа, 1982. — 528 с.
  45. Най Дж. Физические свойства кристаллов. М.: Мир, 1964. — 351 с.
  46. Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука. 1964.-488 с.
  47. .М., Кудинов В. А., Смирнов И. А. Полупроводниковые термоэлектрические материалы на основе В12Тез. -М.: Наука, 1972.-320 с.
  48. K.JI. Электрические явления в тонких пленках / Пер. с англ. А. Ф. Волкова, Е. И. Гиваргизова, П. И. Петрова и В. И. Покалякина. Под ред. Т. Д. Шермергора. М.: Мир, 1972. — 436 с.
  49. Палатник J1.C. Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных плёнок. М.: Наука, 1972. — 318 с.
  50. JI.C., Сорокин В. К. Основы плёночного полупроводникового материаловедения. -М.: Энергия, 1973. 296 с.
  51. Палатник J1.C., Черемской П. Г., Фукс М. Я. Поры в плёнках. М.: Энергоиздат. 1982. — 216 с.
  52. H.H., Углов A.A., Кокора А. Н. Лазерная обработка материалов. М.: Машиностроение, 1975. — 296 с.
  53. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д. Химико-термическая обработка в тлеющем разряде. М.: Атомиздат, 1975. — 175 с.
  54. Р.В. Контактные датчики температуры. М.: Металлургия, 1978. — 240 с.
  55. A.A., Чарихов Л. А. Пирометрия объектов с изменяющейся излучательной способностью. М.: Металлургия, 1978. -200 с.
  56. Современная кристаллография: В 4-х тт. / Б. К. Вайнштейн, Чернов A.A., Шувалов Л. А. М.: Наука, 1979−1981. Т1. 1979. — 384 е.- Т2. 1979.-360 с.-ТЗ. 1980.-408 е.- Т4. 1981.-496 с.
  57. Ю.Ф. Физика металлических плёнок: Размерные и структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1979. — 263 с.
  58. Я.Д., Бабарэко A.A., Владимиров С. А., Эгиз И. В. Теория образования текстур в металлах и сплавах. М.: Наука, 1979. — 343 с.
  59. М.В., Макаров Б. И. Измерение температуры поверхности твёрдых тел. М.: Энергия. 1979. — 96 с.
  60. Ф. Измерение температур в технике / Пер. с нем. Т. И. Киселевой и В. А. Федоровича. Под ред. Л. А. Чарихова. М.: Металлургия, 1980. — 544 с.
  61. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д. Текстурированные высокотемпературные покрытия. М.: Атомиздат, 1980. — 176 с.
  62. Измерение энергетических параметров и характеристик лазерного излучения / Б. Я. Бердяев, P.A. Валитов, М. А. Винокур и др. Под ред. А. Ф. Котюка. М.: Радио и связь, 1981. — 286 с.
  63. Термодинамика и материаловедение полупроводников / Под ред. В. М. Глазова. М.: Металлургия, 1982. — 392 с.
  64. Тонкие плёнки: Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. — 576 с.
  65. .М., Заводян A.B., Грушевский A.M. Конструкторско-технологические аспекты разработки интегральных схем и микросборок. -М.: МИЭТ, 1998.- 167 с.
  66. Бабад-Захряпин A.A., Кузнецов Г. Д. Радиационно-стимулированная химико-термическая обработка. М.: Атомиздат, 1982. -96 с.
  67. А.И., Морсков В. Ф., Устинов Н. Д. Дозиметрия лазерного излучения. М.: Радио и связь, 1983. — 191 с.
  68. Мощные газоразрядные С02-лазеры и их применение в технологии / Г. А. Абильсиитов, Е. П. Велихов, B.C. Голубев и др. М.: Наука, 1984.- 106 с.
  69. .М., Дашевский З. М., Кайданов В. И., Коломоец Н. В. Пленочные термоэлементы: физика и применение / Под ред. Н. С. Лидоренко. М.: Наука, 1985. 232 с.
  70. Методы и средства измерений параметров лазерного излучения / Под ред. A.A. Абгаряна. М.- ВНИИФТРИ, 1985.- 142 с.
  71. Методы точных измерений лазерного излучения / Под ред. В. М. Нестеренко. М.: ВНИИФТРИ, 1985.- 142 с.
  72. Т. Температура / Пер. с англ. Под ред. Д. Н. Астрова. М.: Мир. 1985.-448 с.
  73. A.A., Анищенко Л. М., Кузнецов С. Е. Адгезионная способность плёнок. М.: Радио и связь. 1987. — 104 с.
  74. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: В 10-ти книгах. Кн.6. Нанесение плёнок в вакууме / Минайчев В. Е. М.: Высшая школа, 1989. — 110 с.
  75. Л.И., Семенюк В. А. Оптимальное управление свойствами термоэлектрических материалов и приборов. Черновцы: Прут, 1992.-264 с.
