Диплом, курсовая, контрольная работа
Помощь в написании студенческих работ

Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов

Диссертация: Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсуждены на следующих конференциях: конференции молодых ученых машиностроительного факультета СГТУ. I тур (Саратов, 2008) — XXI Международной научной конференции «Математические методы в технике и технологиях» (Саратов, 2008) — IV Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения» (Томск, 2008) — 6-й… Читать ещё >

Содержание

  • 1. Состояние вопросов технологии производства, способов, схем и оборудования для откачки электровакуумных приборов
    • 1. 1. Основные направления разработки технологического процесса откачки электровакуумных приборов по сокращенному циклу
    • 1. 2. Технологический процесс камерной откачки ЭВП
    • 1. 3. Возможность устранения взаимного влияния электродов при камерной откачке электровакуумных приборов
  • Выводы
  • 2. Исследование влияния разнесения частей при камерной откачке на изменение давления в приборе и проводимость зазора ^
    • 2. 1. Определение оптимального расстояния между частями из условий обеспечения эффективной скорости откачки прибора
    • 2. 2. Определение проводимости зазора между разнесенными частями прибора при камерной откачке
    • 2. 3. Определение зависимости проводимости зазора от величины разнесения частей прибора при камерной откачке
    • 2. 4. Обоснование структурной схемы технологического процесса откачки электровакуумных приборов
  • Выводы
  • 3. Исследование влияния камерной откачки на параметры электровакуумных приборов
    • 3. 1. Исследование влияния величины разнесения частей на цикл откачки и параметры экспериментальных диодов
    • 3. 2. Технологические приемы при камерной откачке, приводящие к сокращению циклов откачки и улучшению параметров приборов
      • 3. 2. 1. Исследование влияния откачки через короткий штенгель на параметры приборов с оксидными катодами
      • 3. 2. 2. Исследование влияния предварительного обезгаживания оксидных катодов на эмиссионные характеристики приборов
      • 3. 2. 3. Исследование влияния технологической обработки анодов на эмиссионную активность оксидных катодов электровакуумных приборов
    • 3. 3. Откачка лампы бегущей волны по типовому технологическому процессу
      • 3. 3. 1. Описание конструкции и принцип действия ЛБВ
      • 3. 3. 2. Анализ базового технологического процесса откачки ЛБВ
      • 3. 3. 3. Разработка усовершенствованной технологии откачки ЛБВ
      • 3. 3. 4. Влияние усовершенствованной технологии откачки на параметры ЛБВ
    • 3. 4. Исследование влияния камерной откачки на параметры магнетрона, перенастраиваемых напряжением
      • 3. 4. 1. Методика исследования влияния камерной откачки на параметры МЛН
      • 3. 4. 2. Анализ технологии откачки приборов типа МЛН через щелевой зазор
      • 3. 4. 3. Определение оптимальной проводимости зазора между частями генератора-оболочек приборов типа МЛН при откачке
      • 3. 4. 4. Влияние камерной откачки с оптимальным разнесением частей на вакуумные и электрические параметры МЛН
    • 3. 5. Исследование влияния откачки через короткий штенгель на выходные параметры вакуумных конденсаторов
    • 3. 6. Камерная откачка и герметизация диффузионной сваркой вакуумных реле
    • 3. 7. Исследование влияния камерной откачки на цикл откачки и параметры вакуумных дугогасительных камер
  • Выводы
  • 4. Высоковакуумное оборудование для камерной откачки электровакуумных приборов
    • 4. 1. Универсальная вакуумно-водородная установка для откачки и сборки узлов с электровакуумного производства
    • 4. 2. Полуавтомат камерной откачки малогабаритных электровакуумных приборов ^^
    • 4. 3. Установка камерной откачки ЭВП на базе откачного поста ЛМ
    • 4. 4. Высоковакуумная установка с инфракрасным нагревателем для камерной откачки электровакуумных приборов
  • Выводы

Форсированные режимы камерной откачки электровакуумных приборов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Актуальность проблемы. Несмотря на развитие полупроводниковой техники и технологии электровакуумные приборы (ЭВП) различных типов находят широкое применение в народном хозяйстве страны, что выдвигает требования создания большого количества новых ЭВП. Долговечность и надежность работы важнейших объектов промышленности во многом зависят от качества, надежности и долговечности ЭВП. Неуклонное повышение качества и технологического уровня всех выпускаемых ЭВП, наряду с дальнейшим увеличением масштабов производства, является важнейшей задачей электронной промышленности.

Эти повышенные требования к ЭВП приводят к разработке новых, более совершенных способов получения вакуума и новых, более эффективных технологий изготовления узлов и откачки ЭВП.

