Получение алкилсиланов высокой чистоты
Композиционные материалы с карбидокремниевой матрицей, полученные из алкилсиланов, перспективны для использования в теплонагруженных узлах изделий ракетно-космической техники (насадков радиационного охлаждения, неохлаждаемых сопловых насадков, камер сгорания ЖРД и т. д.). Для всех вышеперечисленных направлений поставленные задачи успешно решаются получением соответствующих изделий или покрытий… Читать ещё >
Содержание
- 1. ВВЕДЕНИЕ
- 2. Литературный обзор
- 2. 1. Свойства алкилсиланов
- 2. 2. Способы получения алкилсиланов
- 2. 2. 1. Получение алкилсиланов взаимодействием металлоорганических соединений с алкилхлорсиланами
- 2. 2. 2. Получение алкилсиланов взаимодействием гидридов металлов с алкилхлорсиланами
- 2. 2. 3. Получение алкилсиланов каталитическим диспропорционированием соединений, содержащих алкилгидридсилановый фрагмент
- 2. 2. 4. Получение алкилсиланов гидрированием алкилхлорсиланов и тетраалкилсиланов
- 2. 2. 5. Сравнительный анализ способов получения алкилсиланов
- 2. 3. Применяемые в кремнийорганическом синтезе гидриды металлов для замещения атомов галогена на водород
- 2. 4. Строение и свойства алюмогидрида лития в кристаллическом состоянии и растворах
- 2. 5. Представления о механизме реакций восстановления алюмогидридом лития
- 2. 6. Растворители, применяемые в качестве среды для получения алкилсиланов через алюмогидрид лития
- 2. 7. Характер превращений хлорида алюминия, образующегося при взаимодействии алкилхлорсилана и алюмогидрида лития
- 2. 8. Методы очистки гидридных соединений кремния
- 3. Основная часть
- 3. 1. Выбор оптимального способа получения алкилсиланов
- 3. 2. Исследование растворимости хлорида алюминия в н-дибутиловом эфире
- 3. 3. Исследование взаимодействия хлорида алюминия с н-дибутиловым эфиром в растворах
- 3. 4. Исследование раствора хлорида алюминия в н-дибутиловом эфире методом ЯМР-27А1 спектроскопии
- 3. 5. Изучение реакции метилдихлорсилана с алюмогидридом лития
- 3. 6. Изучение процесса получения алкилсиланов из алкилхлорсиланов и алюмогидрида лития в н-дибутиловом эфире
- 3. 6. 1. Изучение процесса получения алкилсиланов из алкилхлорсиланов и гидрида лития в н-дибутиловом и трет-бутилметиловом эфирах
- 3. 7. Очистка алкилсиланов
- 3. 7. 1. Изучение процесса ректификации алкилсиланов
- 3. 7. 2. Изучение дополнительного взаимодействия алкилсиланов с раствором алюмогидрида лития
- 3. 7. 3. Изучение очистки алкилсиланов методом адсорбции
- 3. 7. 4. Сравнение способов очистки алкилсиланов
- 3. 8. Получение н-дибутилового эфира
- 3. 9. Создание опытной установки получения метилсилана
- 3. 9. 1. Описание технологических стадий процесса получения метилсилана
- 3. 9. 2. Защита окружающей среды
- 4. 1. Исходные вещества
- 4. 2. Методы физико-химического анализа
- 4. 3. Получение растворов хлорида алюминия в н-дибутиловом эфире
- 4. 4. Определение кинетических параметров образования бутилхлорида и бутанола в растворах хлорида алюминия в ДБЭ
- 4. 5. Расчет термодинамических параметров соединений
- 4. 6. Получение ДБЭ
- 4. 7. Получение алкилсиланов
- 4. 8. Очистка алкилсиланов
Получение алкилсиланов высокой чистоты (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Технический прогресс в значительной степени зависит от использования новых материалов и технологий. Поэтому в последнее время в промышленно развитых странах стали уделять все больше внимания композиционным материалам, получаемым из алкилсиланов: кремнийкарбидной высокотемпературной керамике, SiC покрытиям, C-SiC композитам различных модификаций. Такие материалы находят применение в космической, атомной, авиационной, электронной промышленности и точном машиностроении [1].