  76. Датчики измерительных систем: В 2 кн. / Ж. Аш и др.- Пер. с фр.- Под ред. A.C. Обухова. М: Мир, 1992. — Кн.1. 480 е.-Кн. 2. 424 с.
  77. О.В., Кашин А. П., Ложбин В. И., Максимов М. Ж. Методы расчёта термоэлектрических генераторов. Новосибирск: Наука. 1995.-221 с.
  78. А.Г. Термодинамика и статистическая физика. М.: Гостехиздат, 1955. — 388 с.
  79. Э.В. Твёрдотельная криогеника. К.: Наукова думка, 1977.-234 с.
  80. А.И. Физические основы расчёта полупроводниковых термоэлектрических устройств. М.: Физматгиз, 1962. — 136 с.
  81. Е.К. Термоэлектричекие источники питания. -М.: Сов. радио, 1968. 184 с.
  82. A.C., Ефремов A.A., Охотин B.C., Пушкарский A.C. Термоэлектрические генераторы. М.: Атомиздат, 1971. — 288 с.
  83. М.Г. Полупроводниковые материалы в современной электронике. М.: Наука, 1986. — 144 с.
  84. Дж. Промышленное применение лазеров / Пер. с англ. М.: Мир, 1981.-638 с.
  85. Полупроводниковые фотоприемники: ультрафиолетовый, видимый и ближний инфракрасный диапазон спектра / Под ред. В. И. Стафеева. М.: Радио и связь, 1984. — 216 с.
  86. Измерение энергетических параметров и характеристик лазерного излучения / Под ред. А. Ф. Котюка. М.: Радио и связь, 1981. -288 с.
  87. М.Н. Приемники инфракрасного излучения. М.: Наука, 1968.- 168 с.
  88. Г. Металлофизика. М.: Мир, 1971. — 503 с.
  89. Термоэлектродвижущая сила металлов / Пер. с англ. Под ред. Д. К. Белащенко. М.: Металлургия, 1980. — 248 с.
  90. Meaden G.T. Electrical Resistance of Metals. New York: Plenum Press, 1965.-218 p.
  91. B.C. Медно-никелевые сплавы. M.: Цветметинформация, 1978. — 60 с.
  92. М.В. Металлография промыпленных цветных металлов и сплавов. 2-е изд. — М.: Металлургия, 1970. — 364 с.
  93. С.А. Проводниковые и реостатные сплавы. JI.-M.: ОНТИ, 1936.-294 с.
  94. В.М., Айвазов A.A. Энтропия плавления металлов и полупроводников. -М.: Металлургия, 1980. 172 с.
  95. P.A. Современная физика. / Пер. с англ. 2-е изд. — М.: Наука, 1974.-592 с.
  96. Дж.М. Принципы теории твердого тела /Пер. с англ. М.: Мир, 1966. — 416 с.
  97. А. Уонг К. Поверхности Ферми / Пер. с англ. М.: Атомиздат, 1978. — 352 с.
  98. JI. Нанесение тонких пленок в вакууме / Пер. с англ. -M.-JL: Госэнергоиздат, 1963. 608 с.
  99. С. Научные основы вакуумной техники / Пер. с англ. -М.: Мир, 1964.-715 с.
  100. В. А., Фишер, А .Я. Разделение и рафинированиеметаллов в вакууме. М.: Металлургия, 1969. — 204 с.
  101. С. Уравнения с частными производными для научных работников и инженеров. М.: Мир, 1985. — 384 с.
  102. Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакция /Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. М.: Мир, 1982. — 576 с.
  103. Crank J., Nicolson P. A practical method for numeral evaluation of solution of partial differential equations of the heat-conduction type. // Proc., Cambridge Philos. Soc., 1947, V.4, P.50−67.
  104. Мак-Кракен Д., Дорн У. Численные методы и программирование на ФОРТРАНе / Пер. с англ. Б. Н. Козака. Под ред. с доп. Б. М. Неймарка. М.: Мир, 1977. — 584 с.
  105. Д.Г., Финк К. Д. Численные методы: Использование Matlab / Пер. с англ. Л. Ф. Козаченко. Под ред. Ю. В. Козаченко. 3-е изд. -М.: Вильяме, 2001. 720 с.
  106. Курбатова Е.А. Matlab 7: Самоучитель. М.: Диалектика, 2005. -256 с.
  107. Ч.Г., Пенни Д. Э. Дифференциальные уравнения и краевые задачи: моделирование и вычисление с помощью Mathematica, Maple и Matlab / Пер. с англ. и ред. Я. К. Шмидского. 3-е изд. М: Вильяме, 2008. — 1094 с.
  108. В.Ф. Основные понятия вычислительной математики. -М.: Наука, 1977.- 128 с.
  109. Н.И. Автоматизация загрузки станков. М.: Машиностроение, 1977. — 287 с.