В области улучшения технологий откачки ЭВП наиболее важными являются работы по созданию новых и совершенствованию традиционных технологических процессов. Значительные успехи в этом направлении достигнуты благодаря работам ученых и специалистов электронной промышленности, вузов, НИИ, РАН (Н.Д. Девяткова, С. И. Реброва, Н. В. Черепнина, В. Ф. Коваленко, В. Н. Батыгина, В. П. Марина, А. К. Михалева, B.C. Прилуцкого, В. Б. Байбурина, Г. А. Тягунова и других).

Анализ результатов их работ показывает, что для получения высоких параметров, максимальной надежности и уменьшения себестоимости производства ЭВП в числе обязательных условий необходимо:

• увеличить эффективную быстроту откачки приборов;

• понизить предельное разрежение в приборе.

Работы всех этих специалистов были, как правило, направлены на совершенствование традиционных методов откачки ЭВП через штенгель. Поэтому достичь максимальных результатов для реализации этих задач не всегда было возможно. Новое направлениебеспггенгельная откачкабыло предложено впервые выдающимся советским ученым академиком С. А. Векшинским в 1934 году. Дальнейшее усовершенствование этого процесса нашло в работах А. Т. Александровой, Г. В. Конюшкова, В. И. Воронина, В. П. Шумарина, JI.A. Радченко, М. Н. Печатникова, А. П. Краснова и Ф. Г. Закирова Их работы были посвящены, в основном, созданию оборудования для камерного и гнездового способов откачки без теоретического обоснования этих процессов.

Целью работы является разработка технологических процессов камерной откачки ЭВП с применением форсированных и совмещенных режимов термовакуумной обработки приборов, обеспечивающих увеличение долговечности, сокращение длительности циклов откачки, повышение эмиссионной способности катодов, обеспечение возможности групповой откачки приборов, снижение трудовых энергозатрат.

Для достижения этой цели необходимо решить следующие задачи:

1. Провести анализ технологических процессов откачки ЭВП и выбрать принципиальные схемы, обеспечивающие применение форсированных и совмещенных режимов термовакуумной обработки приборов при индивидуальном и групповом методах откачки.

2. Получить расчетные зависимости между проводимостью эвакуационных сечений откачиваемых ЭВП и величиной разнесения их частей и определить оптимальную величину разнесения, что позволяет сформулировать технические требования к конструкциям механизмов перемещения и давления.

3. Разработать типовой технологический процесс откачки ЭВП.

4. Разработать методику расчета производительности вакуумной системы при камерной откачке и рекомендации по проектированию оборудования.

5. Разработать методику объективной оценки степени обезгаженности ЭВП на откачке по величине газового потока и оптимального времени обезгаживания прибора.

6. Разработать технологические приемы, обеспечивающие улучшение вакуумных и электрических характеристик ЭВП, сокращение циклов откачки.

7. Провести экспериментальные исследования, подтверждающие результаты теоретических исследований при различных способах откачки групп приборов различных типов (магнетронов, перестраиваемых напряжением (МЛН), ламп бегущей волны (ЛБВ), вакуумных дугогасительных камер (ВДК), вакуумных конденсаторов, вакуумных реле).

Работа выполнялась в соответствии с Государственной программой развития вооружения, специальной и военной техники на 2001 — 2010 годы (утверждена Президентом РФ 23 января 2002 г.), с программой совместных исследований и разработок ОАО «Hiill «Контакт» и СГТУ (2003 г.) и в соответствии с директивной документацией федеральных учреждений электронной промышленности РФ по сокращению и совершенствованию циклов откачки ЭВП.

Методы и средства исследований. При выполнении работы использованы научные основы вакуумной техники и технологии, вакуумной электроники. Применялось моделирование процессов камерной откачки. Вычислительные эксперименты выполнены на компьютере класса Athlon Х2 с использованием программного пакета инженерных расчетов MathCAD 14.0 Academic version.

Использована стандартная аппаратура — приборы для измерений давления (манометрические приборы) и электрических параметров (промышленные тренировочно-испытательные стенды), анализа спектра остаточных газов (ИГТДО-2А с датчиком РМО-4С), оборудование для диффузионной сварки (УДС-2), разрывная машина Р-5.

Достоверность полученных результатов подтверждается использованием известных положений фундаментальных и прикладных наук (вакуумная техника, вакуумная и плазменная электроника, физика тонких пленок), корректностью моделей и их адекватностью известным критериям оценки параметров изучаемых процессов, сходимостью теоретических и экспериментальных данных, а также промышленной проверкой.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту:

1) Камерная откачка с форсированными и совмещенными режимами вакуумно-термической обработки ЭВП (оболочки, электродов и других элементов), предварительное обезгаживание и герметизация приборов, в горячем состоянии при температуре 500.650°С, пайкой или диффузионной сваркой приводят к сокращению длительности циклов откачки в 1,5.2,0 раза.