Алкилсиланы, по сравнению с алкилгалогенсиланами, дают возможность получения не содержащих галогена чистых SiC материалов, не загрязняют атмосферу галогенсодержащими выбросами при получении карбида кремния и композитов на его основе, позволяют использовать оборудование из обычных не коррозионностойких материалов при работе с ними и при их термическом разложении. Кроме того, алкилсиланы устойчивы даже в атмосфере влажного воздуха, не взаимодействуют с водой и существенно менее токсичны.
Композиционные материалы с карбидокремниевой матрицей, полученные из алкилсиланов, перспективны для использования в теплонагруженных узлах изделий ракетно-космической техники (насадков радиационного охлаждения, неохлаждаемых сопловых насадков, камер сгорания ЖРД и т. д.).
Ряд разработанных покрытий на основе SiC, полученного разложением высокочистого метилсилана, использован в США для покрытия карбидом кремния сопловых блоков и разгонных блоков космических аппаратов.
Материалы, полученные из алкилсиланов газофазным осаждением, отличаются превосходными свойствами при использовании в качестве высокотемпературных резисторов в электронных схемах и как материалов оптических устройств [2]. Благодаря высокой термостойкости эти материалы находят применение в микроэлектронных и микроэлектромеханических высокочастотных устройствах, например радарах [3].
Из метальных производных силанов путем плазмо-обменного (PECVD) или озон-совмещенного химического разложения паров также получают содержащие водород оксикремнийкарбидные пленки (H:SiOC) с низкой диэлектрической постоянной. Такие пленки находят применение в производстве полупроводниковых устройств и имеют диэлектрическую постоянную, равную 3,6 или менее [4].
Проводятся всесторонние исследования применения алкилсиланов в многочисленных направлениях науки и техники, например для низкотемпературного эпитаксиального покрытия кубическим карбидом кремния субмикронных изделий [5], а также нанесения тонких фоточувствительных пленок [6−8], изучения пленок C-SiC методом электронного циклотронного резонанса [9], нанесения диэлектрических покрытий [10] и так далее [11−13].
Для всех вышеперечисленных направлений поставленные задачи успешно решаются получением соответствующих изделий или покрытий из чистого карбида кремния путем пиролитического разложения алкилсиланов высокой чистоты (содержание основного вещества на уровне 99,9%).
Таким образом, алкилсиланы являются перспективными химическими материалами, необходимыми для создания высококачественных карбидокремниевых керамических материалов и покрытий с высокими показателями по окислительной и коррозионной стойкости, сохраняющими эксплуатационные свойства при высоких температурах в течение длительного времени.
Алкилсиланы зарубежного производства очень дороги. Стоимость чистых метилсиланов производства корпорации «Dow Corning» США находится на уровне 4000 долларов за 1 кг. В США эти продукты производятся только для нужд космической промышленности и микроэлектроники. В Европе технология этих соединений не освоена и их промышленный выпуск отсутствует.
Целью настоящей работы является разработка способов получения, технологии и создание производства коммерчески востребованных алкилсиланов высокой чистоты для обеспечения ракетно-космической, авиационной и электронной отраслей материалами, используемыми при получении высокотемпературных коррозионностойких композитов и покрытий.
2. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
Литературный обзор в соответствии с поставленной задачей охватывает работы, наиболее важные с точки зрения практического применения и не претендует на абсолютную полноту освещения этого направления работ.
5. ВЫВОДЫ.
1. Изучен процесс получения алкилсиланов из алкилхлорсиланов и алюмогидрида лития в н-дибутиловом эфире, определены оптимальные параметры реакции, позволяющие достичь высокой чистоты и практически количественного выхода целевого продукта.
2. Разработана высокоэффективная технология получения алкилсиланов высокой чистоты взаимодействием алюмогидрида лития с алкилхлорсиланами в среде н-дибутилового эфира.
3. Изучены процессы очистки алкилсиланов и показано, что ректификация является наиболее удобным, эффективным и универсальным способом удаления примесей из алкилсиланов.
4. Разработана технология переработки отходов синтеза алкилсиланов.
5. По результатам лабораторных исследований разработана и создана опытная установка получения метилсилана производительностью до 500 кг/год.