  110. Материалы в приборостроении и автоматике: Справочник / Под ред. Ю. М. Пятина. М.: Машиностроение, 1969. — 632 с.
  111. Справочник по электротехническим материалам: В 3-х тт. / Под ред. Ю. В. Корицкого, В. В. Пасынкова, Б. М. Тареева. Изд. 2-е, исп. и доп.-М.: Энергия, 1974.-Т.1. 584 С.-Т.2. 616 с.- 1976.-Т.З. 896 с.
  112. Таблицы физических величин: Справочник /Под ред. И. К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. — 1006 с.
  113. Майсел Л, Глэнг Р. Технология тонких плёнок: Справочник: В 2-х тт. / Пер. с англ. Под ред. М. И. Елинсона и Г. Г. Смолко. М.: Сов. Радио, 1977. Т.1. — 662 с. Т.2. — 768 с.
  114. Инженерный справочник по космической технике. М.:1. Воениздат, 1977. 430 с.
  115. Бычковский Р. В, Вигдорович В. Н., Колесник Е. А., Моспанченко P.C., Ухлинов Г. А., Шварц Б. А. Приборы для измерения температуры контактным способом: Справочник / Под общей ред. Р. В. Бычковского. Львов: Вища школа, 1978. — 208 с.
  116. A.B. Тепломассообмен: Справочник. М.: Энергия. 1978.-480 с.
  117. Л.З. Справочник по основам инфракрасной техники. -М.: Сов. Радио, 1978. 400 с.
  118. Л.И. Термоэлементы и термоэлектрические устройства: Справочник. Киев: Наук, думка, 1979. — 768 с.
  119. З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. М.: Радио и связь, 1991. — 528.
  120. К.Дж. Металлы: Справочник / Пер. с англ. Под ред. С. Г. Глазунова. Изд. 5-е. М.: Металлургия, 1980. — 447 с.
  121. A.C., Боровиков Р. П., Нечаева Т. В., Пушкарский A.C. Теплопроводность твердых тел: Справочник / Под ред A.C. Охотина. М.: Энергатомиздат, 1984. — 320 с.
  122. Температурные измерения: Справочник / Под ред. O.A. Геращенко. Киев: Наукова думка, 1989. — 702 с.
  123. H.H., Углов A.A., Зуев И. В., Кокора А. Н. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов: Справочник. М.: Машиностроение, 1985. — 496 с.
  124. Справочник по лазерной технике / Пер. с нем. Под ред. А. П. Напартовича. М.: Энергоиздат, 1991. — 544 с.
  125. Г. А., Голубев B.C., Гонтарь В. Г. и др. Технологические лазеры: Справочник: В 2-х тт. /Под общ. ред. Г. А. Абильсиитова. М.: Машиностроение, 1991. — Т. 1. 432 с. — Т.2. 544 с.
  126. Физический энциклопедический словарь / Гл. ред. Б. А. Введенский, Б. М. Вул. В 5-ти тт. М.: Советская энциклопедия, 1962. Т.2. С.83−84.
  127. Электроника: Энциклопедический словарь / Гл. ред. В. Г. Колесников. М.: Советская энциклопедия, 1991. — 688 с.
  128. Физическая энциклопедия / Гл. ред. A.M. Прохоров. В 4-х томах. -М.: Советская энциклопедия, 1992−1998 Репринтное издание 1983 года.
  129. Физика: Большой энциклопедический словарь / Гл. ред. A.M. Прохоров. 4-е изд. — М.: Большая Российская энциклопедия, 1999. — 944 с. Репринтное издание 1983 года.
  130. А.П., Смирягина H.A., Белова A.B. Промышленные цветные металлы: Справочник. 3-е изд. — М.: Металлургия, 1974. — 488 с.
  131. М.А. Физико-технологические основы пленочных термоэлектрических преобразователей измерительного назначения, дисс.д.т.н. М, 2003. 396 с.
  132. А.Б. Исследование наклонноконденсированных пленочных материалов для термоэлектрических преобразователей лазерного излучения, дисс. к.т.н. М., 2006. 149 с.
  133. H.A., Мильвидский М. Г., Простомолотов А. И. Теплоперенос в установках выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского // Материаловедение. 2004. № 3. с.2−6.
  134. А.И., Мильвидский М. Г. Моделирование тепловых процессов и дефектообразования при выращивании и термообработке бездислокационных монокристаллов и пластин кремния // Известия вузов. Материалы электронной техники. 2008. № 3. С.49−52.
  135. М.Г., Чалдышев В. В. Наноразмерные кластеры в полупроводниках новый подход к формированию свойств материалов // Физика и техника полупроводников. 1998. Т.32. № 5. С.513−522.
  136. .Г., Логинова Л. В., Румянцева С. М. Проблемы материаловедения в создании нового поколения приборов электронной техники // Перспективные материалы. 1995. № 3. С.38−43
  137. А.Г., Коренблит Л. Л. Современное состояние теории термоэлектрических и термомагнитных явлений в полупроводниках // Успехи физических наук. 1953. Т.49. № 2. С.243−272.