2) Расчетные зависимости устанавливают взаимосвязь между проводимостью и величиной зазора и позволяют определить оптимальную величину разнесения частей прибора (H=0,3d.0,5d) и время обезгаживания ЭВП.

3) Расчетные зависимости, учитывающие температуру обезгаживания, величину и время обезгаживания с учетом газовыделения, позволяют определить оптимальную быстроту откачки камеры и выбрать средства откачки.

4) Технологические схемы и приемы (откачка через зазор, образованный гофрированным припоемоткачка через отверстие в корпусе с герметизацией заглушкойоткачка через все сечение прибора с герметизацией заглушкойоткачка через короткий штенгельпредварительное обезгаживание оксидных катодовоптимизация способа технологической подготовки металлических внутриламповых деталей) обеспечивают не только сокращение циклов откачки, а также повышение эмиссионной способности катодов, снижение остаточного давления в приборах, отбраковка (на стадии производства) приборов с «внутренним» газовыделением и увеличение долговечности катода. Научная новизна работы: о На основе научно обоснованного подхода к разработке технологических процессов откачки приборов различных классов (спутниковых ЛБВ, МЛН, ВДК, вакуумных конденсаторов, вакуумных реле) предложены принципиальные и типовые технологические схемы процессов. о Разработаны методики технологических приемов обработки оксидного катода и внутриламповых деталей по форсированным режимам при камерной откачке, обеспечивающие снижение температуры активирования катода, улучшение параметров приборов, сокращение циклов откачки и тренировки. в Обработка оксидных катодов приборов по форсированным режимам при камерной откачке позволяет снизить температуру активирования катодов на 100 °C, что приводит к уменьшению испарения активного вещества и увеличению срока службы катодов. Определены группы приборов с учетом их конструктивных особенностей и требований к выходным параметрам, которые рекомендуются для откачки по разработанным принципиальным схемам. Разработан типовой технологический процесс и режимы герметизации пайкой или диффузионной сваркой при камерной откачке для определенной группы приборов. Разработаны требования и рекомендации к оборудованию для камерной откачки.

Практическая значимость.

Результаты работы могут быть использованы предприятиями электронной промышленности при разработке технологических процессов и оборудования для камерной откачки ЭВП практически всех типов, конструкций и габаритных размеров. Результаты работы при разработке технологических процессов откачки позволяют значительно сократить трудовые затраты, применить форсированные и совмещенные режимы групповой откачки ЭВП, снизить энергоресурсы за счет сокращения длительности циклов откачки и тренировки, улучшить эмиссионные и вакуумные характеристики приборов. Технологии прошли апробацию на ОАО «НПП «Контакт».

Разработаны технологические приемы (предварительное обезгаживание катодов, оптимизация технологии очистки внутриламповых деталей, оптимизация способа герметизации прибора), приводящие к улучшению параметров приборов.

Разработан метод оценки степени обезгаженности прибора при откачке по величине газового потока с учетом постоянной времени обезгаживания, определяемой изменением величины газового потока из прибора на один порядок.

Разработаны рекомендации и режимы герметизации приборов при камерной откачке диффузионной сваркой, обеспечивающие получение прочных, вакуумноплотных соединений и исключающие газовыделение во внутреннюю полость прибора в процессе герметизации.

Установлена взаимосвязь между газовыми потоками из прибора, проводимостями эвакуационных зазоров и вакуумной системы, что приводит к более эффективному использованию вакуумных насосов.

Материалы исследований внедрены в учебный процесс на кафедре «Электронное машиностроение и сварка» Саратовского государственного технического университета в виде лекций и лабораторных работ по дисциплинам «Технология материалов и изделий электронной техники» и «Оборудование производств изделий электронной техники».

Апробация работы. Материалы диссертационной работы доложены и обсуждены на следующих конференциях: конференции молодых ученых машиностроительного факультета СГТУ. I тур (Саратов, 2008) — XXI Международной научной конференции «Математические методы в технике и технологиях» (Саратов, 2008) — IV Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения» (Томск, 2008) — 6-й Всероссийской с международным участием научно-технической конференции «Быстрозакаленные материалы и покрытия» (Москва, 2007) — 7-й Всероссийской с международным участием научно-технической конференции «Быстрозакаленные материалы и покрытия» (Москва, 2008) — Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения» (Саратов, 2008) — IV Российской научно-технической конференции «Вакуумная техника и технология» (Казань, 2009).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 12 работ (2 статьи в журналах, рекомендованных ВАК РФ, 10 статей в научных сборниках).