6. Отработан метод синтеза, определены оптимальные параметры и создана установка получения чистого н-дибутилового эфира, пригодного для использования в синтезе алкилсиланов.
7. Методом ЯМР-27А1 спектроскопии исследованы растворы хлорида алюминия в ДБЭ и подтверждены представления об образовании эфиратов различной стехиометрии и строения, включая комплексные соли.
8. Установлены кинетические параметры образования бутилхлорида и н-бутанола в растворах хлорида алюминия в н-дибутиловом эфире.
9. Обеспечена поставка чистого метилсилана потребителям для изготовления композиционных материалов типа C-SiC. Получено заключение о полном соответствии качества метилсилана требованиям ОАО «Композит» для его использования по целевому назначению.
Список литературы
- Bunshah et al. Deposition Technologies for Films and Coatings, Developments and Applications. Noyes Publications, 1982, p. 339−367
- Пат. 5,635,338 (США) МПК G03 °F 007/00. Energy sensitive materials and methods for their use / Joshi et al. 1997 (http//www.uspto.gov)
- Moriyama M. et al. Thermal Stability of SiNxCy Films Prepared by Plasma CVD // J. Cer. Soc. Jpn., 1993, № 101, p. 757−763
- Пат. 6,159,871 (США) МПК H01L 021/31. Method for producing hydrogenated silicon oxycarbide films having low dielectric constant / Loboda et al. 2000 (http//www.uspto.gov)
- Sung-Jae, Gyu-Chul. Low-Temperature Epitaxial Growth of Cubic Silicon Carbide on Si (100) for Submicron-Pattern Fabrication // Jpn. J. Appl. Phys., 2001, v.40, № 3A, p. 1379−1383
- Horn. Plasma-deposited Organosilicon Thin Films as Dry Resists for Deep Ultraviolet Lithography // J. Vac. Sci. Technol., 1990, v.8, № 6, p. 1493−1496.
- Monget С. и др. Plasma Polymerized Methylsilane. I: Characterization of Thin Photosensitive Films for Advanced Lithography Applications //J. Vac. Sci. Technol., 2000, v.18, № 5, p. 2534−2537
- Monget С. и др. Plasma polymerized methylsilane. II. Performance for 248 nm lithography // J. Vac. Sci. Technol., 2000, v. l8, № 2, p.785−787
- Matsutani T. et al. Deposition of 3C-SiC films using ECR plasma of methylsilane //Vacuum, 2000, № 59, p. 152−158
- Пат. 6,455,417 (США) МПК H01L 021/476.3. Method for forming damascene structure employing bi-layer carbon doped silicon nitride/carbon doped silicon oxide etch stop layer / Bao et al. 2002 (http//www.uspto.gov)
- Wu Q., Gleason K. Plasma-enhanced chemical vapor deposition of low-k dielectric films using methylsilane, dimethylsilane, and trimethylsilane precursors //J. Vac. Sci. Technol., 2003, v.21, № 2, p.388−393
- Wrobel A.M. Et al. Reactivity of Alkylsilanes and Alkylcarbosilanes in Atomic Hydrogen-Induced Chemical Vapor Deposition // J. Electrochem. Soc., 1998, v.145, № 3, p. 1060−1065.
- Hugh O. Handbook of Chemical Vapor Deposition (CVD): principles, technology, and applications. Pierson, 1992, p. 208−209.