  138. А.Г., Слипченко В. Н. Исследование кпд анизотропных элементов // Физика и техника полупроводников. 1975. Т.9. № 10. С.1897−1901.
  139. .Я. Влияние температурной зависимости параметров материалов на эффективность термоэлектрических генераторов и холодильников // Физика твёрдого тела. 1960. Т.2. № 4. С.728−737.
  140. И.М., Самойлович А. Г., Анатычук Л. И. Термоэлемент. A.c. СССР № 230 915, кл. Н 01 L 37/00, заявл.14.02.63, опубл. 15.11.68, БИ № 35.
  141. А.Г., Пилат И. М., Анатычук Л. И. Термоэлектрический генератор, состоящий из монокристалла анизотропного антимонида кадмия. Патент США № 3 530 008, кл. 136−200, заявл. 26.01.67, опубл. 22.09.70,.
  142. И.М., Самойлович А. Г., Анатычук Л. И. Анизотропный термоэлемент. Патент ФРГ № 2 000 088, кл. 21 в 27/06, заявл. 02.01.70, опубл. 29.11.73.
  143. И.М., Самойлович А. Г., Анатычук Л. И. Способ генерации электродвижущей силы. Патент Японии 46−43 422, кл. 99(5)032, заявл. 25.10.67, опубл. 5.04.71.
  144. Л.И., Богомолов П. А., Купчинский О. И. и др. Анизотропный радиационный элемент // Оптико-механическая промышленность. 1971. № 1. С.27−29.
  145. А.А., Пальти A.M., Ащеулов А. А. Анизотропные термоэлементы // Физика и техника полупроводников. 1997. Т.31. № 11. С.1281−1298.
  146. Crystea P., Popescu J.M. Infrared photovoltaic radiation detector with anisotropic tellurum film // Opt. Communications. 1970. V.2. N2. P.81−83.
  147. Ciura A.J., Popescu J.M., Stancin G.A. Study of the photovoltaic detector with thin anisotropic tellurum film // Rev. Roum. Phys. 1973. V.18. N1. P.119−121.
  148. Gheorgita-Oancea C., Crystea P. Study of tellurum anisotropic layers structure and photovotaic effect. Bull. Inst. Politechn. «Gh. Gheorgiu-Dej», Bucurest. 1975. T.37. N3. P. 11−17.
  149. А.И. Фотовольтаический эффект в плёнках теллура // Физика и техника полупроводников. 1979. Т. 13. № 6. С. 1214−1216.
  150. Takahashi М., Kou F., Tada О. The mechanism of the photovoltaic effect of Ge film obliquely deposited in vacuum // Japan. J. Appl. Phys. 1968. V.7.N12. P.1446−1452.
  151. Pancove I.I. The anomalous photovoltaic effect // Phys. Stat. Sol. 1980. V.61.N1. P.127−132.
  152. Dietmar G. Dember-effect und photon-drag in anisotropen Halbleitern // Wiss. Z. Techn. Univ. Dresden. 1984. T.33. № 2. S.15−19.
  153. Gutfeld R.J. Laser-induced anisotropic thermoelectric voltages in thin films // Appl. Phys. Lett. 1973. V.23. N4. P.206−208.
  154. Gutfeld R.J., Caswell H.L. Enhancement of transverse thermoelectric voltage in thin metallic films // Appl. Phys. Lett. 1974. V.25. N12. P.691−693.
  155. Tunan E.E., Gutfeld R.J. Light detector for nanosecond-dc pulse width range. Патент США № 3 851 174, кл. 250−336, заявл. 04.05.73, опубл. 26.11.74.
  156. В.Н., Ухлинов Г. А., Каримов Ф. Ч., Краснов Д. М. Природа анизотропного термоэлектрического эффекта в наклонноконденсированных плёнках // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1987. Т.23. № 7. С. 1081−1085.
  157. В.Н., Марков Ф. В. Координатно-чувствительные измерители энергии и мощности лазерного излучения // Тез. докл. Всес. конф. «Применение лазеров в народном хозяйстве» (4−8 декабря 1989 г., Шатура). Шатура: НИЦ ТЛ АН СССР, с.244−245.
  158. В.Н., Якашвили Д. В. Исследования в области получения кристаллических плёнок висмута. В кн.: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники. Химическая серия. Вып.ХШ. МИЭТ. 1972. с. 112−123.
  159. Г. А., Косаковская З. Я., Карачун В. Н. Плёночные термоэлектрические приемники излучения. В кн.: Методы и средства измерения параметров устройств квантовой электроники. Труды ВНИИФТРИ. Вып.39(69). -М.: ВНИИФТРИ, 1978. с.41−46.