Личный вклад автора. Личный вклад автора заключается в постановке целей, задач исследований, обработке и обобщении результатов и основных выводов диссертации, разработке методик камерной откачки, оптимизации условий удаления газов из приборов различных типов, разработке оборудования, режимов откачки и герметизации приборов.

Обсуждение полученных теоретических и экспериментальных результатов проводилось совместно с научным руководителем и с соавторами публикаций.

Структура и объем диссертации

Диссертация состоит из введения, 4 глав, заключения, списка использованной литературы, включающего 102 наименования, акта использования результатов в производстве. Работа изложена на 182 страницах, содержит 88 рисунков и 7 таблиц.

Выводы.

Разработанная конструкторская документация обеспечивающая внедрение в производство четырех установок камерной откачки приборов с разнесением частей на расстояние гофрированного припоя:

— универсальная вакуумно-водородная установка для откачки и сборки узлов с электровакуумных приборов;

— полуавтомат камерной откачки малогабаритных электровакуумных приборов;

— установка камерной откачки ЭВП на базе откачного поста J1M-4850;

— высоковакуумная установка с инфракрасным нагревателем для камерной откачки электровакуумных приборов.

Заключение

.

На основании исследований решена актуальная научная задача, заключающаяся в разработке технологического процесса камерной откачки ЭВП с форсированными и совмещенными режимами и герметизацией корпусов диффузионной сваркой с помощью заглушки, приводящего к сокращению длительности откачки, повышению эмиссионной активности катодов, повышению долговечности приборов, снижению энергозатрат и обеспечению высокого процента выхода годных изделий.

1. Установлена зависимость давления в приборе от величины проводимости зазора между его частями в процессе откачки. Получены зависимости для определения оптимальной величины проводимости зазора и величины разнесения частей для обеспечения этой проводимости.

2. Разработана методика определения оптимальной производитель-ности вакуумной системы установок камерной откачки ЭВП, устанавливающая взаимосвязь между потоками газовыделения из прибора и камеры и параметрами вакуумной системы.

3. Разработана структурная схема типового технологического процесса откачки ЭВП, позволяющего применять форсированные и совмещенные режимы вакуумно-термической обработки ЭВП на откачном посту и групповую откачку, а также позволяющего проводить контроль степени обезгаженности ЭВП по величине газового потока из прибора.

4. Исследовано влияние откачки по типовому технологическому процессу на параметры ЭВП. Данный процесс апробирован при откачке ЛБВ средней мощности: цикл откачки сократился в 2 раза, увеличилась плотность тока катода на 10%, увеличилось время 20%-го спада катодного тока и понизилась характеристическая температура катода, что свидетельствует о повышении долговечности катода и прибора в целом.

5. Разработаны технологические приемы, позволяющие улучшить эксплуатационные характеристики электровакуумных приборов и сократить длительность циклов откачки: оптимизация способа предварительной очистки металлических внутриламповых деталей перед сборкой прибора и разработка способа предварительного обезгаживания оксидных катодов.

6. Разработана технология камерной откачки приборов типа МПН с применением гофрированного припоя, что позволило снизить остаточное давление в генератор-оболочках МПН на 1,5.2,0 порядка, повысить плотность анодного тока на 30.35%, сократить длительность цикла откачки в 2 раза, применить форсированные режимы термовакуумной обработки генератор-оболочек и групповую откачку.

7. Разработана конструкторско-технологическая документация на четыре установки для камерной откачки ЭВП.