- A.Stock, C.Somieski. // Siliciumwasserstoffe: VI Chlorierung und Methylierung des Monosilans., 1919, v.52, № 2, p.695
- McGregor R. Silicones and their uses. New York, Toronto, London, McGraw-Hill Book Company, 1964, p.386
- Пат. 2 155 189 (РФ) МПК 7C07 F7/08. Способ получения алкилсиланов/ Н. Н. Корнеев, Е. П. Белов, Н. Н. Говоров и др. -1999
- Пат. 4,810,482 (США) МПК С01 В 033/04. Process for producing silanes/ Iwao-1989 (http//www.uspto.gov)
- Finholt A. E, Bond A.C., Wilzbach K.E., Schlesinger H. I // J.Amer.Chem.Soc., 1947, v. 69, № 11, p.2693−2696
- Shade R.W., Cooper G.D. Vapor pressure of methylsilane //J.Phys.Chem., 1958, v.62, № 11 p.1467−1468
- Kang J.K., Lee J.Y., Muller R.P., et al. Hydrogen storage in LIA1H4: Predictions of the crystal structures and reactions mechanisms of intermediate phases from quantum mechanics. // J. Chem. Phys., 2004, v. 121, № 21, p. 10 623−10 633
- Петров А.Д., Пономаренко B.A., Бойков В. И. Известия АН СССР, ОХН, 1954, № 3, с.497
- А.С. 193 511 (СССР) МПК C07 °F 007/08. Способ получения кремнийводородсодержащих соединений./Л.М.Антипин, С. И. Клещевникова, В.Ф.Миронов-1967
- Пат. 4,985,580 (США) МПК. Alkylation of silanes / Chadwick et al. 1991 (http//www.uspto.gov)
- Zichy E.L.The catalytic alkaline cleavage of partially substituted methylsiloxanes // J.Organometal.Chem., 1965, v. 4, № 5, p. 411−412
- Пат. 4,870,200 (США) МПК C07 °F 007/08 Process for preparing disproportionation products of dichloromethylsilane in the presence of a catalyst. / Ottlinger et al. 1989 (http//www.uspto.gov)
- Xin S. и др. Redistribution reactions of alkoxy- and siloxysilanes, catalyzed by dimethyltitanocene // Can.J.Chem., 1990,68, № 3, p.471−476
- Пат. 2 162 854 (РФ) МПК C07 °F 007/08 Способ получения метилсилана / Н. Н. Лебедев, С. И. Клещевникова и др.-2002
- Пат. 2,406,605 (США) Hydrogenation of halogenosilanes / D.T. Hurd -1946 (http//www.uspto .go v)
- Андрианов K.A. Методы элементоорганической химии.- Москва, Наука, 1968 с.699
- Жигач А.Ф., Стасиневич Д. С. Химия гидридов.- Ленинград, Химия, 1969 с.676
- Ziegler К., Gellert H.-G. XVII. Reaktionen zwischen Lithium-alkylen und Athern //Justus Liebigs Annalen der Chemie, 1950, 567, № 1, p. 185−195
- Brown H.C., Subba Rao В. C. New Powerful Reducing Agent-Sodium Borohydride in the Presence of Aluminum Chloride and Other Polyvalent Metal Halides. //J. Am. Chem. Soc., 1956, v. 78, № 11, p. 2582−2588
- Хайош А. Комплексные гидриды в органической химии.- Москва, Химия, 1971 с. 624
- Корнеев Н.Н. Химия и технология алюминийорганических соединений.-Москва, Химия, 1979 с.255
- Der VanKerk G. J. M., Noltes J. G. Investigations on organo-tin compounds. XII. The action of lithium aluminium hydride and grignard reagents on organo-tin nitriles and esters // J. Appl. Chem., 1959, № 9, p. l 13
- Lowik O.M., Susanne M. Crystal structure and thermodynamic satbility of the lithium alanates LiAl^and Li3AlH6 // Phys. Rew., 2004, v. 69, № 13, p. 417
- Bailet W.J., Marktscheffel F. Cleavage of Tetrahydrofiiran during Reductions with Lithium Aluminum Hydride. //J. Org. Chem., 1960, v.25, № 10, p. 1797 -1800
- Гейлорд H. Восстановление комплексными гидридами металлов, — Москва, ИЛ, 1959 с.912
- Hauback B.C., Brinks H.W., Fjellvag H. // J. Alloys Compd., 2002, № 346, p. 184