  160. З.Я., Епихина Т. Е., Нестеренко В. М., Ухлинов Г. А. Новые тепловые преобразователи импульсного оптического излучения. В кн.: Импульсная фотометрия. 1983. вып.8. с.118−120.
  161. Г. А., Каримов Ф. Ч., Резников Б. Л. Плёночные анизотропные термоэлементы // Электронная промышленность. 1985. Вып.2(14). С.8−10.
  162. Г. А., Марков Ф. В., Каримов Ф. Ч., Резников Б. Л. Плёночные анизотропные датчики излучения // Оптико-механическая промышленность. 1985. № 6. С.50−52.
  163. Г. А., Каримов Ф. Ч., Марков Ф. В. Поперечная термо-ЭДС в косонапыленных плёнках хрома. В кн.: Материалы электронной техники. -М.: МИЭТ, 1985. с.165−170.
  164. Е.Б., Андреев В. И., Рукман Г. И., Заславский В. Я. Способ регистрации оптического излучения / A.c. № 1 010 594 от 19 сентября 1981 г. (кл. G 01 J 5/12) — опубликовано: БИ. 1983. № 13. с. 157.
  165. А.Б., Яковлев В. А. Неохлаждаемые приемники лазерного С02 излучения. — В кн.: Вопросы методологического обеспечения измерительных параметров технологических лазеров. — М.: ВНИИФТРИ, 1984, с.5−21.
  166. В.И., Бендицкий A.A., Грановский А. Б., Рукман Г. И., Степанов Б. М. Термоэлектродвижущая сила островковых металлических плёнок // Физика металлов и металловедение. 1983. Т.55. Вып.2. С.407−409.
  167. В.И., Грановский А. Б., Яковлев В. А. Малоинерционный неохлаждаемый преобразователь ИК-излучения на основе косонапылённых плёнок висмута. В кн.: Методы и средства измерения параметров лазерного излучения. — М.: ВНИИФТРИ, 1985. с.49−54.
  168. В.И., Грановский А. Б., Яковлев В. А. Малоинерционный неохлаждаемый приемник импульсного лазерного излучения // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. № 6. С. 1295−1297.
  169. В.И., Грановский А. Б., Зубенко В. В., Степанищев C.B., Яковлев В. А. Анизотропия термо-ЭДС и микроструктура косонапыленных плёнок висмута // Физика металлов и металловедение. 1986. Т.61. № 3. С.532−535.
  170. В.Н., Каримбеков М. А. Выявление структуры на металлографических шлифах при воздействии озонированным воздухом // Заводская лаборатория. 1994. Т. 60. № 1. С. 27−28.
  171. В.Н., Каримбеков М. А. Наклонноконденсированные плёночные материалы как наклоннотекстурированнные термоэлектрические преобразователи измерительного назначения // Конденсированные среды и межфазные границы. 2001. ТЗ. № 1. С.5−13, 91 и 95.
  172. М.А., Вигдорович В. Н. Аналитическое описание анизотропии свойств пленочных поликристаллических материалов с различной текстурой // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. 2001. № 1. С.70−75 и 78.
  173. В.Н., Каримбеков М. А., Садыков Э. С. Совершенствование зондового метода контроля электросопротивления плёночных материалов // Прикладная физика. 2001. № 1. С. 24−30.
  174. М.А. Поперечная термо-э.д.с. в наклонно конденсированных плёнках металлов, полуметаллов, полупроводников. Модель и реализация // Вестник Российской академии естественных наук, Санкт-Петербург, 2001. Т5. № 1. С.45−53.
  175. В.Н., Каримбеков М. А. Приёмы легирования плёночных материалов и структур для термоэлектрических преобразователей // Прикладная физика. 2002. № 2. С. 83−92.
  176. В.Н., Каримбеков М. А. Технологические и конструкторские пленки и включения оксидов. В кн.: Материалы IV Международной конференции по физике и технологии тонких пленок (г. Ивано-Франковск, 3−8 мая 1993 г.). В 2-х томах. — 1993. Т. 1. С. 28.
  177. В.Н., Каримбеков М. А. Выбор пленочных термоэлектрических материалов. В кн.: Перспективные материалы, технологии и конструкции, С. 15−18 / Под ред. В. В. Стацуры. -Красноярск: CAA, 1998. Вып. 4. — 790 с.
  178. В.Н., Каримбеков М. А. Модель, материалы и параметры наклоннотекстурированных термопреобразователей измерительного назначения // Перспективные материалы. 2001. № 1. С.5−13.
  179. В.Н., Каримбеков М. А. Выбор, разработка и совершенствование материалов термоэлектрических преобразователей // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2002. № 2. С 23−28.
  180. В.Н., Каримбеков М. А. Графо-аналитическое определение пригодности и предпочтительности материалов для термоэлектрических преобразователей измерительного назначения // Известия высших учебных заведений. Электроника. 2002. № 3. С.3−11.