Показать весь текст

Список литературы

  1. , Н.В. Основы очистки обезгаживания и откачки вакуумной техники /Н. В. Черепнин М.: Советское радио, 1967. — 408 с.
  2. , А.И. Конструирование и расчет вакуумных систем /А.И. Пипко, В. Я. Плисковский, Е. А Пенчко М: «Энергия», 1979. — 504 с.
  3. , Г. А. Основы расчета вакуумных систем /Г.А. Тягунов. М., JI.: Государственное энергетическое издательство, 1948. — 148 с.
  4. Вакуумная техника: Справочник /Е.С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др.- Под общ. ред. Е. С. Фролова. М: Машиностроение, 1992. -480 с.
  5. , С. Научные основы вакуумной техники /С. Дэшман М.: Мир, 1964.-716 с.
  6. А.С. № 234 527 СССР Способ обезгаживания электродов и арматуры электронных и ионных приборов /А. Г. Денисов, В. И. Перфилов, Ю. С. Спиридонов. — опубл. в Б.И. 1969, Бюл. № 4.
  7. А.С. № 263 751 СССР Способы очистки деталей металлокерамических радиоламп /А. П. Краснов. — опубл. в Б.И. 1970, Бюл. № 8.
  8. А.С. № 352 335 СССР Способ очистки электровакуумного прибора в процессе откачки /Ю. С. Спиридонов опубл. в Б.И. 1972, Бюл. № 28.
  9. А.С. № 290 343 СССР Способы обработки электровакуумных и газоразрядных приборов /Э. П. Гель, Ю. С. Спиридонов — опубл. в Б. И. 1970, бюл. № 2.
  10. А.С. № 452 879 СССР Способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов /В. М. Геллер, М. С. Чахнов. — опубл. в Б. И. 1977, Бюл. № 28.
  11. А.С. № 855 784 СССР Способ очистки электродов электровакуумных приборов /А. Я. Фиксис, опубл. в Б. И. 1981, Бюл.№ 30.
  12. А.С. № 511 646 СССР способ обезгаживания элементов электронныхприборов /В.В. Сухомлинов, А. И Шимко, — опубл. в Б. И. 1976, Бюл. № 15.
  13. Электрофизические способы очистки поверхностей деталей в электровакуумном производстве. ЦСНТЭИ, 1975, № 7.
  14. , М.И. Оптимальные режимы применения и эксплуатации электровакуумных приборов /М.И. Ингберман, М. С. Эпштейн — М: Радио и связь, 1985. 134 с.
  15. , А.И. Анализ режимов и методов технологии откачки ЭВП с целью их регламентации /А.И. Волчкевич -М: Проспект, 1978. Вып. 3. 81с.
  16. , К.Н. Разработка и внедрение в производство процесса откачки ЭВП с сокращенной в 2 3 раза длительностью /К.Н. Орлов, Н. И Батурина,
  17. B.Н. Добренченко М: Проспект, 1979. — Вып. 4. — 90с.
  18. , А.Н. Плазменная технология / А.Н. Герасимов- JI: Лениздат, 1980. 152с.
  19. , А.Н. Криодокачка остаточных газов из ЭВП /А.Н. Сытник,
  20. C.И. Переварюха//Электронная техника. 1978. -Сер. 1. № 1. С. 85 — 88.
  21. , Н.А. Системный подход к управлению технологией обезгаживания во время откачки. /Н.А. Решникова //Специальная электроника. «Электроника СВЧ». — 1973. — Серия 1, вып. 12. — С. 97−100.
  22. , К.Н. Разработка и внедрение в серийное производство унифицированного процесса откачки ЭВП с целью сокращения цикла откачки в 2 раза /К.Н. Орлов, Т. Б. Демешкевич, Н. М. Батурина — М: Проспект, 1978. Вып. 3. 82с.
  23. , М.И. Исследование откачного оборудования с целью обеспечения требований откачки ЭВП по сокращенному циклу /М.И. Федоров, Ю. П. Кирносов //Электронная техника 1981. — Сер. 7, № 1. — С. 41−44.
  24. Сорбционные процессы в вакууме /под ред. К. Н. Мызникова 2 изд. -М: Атомиздат, 1986. — 316 с.
  25. , С.А. Изменения термоэлектронной эмиссии оксидного катода и состава его покрытия в процессе длительной работы /С.А. Савостин, И. Л. Тараш, Б. М. Царев //Электронная техника. 1969. — Сер. 1, вып. 4. — С. 1822.
  26. , О.В. Масс-спектрометрическое исследование технологического процесса откачки и тренировки МГЛ /О.В. Преображенский,
  27. B.Г. Петарский, С. В. Брук //Электронная техника. 1973. — Сер. 4, № 5. — С. 111 -116.
  28. , А.П. Исследование остаточных газов в малогабаритных титано-керамических ламп СВЧ диапазона и условий их бесштенгельной откачки: Автореф. канд. дисс. /А.П. Краснов — Томский политехнический ин-т, 1972. 22 с.