- Алпатова H.M., Гавриленко B.B, Кесслер Ю. М., Осипов О. Р. Маслин Д.Н. Комплексы металлорганических гидридных и галоидных соединений алюминия.- Москва, Наука, 1970 с.296
- Sklar N., Post В. // Inorg. Chem., 1967, № 6, р.669
- Michovi V. М., Mihailovi М. L. Lithium-Aluminium-Hydride in Organic Chemistry // Angewandte Chemie, 1955, v. 68, № 2, p.79−83
- Woodward L. A., Roberts H. L. Raman spectrum of phosphonium iodide. Relation between bond-stretching force constant and bond length in isoelectronic species of type XH4// Trans. Faraday Soc., 1956, № 52, p.1458
- Адикс Т.Г., Гавриленко B.B., Захаркин Л. И., Игнатьева Л. А. // Прикладная спектроскопия, 1967, № 6, с.806−809
- D’OrL., Fuger J. //Bull. Soc. Roy. Sci. Liege, 1956, № 25, p. 14−17
- Wiberg E., Noth H., Uson R. // Z. Naturforsch, 1956, № 11, b, p.486−488
- Roszinski H" Dautel R., Zeil W. // Z. Phys. Chem., 1963,36, p.29−30
- Dautel R., Zeil W. // Z. Electrochem, 1960, 64, p. 1234−1237
- Hoffman E., Schomburg G. //Z. Electrochem, 1957,61, p. 101−103
- E.Lippincott // J. Chem. Phys., 1949,17, p.1351
- Chen J., KuriyamaN., Xu Q. // J. Phys. Chem. B, 2001, № 105, p. 1214−1216
- PaddokN. //Nature, 1951, № 167, p.1070−1073
- Wiberg E., Graf H., Shmidt M., Uson R. // Z. Naturforsch, 1952, № 76, b, p.578
- Химическая энциклопедия. -Москва, Советская энциклопедия, 1990, т.2, с.1206
- Chattoray S., Hollinsworth C., McDanielD., Smith G. // J. Inorg. Nucl. Chem., 1962, № 24, p.101−103
- Clasen H. Alanat-Synthese aus den Elementen und ihre Bedeutung // Angew. Chem., 1961, v.73, № 10, p.322−324
- Blanchard D., BrinksH.W., Hauback B.C., et al. Isothermal decomposition of LiAlD4 with and without additives. // Journal of Alloys and Compounds, 2005, v.404−406, p. 743−747
- Andrei C.M., Walmsley J., Blanchard D., et al. Electron microscopy studies of lithium aluminium hydrides //J. of Alloys and Compounds, 2005, v. 395, № 1−2, p. 307−312
- Senoh H., Kiobayashi Т., Tatsumi K., et al. Electrochemical reaction of lithium alanate dissolved in diethyl ether and tetrahydrofuran. //Journal of Power Sources, 2007, v. 164, № l, p. 94−99
- Guild L., Hollinsworth C., McDaniel D., et al. // Inorg. Chem., 1962, v. l, p.921−923
- Hollinsworth C., Podder S., Smalley E. // Inorg. Chem., 1964, v.3, p.222−225
- Турова Н.Я., Кедрова H.C. // ЖНХ, 1964, т.9, вып. З, с.905−908
- Luter Н. //J.prakt. Chem., 1957, v.5, № 1, р.242−245
- Evans G.G., Gibb T.R., Kennedy K.J., et al. Solutions of Aluminum Chloride in Ethers //J. Am. Chem. Soc., 1954, v. 76, № 19, p. 4861−4862
- Smith G.F., Hamilton F. J. Etherate formation in organoaluminum compounds. Complex-formation tendency in a series of trialkylaluminum, dialkylaluminum chloride, alkylaluminum dichloride, and aluminum chloride aryl etherates //
- J. Phys. Chem., 1968, v. 72, № 10, p. 3567−3572
- Bercaw J.R., Garrett A.B. Some Complexes of Oxygen Bases with Aluminum Chloride in Benzene // J. Am. Chem. Soc., 1956, v. 78,№ 9, p. 1841−1843
- Wertiporohch E. // Z. Naturforsch, 1931, v.64, B, p. 1369−1374
- Nystrom R., Brown W. Reduction of Organic Compounds by Lithium Aluminum Hydride. I. Aldehydes, Ketones, Esters, Acid Chlorides and Acid Anhydrides // J.Amer.Chem.Soc., 1947, v.69, № 5, p. 1197−1199
- Wiberg E., Graf H., Uson R. // Z. anorg. Allgem. Chem., 1953, v.272, p.221−224
- McLure J., Smith T. // J. Inorg. Nucl. Chem., 1961, v. 19, № 1, p. 170−173