  181. В.Н., Каримбеков М. А., Гогохия В. Г. Плёночный преобразователь для измерения давления. В кн.: Доповда VII М1жнародно'1 конференцп «Ф1зика i технолопя тонких шпвок». — 1вано-Франювск, 1999. с.32−33.
  182. М.А. Термопреобразователь лазерного излучения на наклонноконденсированных плёночных материалах // Прикладная физика. 2001. № 1. С. 31−40.
  183. В.Н., Каримбеков М. А. Наклонноконденсирован-ные плёнки висмута, теллура и хрома. В кн.: Материалы X Национальной конференции по росту кристаллов «НКРК-2002» (г. Москва 24−29 ноября 2002 г). -М.: ЖРАН, 2002. с. 534.
  184. А.Б., Каримбеков М. А. Термоэлектрическая эффективность пленочных наклонноконденсированных преобразователей из изотропных и анизотропных материалов // Прикладная физика. 2005. № 3. С. 109−112.
  185. А.Б., Каримбеков М. А. Разработка контроллера для измерения температуры, в том числе температуры поверхности // Прикладная физика. 2005. № 4. С. 115−120.
  186. Ю.Г., Лунин Э. А., Стельмах М. Ф. Состояние и перспективы применения лазеров в народном хозяйстве // Электронная промышленность. 1981. № 5−6. С.3−9.
  187. Лазеры в технологии: Сборник статей / Под ред. М. Ф. Стелъмаха. М.: Энергия, 1975. — 216 с.
  188. Е.А., Ухлинов Г. А. Особенности выходного сигнала пленочных анизотропных термоэлементов / Сборник тезисов докладов XII Всесоюзного семинара «Импульсная фотометрия» Л.: ГОИ, 1988, с.103−104.
  189. И.А. Быстродействующие термоэлементы и болометры // Оптико-механическая промышленность. 1974. № 11. С.55−64.
  190. Ф.В., Сулейманова З. П. Пленочные анизотропные преобразователи. В кн.: Материалы и технологические процессы микроэлектроники: сб. научных трудов. — М.: МИЭТ, 1986, с. 188−191.
  191. В.Н., Ухлинов Г. А., Косаковская З. Я. Исследование текстуры роста в пленках висмута / Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники (химическая серия). М.: МИЭТ, 1974, Вып.XIX. с. 101−104.
  192. В.Н., Ухлинов Г. А., Косаковская З. Я. Структура и термоэлектрические свойства косонапыленных пленок висмута // Известия АН СССР. Неорганические материалы, 1986, Т.22, № 6, С. 93 8−941.
  193. Г. Е., Ефреев З. А., Косаковская З. Я., Нестеренко В. М., Ухлинов Г.А. Пленочные анизотропные преобразователи теплового потока
  194. Тезисы докладов Всесоюзной научно технической конференции температурных и теплофизических измерений в диапазоне высоких температур. Харьков: НПО «Метрология», 1983, с. 258.
  195. Г. А., Каримов Ф. Ч., Резников Б. Л., Марков Ф. В. Пленочные анизотропные термоэлементы // Электронная промышленность, 1985, № 6, С.50−52.
  196. Г. А., Краснов Д. М. Анизотропия и анизотропный термоэлектрический эффект в наклонно конденсированных пленках / Материалы и технологические процессы микроэлектроники: Сборник трудов. -М.: МИЭТ, 1986, с. 192−195.
  197. Seid D.H., Spicer W"E. Photoemissionn and optical Staties of Cu-Ni alloys // Phys. Rev., 1970, B2, P. 1676−1704.
  198. Hufner S., Wertheim G.K. Density staties Cu-Ni alloys // Phys. Rev. Lett., 1972, V.28, N18, P.488−490.
  199. Rousel L.J., Varlashkin P.G. Anqular-correlation studies of positron annihilation in copper-nikel alloys // Phys. Rev., 1971, B4, N7, P.2377−2380.
  200. Mott N. P. The resistance and thermoelectric properties of the transition metals // Proc. Roy. Soc., 1936, A156, N 888, P.368−382.
  201. Coles B.R. Electronic Structures and Physical Properties in the Alloy Systems Nickel-Copper and Palladium-Silver // Proc. Phys. Soc, 1952, B65, N387B, p.221−229.
  202. Fletcher R., Greig D. The thermoelectric power of palladium and palladium-silver alloys // Phys. Lett., 1965, V.17, N1, P.6−7.
  203. И.И., Носков M.M. Оптические свойства Cu-Ni сплавов в видимой и ультрафиолетовой области спектра // Физика твердого тела, 1972, № 4, С.99−102.
  204. Shiba Н. On the de Haas-van Alphen Effect in Dilute Copper Alloys Containing Transition-Metal Impurities // Progr. Theor. Phys., 1973, 50, P. 17 901 823.