  29. , БЛ. Физико-химические процессы, происходящие при откачке и тренировке ламп с оксидным катодом //Электроника. -1958.-№ 12,—1. C.97−101.
  30. Batey Н. Carbon contamination of glassware used for vacuum purposes / vacuum, 1960, 10.-P.263−267.
  31. Haas G.A., Jensen J.T. Preconversion of oxide cathodes / Rev. Sci.Jnstr., 1959, 30, № 7. — P.562−565.
  32. , В. — Электроника в ядерной физике / В. Эльмар, М. Сендс -М.: ИЛ, 1961.-128с.
  33. , Э.С. Теоретическое изучение химии оксидного катода /Риттнер, Э.С. //VI межвузовской науч.-техн. конференции: сб. науч. тр. — М.: МГТУ, 1970.-С. 75−79.
  34. , А.А. Простой метод определения степени термического разложения карбоната бария в вакууме /А.А. Язова //VI межвузовской науч.-техн. конференции: сб. науч. тр. -М.: МГТУ, 1970. — С. 109−112.
  35. , Г. С., Гущин, JI.H. Пути устранения брака подогревателей ППУЛ, вызванного высокочастотным пробоем //Обмен опытом в радиоэлектронной промышленности, 1962, № 8. — С. 44−48.
  36. Dluhy F., Schutze H.J. Emission von oxydkathoden wahrend der aktivierung und brenndauer in electronenrohren / telefimken — Rohre, 1961, H.39. — S.121−124.
  37. Stoll S J. Origin and analisis of gas in electron tubes / Brit. J. Appl. Phys., 1956, vol.7. -P.94−98.
  38. , В.И., Антонов, B.A., Полякова, P.A. О некоторых особенностях камерной откачки приборов с разнесением частей /В.И. Воронин. -М.: ЦНИИ Электроника. Деп. № 2606/74,1974. 12 с.
  39. , Г. С. Взаимное влияние термокатодов и подвергающихся электронной бомбардировке элементов вакуумных приборов /Г.С. Михайлов //Вопросы радиоэлектроники. 1965. Сер. 4. — С.42−44.
  40. , В.И., Кошошков, Г.В., Федоров, М. И. Влияние экранирования катода на запыление электродов и электрические параметры ЭВП при откачке /В.И. Воронин, Г. В. Конюппсов, М. И. Федоров //Электронная техника, сер. Ю, вып.4(95), 1978. С.23−28.
  41. , В.И. К вопросу определения оптимальных условий камерной откачки электровакуумных приборов /В.И. Воронин, В. А. Антонов, Д. С. Дудников //Электронная техника, сер. 7, вып. 1(58), 1974. — С.72−79.
  42. , В.И. Влияние разнесения частей экспериментальных диодов на продолжительность процесса откачки и параметры приборов /В.И. Воронин, В. А. Антонов, А. И. Голованов //Электронная техника. Сер. 10, вып. 7(47), 1971. С.25−30.
  43. , К.Н. Пост камерной откачки крупногабаритных электровакуумных приборов / К. Н. Орлов //Электронная промышленность -1971.- Сер. З, № 1 43 с.
  44. А.А. Совмещенные режимы откачки /А.А. Белоусов
  45. Электроника. 1958. — Сер.4 № 11 — С.28−29.
  46. Р.Е. Исследование процессов, протикающих при вакуумнотермической обработке надежных и долговечных электронных приборов с оксидным катодом: Автореф. канд. дисс. / Р. Е. Кашлатый -Новосибирский политехнический ин-т, 1971. 24 с.
  47. Б.П. Никонов Физико-технические процессы, происходящие во время откачки и тренировке ламп с оксидным катодом //Электроника. 1958. — Сер.2, № 12- С.41−46.
  48. , Б.П. Откачка и тренировка ламп с оксидным катодом /Б.П. Никонов, Б. М. Царев //НИИ, MPTTI, Вып. З (б), 1961.
  49. , Н.А. Масс-спектрическое изучение режимов откачки /Н.А. Калябина //Электроника. 1958. — Сер.2, № 12- С.47−51.
  50. , В.А. Влияние выбора агрегата откачки на формирование характеристик катода электровакуумного прибора /В.А. Антонов, Ю. Н. Шанин //Электронная техника. 1969.- Сер. 10, вып. 5(44) — С.34−36.
  51. , М.И. Некоторые особенности процесса откачки СВЧ — приборов на постах с агрегатами ЭРА и системами на паромасляных насосах с угольными ловушками /М.И. Федоров, В. А. Антонов //Электронная техника. -1969. Сер. 10, вып. 5(44), 1969. — С.36−37.
  52. .Д. Высоковакуумные откачные устройства /Б.Д. Пауэр М: Энергия, 1980. — 324 с.
  53. , JI.H. Вакуумная техника /JI.H. Розанов. М: Высшая школа, 2007.-391 с.