  205. Templeton I.M., Coleridge P.T. The Fermi surfaces of dilute copper alloys // J.Phys. P: Met. Phys., 1975, V.5, N7, P. 1307−1326.
  206. Asayama Kunisuke. Nuclear Magnetic Resonance Study in Cu-Ni Alloys // J. Phys. Soc. Japan, 1963, V.18, N12, P.1727−1735.
  207. Priedel J. On some electrical and magnetic properties of metallic solid solutions // Canad. J. Phys., 1956, V.34, P. l 190−1209.
  208. Schroeder P.A., Wolf R., Woolam J.A. Thermopowers and Resistivities of Silver-Palladium and Copper-Nickel Alloys // Phys. Rev., 1965, A138, N1, P.105−111.
  209. А.А., Каролик А. С. Концентрационная зависимость термоэлектрических свойств Cu-Ni сплавов // Физика металлов и металловедение, 1985, т.59, № 6, с.1085−1090.
  210. Ziman J.M. The Ordinary Transport Properties of the Noble Metals // Adv. Phys., 1961, v.10, N37, p.1−56.
  211. Yamashita J., Asano S. Thermoelectric Rower of Copper // Prog. Theor. Phys, 1973, 50, p. 1110−1119.
  212. Stocks Q.M., Willams R. W, Faulkner J.S. Densities of states of paramagnetic Cu-Ni alloys // Phys. Rev, 1971, B4, N12, p.4390−4465.
  213. Krolikowski W. P, Spicier W.E. Photoemission Studies of the Noble Metals // Phys. Rev, 1969, 185, p.882−900.
  214. Feussner К. und Lindeck S. Metallegierungen furelektrische WiederStande / Leitshrift fur Instrumentenkunde. Berlin, 1889, p.233−236.
  215. Жемчужный Ц. Ф, Погодин C. A, Финкейзен B.A. Сплавы высокого электросопротивления // Известия института неорганической химии. Сектор физико-химичесокго анализа. М, 1924, Т.2, Вып.2, С.405- 449.
  216. А.А. Тензометрические проволоки для самокомпенсированных тензодатчиков // Испытательные машины, приборы, автоматизация взвешивания и дозирования: Сборник трудов. -М.: Оптприбор,. 1964, № 2, с.29−53.
  217. Дормакович Л. В, Селезнев Л. П, Шпинецкий Е. С. О тензочувствительности и ТКС сплавов системы медь-никель /Металловедение меди и медных сплавов. Гипроцветметобработка: Сборник трудов. М.: Металлургия, 1975, вып.48. с. 123−130.
  218. Dale Е.В. Theory of Steady-State Evaporation of Alloys // Journal of Applied Physics, 1971, v.42, N10, p.3697−3701.
  219. Клебанов Ю. Д, Привезенцева T. B, Сумароков В. Н. О кинетике испарения сплава в вакууме // Физика и химия обработки материалов, 1977, № 3, с.50−54.
  220. Ройх И. Л, Костржицкий А. И, Приббе С. А, Федосов С. Н. Фракционирование бинарных сплавов при испарении из одного тигля // Физика и химия обработки материалов, 1976, № 3, С.50−54.
  221. Г. Ф. Некоторые закономерности кинетики испарения и конденсации двойных сплавов / Проблемы специальной электрометаллургии: Сборник трудов. Киев: Наукова думка, 1975, вып.2, с.62−66.
  222. Алешкин А. А, Раров Н. Н. О возможности получениядвухкомпонентных пленок металлов заданного состава испарением из сплава // Физика и химия обработки материалов, 1970, № 4, С.43−48.
  223. Палатник JI. C, Федоров Г. В., Богатов П. Н. О характере испарения и конденсации сплава Pb-Sn // Физика металлов и металловедение, 1966, т.21, вып.5, с.704−707.
  224. R., Desai R.D., Hawkins D. Т., Gleiser M., Kelley K.K. Selekted values of the thermodynamic properties of binary alloys // ASM. Metals Park, Ohio, 1975. 1435 p.
  225. Ю.А., Мовчан Б. А. Механизм удаления меди при электроннолучевой плавке стали // Физика и химия обработки материалов, 1970, № 4, С.37−42.
  226. Zinsmeister G. The Direct Evaporation of Alloys // Vakuum technik, 1964, N8, p.233−240.
  227. Honig R.E. Vapor pressure data for the solid and liquid elements // RCA Review, 1962, V.23, N4, P.567−586.
  228. Huijer P., Langendam W. T., Lely J. Vacuum deposition of resistors // Philips technical review, 1962/63, V.24, N4/5, P.144−148.
  229. .В., Челищев E.B., Казачков E.A. Диффузия элементов в расплавленном железе // Известия АН СССР. ОТН, 1951, № 11, С.1689−1695.
  230. Morgan D.W., Kitchener J.A. Solution in Liquid Iron. Part 3. -Diffusion of Cobalt and Carbon // Transaction of the Faraday Society, 1954, V.50, N1, P.51−60.
  231. Палатник JI. C, Федоров Г. В., Богатов П. Н. Исследование процессов испарения и объемной конденсации сплавов // ДАН СССР, 1964, Т. 158, № 3, С.586−589.
  232. Палатник JI. C, Федоров Г. В., Богатов П. Н. Изучение закономерностей испарения сплавов // Физика металлов и металловедение, 1966, Т.21, Вып. З, С.409−413.
  233. П.Ф. Справочник по высшей математике. Киев: Наукова думка, 1974. — 743 с.
  234. П.П., Харьков В. И., Лозовой В. И. О механизме подвижности ионов в жидких металлах // Физика металлов и металловедение, 1966, Т.21, Вып. З, С.414−422.
  235. П.М., Шантарин В. Д. Диффузия металлов в жидкой меди // Физика металлов и металловедение, 1963, Т.16, Вып.5, С.731−736.
  236. Л.В. Процессы получения тонких пленок в микроэлектронике / Технология толстых и тонких пленок: Сборник трудов / Пер. с англ. М.: Мир, 1972, с.9−26.
  237. В.Н., Попов В. И. Формирование структуры и свойств пленок многокомпонентных металлических сплавов при их конденсации в вакууме // Металлы, 1977, № 5, С.115−120.
  238. A.M., Лысова Е. В., Павленко Г. И., Попов В.И.
  239. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди // Физика и химия обработки материалов, 1973, № 3, С.58−62.
  240. Д.М., Марков Ф. В. Исследование особенностей испарения медно-никелевых сплавов // Материалы и технологические процессы микроэлектроники: Сборник трудов М.: МИЭТ, 1988, С. 134 137.
  241. А.Т., Вяльцев А. А. Вибропитатель диаметром 40 мм для подачи порошковых материалов в вакууме / МЭИ: Информационно-справочный листок: Серия микроэлектроника. № 1 769. М.: Электроника, 1971. — 1 с.
  242. Способ изготовления пленочных анизотропных термоэлементов / Г. А. Ухлинов, Д. М. Краснов и др.- заявка № 4 282 882- приоритет от 13.07.87- решение о выдаче от 12.07.88.
  243. Г. А., Марков Ф. В., Краснов Д. М. Пленочные анизотропные приемники излучения / Тезисы докладов VI Всесоюзного семинара по тепловым приемникам излучения. JL: ГОИ, 1988, с.55−56.
  244. Г. А., Марков Ф. В., Краснов Д. М. Основные параметры пленочных анизотропных термопреобразователей излучения /Сб. тезисов докладов 12 Всесоюзного семинара «Импульсная фотометрия». JL: ГОИ, 1988, с.99−100.
  245. З.Я., Курицын Г. Н. Приемники импульсно-периодического излучения /Тезисы докладов VI Всесоюзного семинара по тепловым приемникам излучения. JL: ГОИ, 1988, с.51−52.
  246. Средства измерений параметров лазерного излучения. Общие технические требования. ГОСТ 24 469–80.
  247. А.Б., Опаричев Е. Б., Вигдорович В. Н., Каримбеков М. А. Термоэлектрическая эффективность пленочных преобразователей из изотропных и анизотропных материалов /Тезисы докладов
  248. X Международной конференции по физике и технологии тонких пленок (МКФТП-Х) (16−21 мая 2005 г., Ивано-Франковск, Украина). 2005, с. 81.
  249. В.Н., Каримбеков М. А., Марков Ф.В., Опаричев
  250. A.Б. Опаричев Е. Б. Модельные представления для определения выбора материалов термопарных термоэлектрических преобразователей // Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России, 2007, № 4. С. 54−60.
  251. Е.Б., Каримбеков М. А., Опаричев А.Б., Вигдорович
  252. В.Н., Каримбеков М. А., Марков Ф. В., Опаричев А. Б., Опаричев Е. Б. Разработка контактных контроллеров температуры + // Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России, 2008, № 1, С.60−66.
  253. Е.Б., Тимошин Н. В., Вигдорович В.Н., Каримбеков
  254. В.Н., Каримбеков М. А., Марков Ф.В., Опаричев
  255. В.Н., Кадыров Ч. А., Каримбеков М. А., Опаричев Е. Б. Влияние термической обработки на свойства наклонноконденсированных пленок // Известия Кыргызского технического университета им. И. Раззакова. Бишкек. 2009. № 17. С.289−292.
  256. Патент № 62 236 Российская Федерация, МПК8 в 01 К 7/02. Чувствительный элемент / В. Н. Вигдорович, М. А. Каримбеков,
  257. B.М. Матюнин, А. Б. Опаричев, Е.Б. Опаричев- заявл. 13.11.06 г.- опубл. Бюл. «Изобретения и полезные модели». 2007. № 9.
Заполнить форму текущей работой

На отлично!