  54. , Г. В. Исследование, разработка технологии и оборудования для диффузионного соединения узлов электровакуумных приборов при бесштенгельной откачке: Автореф. канд. дисс. /Г.В.Конюшков -М., 1963. 24 с.
  55. , А.И. Влияние откачной системы на процесс обезгаживания материалов. /А.И. Волчкевич — Тезисы Ш Всесоюзнойконференции по физике и технике высокого вакуума. Л: Проспект, 1971. -С. 13.
  56. , С.В. Исследования газоотделения вакуумноплотных сварных шов /С.В. Ворнаков, Г. Ф. Ивановский //Обмен опытом в электронной промышленности. 1969.- Вып. 7 — С. 43.
  57. , Ж.П. Использование испытательного диода для контроля очистки деталей электронных ламп //В кн. Очистка деталей электронных приборов. /Ж.П. Фрайтаг- пер. с англ. под ред. Б. Д. Лудт и А. Л. Шустиной М: Энергия, 1964. — С. 191−211.
  58. , О.В. Электронное машиностроение /О.В. Сорокин // Энергия. 1967. — Вып.З. -347 с.
  59. , А.Е., Кацман, Я.А., Птицын, С.В., Иориш, А. Е. Основы технологии производства электровакуумных приборов /А.Е. Иориш и др. М: Энергия, 1971. -312 с.
  60. , Г. С. Взаимное влияние термокатодов и подвергающихся электронной бомбардировке элементов вакуумных приборов /Г.С. Михайлов //Вопросы радиоэлектроники. Сер. IV. Технология, производство, оборудование. 1965. -№ 5. — С. 25−28.
  61. , К., Имаи, Т. Падение эмиссии, обусловленное разряженным катодом /К. Амакасу, Т. Имаи- пер с англ., под ред. Р. А. Шульмана //Сб. тр. Эффективные термокатоды. 1969. — Вып. 1 С. 43.
  62. К. Падение эмиссии оксидных катодов/К. Амакасу- пер с англ., под ред. Царева Б. М. //Сб. тр. Оксидный катод. 1957. Вып. 1 — С. 23.
  63. , В.А. К вопросу о природе спадов эмиссионной активности оксидного катода в начальный период токоотбора /В.А. Анякин //Электронная техника.- 1967.- Сер. 5, вып. 1. С. 34.
  64. В.А. Изменение свойств оксидного катода при отборе тока в непрерывном режиме /В.А. Анякин //Электронная техника.- 1967.- Сер. 5, вып. 1.-С.38.
  65. , Б.П., Смирнов В. А. Эмиссионные свойства оксидных катодов в импульсных и непрерывном режимах /Б.П. Никонов //Вопросы радиоэлектроники. 1961. -Сер. 1, вып. 3. — С. 42.
  66. , Г. Изменение эмиссии в дежурном режиме. — Сб. «Остаточные газы в электронных лампах», — М: Энергия, 1967. 212 с.
  67. , С.А. Изменения термоэлектронной эмиссии оксидного катода и состава его покрытия в процессе длительной работы /С.А.Савостин, И. Л. Тараш, Б. М. Царев //Электронная техника. 1969. — Сер. 1, вып. 4. — С. 1822.
  68. , Р.Х. Явления электрического переноса в оксидном катоде. Перевод № 53−68, ЗПУЛ, БТИ, г. Саратов.
  69. , Н.Д. Применение масс-спектрометра к исследованию процесса активизации оксидного катода /Н.Д. Моргулис, Г. Я. Пикус //Изв. АНСССР, т. ХХ, № 10, 1085.
  70. .Я. Физические процессы в оксидном катоде /Б.Я. Мойжес — М: Наука, 1968. 125с.
  71. , Г. А. Термоэлектронные катоды ГГ.А. Кудинцев, А. И. Мельников — М: Энергия, 1966. 207с.
  72. , В.И. Некоторые вопросы герметизации электровакуум-ных приборов при откачке из разнесенных частей /В.И. Воронин, В. А. Антонов,
  73. B.В. Заветный //Технология электровакуумного производства. -1969. № 8(15).1. C. 10−17.
  74. А.П. Изучение пропускной способности зазоров титано-керамических ламп в процессе откачки /А.П. Краснов, В. Д. Стрельников //Электронная техника. 1967. — Сер. 5, вып. 3. — С. 38−42.
  75. С.П. Изучение бесштенгельной откачки металл окерамических приборов /С.П. Жолобов, В. Д. Саратовкин //Электронная техника. 1966. — Сер. 5, вып. 1. — С. 13−17.
  76. Краснов А.П. О влиянии режимов вакуумной откачки на качество
  77. ЭВП с оболочкой из титана и керамики /А.П. Краснов, Г. Я. Антипов //Тезисы 1П Всесоюз. конф. — Л.: 1971. — С. 13.
  78. Joshiniro Tachihara, Tokaya Yata and Masagasi Koitabashi. Influence of Exhaustions Process on Oxide Cathode. I. Appl. Plys, Japan, 1961, v. 30, № 5, p. 366.
  79. , А.П. Исследование остаточных газов в малогабаритных титано-керамических лампах СВЧ-диапазона и условия их бесштенгельной откачки: Автореф. канд. дисс. /А.П. Краснов — Томский политехнический ин-т, 1972. 22 с.
  80. , Я. В. Модульный принцип разработки технологических процессов откачки ЭВП /Я.В. Перевозникова //Молодые ученые — науке и производству: материалы конф. молодых ученых. Саратов: СГТУ, 2008. С. 166−168.
  81. С.Ф. К вопросу об откачке электровакуумного прибора из разнесенных частей /С.Ф. Будников, В. А. Антонов, Б. П. Чесноков, А. Н. Любименко //Электронная техника. 1971. — Сер. 10, вып. 3 (43). — С. 18−22.
  82. , Г. В. Специальные методы сварки давлением. Учебное пособие /Г.В. Конюшков, Р. А. Мусин Саратов: Ай Пи Эр Медиа, 2009. — 632 с.
  83. , Н.Ф. Эффективность диффузионного соединения узлов электровакуумных приборов //Н.Ф.Казаков, Г. В. Кошошков, В. И. Ерекин, М. И. Федоров, //Электронная техника. 1968. — Сер. 10, вып. 1. — С. 25−29.
  84. , Г. В. Исследование, разработка технологии диффузионного соединения деталей ЭВП при бесштенгельной откачке Г.В.Конюшков, Н. Ф. Казаков, В. И. Ерекин, М. И. Федоров М.: Металлургия, 1970.-321с.
  85. , Я.В. Откачка электровакуумных приборов черезкороткий штенгель /В.И.Воронин, Я. В. Перевозникова //Вестник Саратовского государственного технического университета. 2009. — № 2(38). Вып. 1.-С. 159−163.
  86. , Я.В. Термическая обработка оксидных покрытий катодов /В.И. Воронин, Г. В. Конюшков, Я. В. Перевозникова //Быстрозакаленные материалы и покрытия: труды 6-й Всерос. с междунар. участием науч.-техн. конф. М.: МАТИ, 2007. — С. 108−114.
  87. Baty Н. Carbon contamination of glassware used for vacuum purposes/Vacuum, I960. Vol. 10. № ½. P. 263.
  88. H.B. Сорбционные явления в вакуумной технике /Н.В. Черепнин. М.: Сов. Радио, 1973. — 384с.
  89. , Я.В. Восстановление оксидных пленок на поверхностях металлических деталей /В.И. Воронин, Я. В. Перевозникова //Быстрозакаленные материалы и покрытия: труды 6-й Всерос. с междунар. участием науч.-техн. конф. -М.: МАТИ, 2007. С. 315−320.
  90. , Н.А. Выбор длительности откачки на этапах обезгаживания ЭВП /Н.А. Решникова, Молчанова Г. В. //Электронная техника. -1971. Сер. 10, вып. 8 (48). — С.45−49.
  91. , АЛ. Оценка качества оксидного катода по спаду тока в течение длительности импульса /АЛ. Цехонский //Электронная техника. — 1978. Сер. 1, вып. 1. — С. 46−49.
  92. , Л.И. Электронное машиностроение : учеб. пособие /Л.И. Волчкевич и др. М: Изд-во МГТУ, 1989. — 128 с.
  93. , Я.В. Камерно-штенгельная откачка вакуумных конденсаторов /В.И.Воронин, Г. В. Конюшков, Я. В. Перевозникова // Вестник Саратовского государственного технического университета. 2008. — № 2(32). Вып. 1.-С. 131−136.
  94. , В. А. Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов. М.: Высшая школа, 1980. — 368 с.
  95. , А. И. Кинетика обезгаживания материалов в вакууме ДЭ-712.-М.: ЦНИИ «Электроника», 1973.— 15 с.
  96. , В.А. Об эффективности безштенгельной электро-вакуумных приборов /В.А. Антонов, Н. К. Варнаков, Г. В. Конюшков //Вопросы радиоэлектротехники. 1966. — Сер. 4, вып. 1. — С. 25−29.
  97. , И.Н., Михайлов В. М., Сидоров Н. И. Электрический пробой и разряд в вакууме /И.Н. Сливков, В. М. Михайлов, Н. И. Сидоров М.: Высшая школа, 1966. — С.109−111.
  98. , М.Н. Бесштенгельная откачка генераторных и модуляторных приборов средней мощности /М.Н. Печатников, Г. А. Востров //Электронная техника. 1970. — Сер. 16. № 1. -45с.
  99. , М.И. Электротермические характеристики ламповых нагревателей для вакуумной печи и установки камерной откачкималогабаритных ЭВП /М.И. Медников, И. В. Муленков //Электронная техника. 1982. — Сер.7, вып.6. — С.61−64.
  100. , Я.В. Высоковакуумная установка с инфракрасным нагревом /В.И. Воронин, Г. В. Конюшков, Я. В. Перевозникова //Современные проблемы машиностроения: сб. трудов IV Междунар. науч. конф. Томск: ТГУ, 2008 — С. 355−358.
Заполнить форму текущей работой

На отлично!