- Лукевиц Э.Я., Воронков М. Г. Гидросилилирование, гидрогермилирование и гидростаннилирование.-Рига, АН Латвийской ССР, 1964 с.278
- Yoshio М., Ishibashi N., Waki Н., et al. Nature of the mixed hydrides between aluminium chloride and lithium aluminium hydride in anhydrous tetrahydrofuran.//J. Inorg. Nuclear Chem., 1972, v. 34, № 8, p. 2439−2448
- Ashby E., Prather J. The Composition of «Mixed Hydride» Reagents. A Study of the Schlesinger Reaction //J.Amer.Chem.Soc., 1966, v.88, № 4, p.729−733
- Evans G.G., Kevin Kennedy K.J., Del Greco F.P. Conductimetric study of the reactions between metal halides and lithium aluminium hydride—aluminium chloride. // J. Inorg. Nuclear Chem., 1957, v. 4, № 1, p. 40−47
- Физико-химический анализ в неорганическом синтезе.-Москва, Наука, 1975 с.392
- Михеева В.И. О взаимодействии гидридоалюмината лития с хлористым алюминием в среде эфира // Ж.Н.Х., 1966, т. 9, вып.9, с. 2006−2008
- Дымова Т. Н. Некоторые аспекты развития химии гидрида алюминия и гидроалюминатов щелочныхи щелочноземельных металлов
- Координационная химия, 1997, т.23, № 6, с. 410−414
- MacKenzie К., Smith М. Multinuclear Solid-State NMR of Inorganic Materials.-NY, Pergamon, 2002p.234
- Эмсли Д., Финей Д., Сатклиф Л. Спектроскопия ядерного магнитного резонанса высокого разрешения.- Москва, Мир, 1969, т.2, с.398
- Haraguchi Н., Fujiwara S. Aluminium complexes in solutions as stydied by aluminium-27 // J.Phys.Chem, 1969,73, № 10, p.3467−3473
- Webb G. // Annual Reports on NMR Spectroscopy, 1979, 9, p. 171
- Cerny Z., Machacek J. 27Al NMR studies of the hydrolysis of aluminium(III) chloride in non-aqueous media // Inorganica Chimia Acta, 2000, № 300−302, p.556−564
- Lefebvre M.C., Conway В. E. 27AI NMR spectroscopy studies on speciation of Al complex ions in AlCl3+LiAlH4 solutions in tetrahydrofuran for electroplatingof Al // J. Electroanalytical Chem., 1998, v. 448, № 2, p. 217−227
- Wehrli F.W., Wehrli S. Solution complexes of the aluminum halides inacetonitrile and acetonitrile-water studied by high-field 27AI NMR. // J. Magnetic Resonance, 1981, v. 44, № 1, p. 197−207
- Gray J., Maciel G. Aluminum-27 nuclear magnetic resonance study of the room-temperature melt aluminum trichloride butylpyridinium chloride // J. Am. Chem. Soc., 1981, v. 103, № 24, p. 7147 7151
- Z.Cerny, J. Machacek, et al // J. Am. Chem. Soc., 1998, v. 5, № 9, p.1439−1444
- Hinton J. NMR and the Periodic Table. London, Academic Press, — 1978 p.534
- Benn R., Rufinska A. High-Resolution Metal NMR Spectroscopy of Organometallic Compounds New Analytical Methods (30).// Angew.Chem., 1986, v. 25, № 10, p.861−867
- Benn R. 27Al-NMR-Spektroskopie zur Charakterisierung von Organoaluminium-Verbindungen //J. Organomet. Chem., 1987, v.333, № 2, p.155−16 890.0'Reilly D. //J.Chem. Phys., 1960, v.32, № 8, p.1007−1010
- Masion A., Thomas F., Bottero J., et al. Formation of amorphous precipitates from aluminum-organic ligands solutions: macroscopic and molecular study //
- J. Non-Crystalline Solids, 1994, v.171, № 2, p. 191−200
- Wilkes J.S., Hussey C.L., Sanders J.R. NMR chemical shift studies of ion association in aluminum halide-organic halide melts //Polyhedron, 1986, v. 5, № 10, p. 1567−1571
- Akitt J. Multinuclear NMR.- NY, Plenum Press, 1987 p.167
- Степин Б.Д., Горштейн И. Г., Блюм Г. Э. и др. Методы получения особо чистых неорганических веществ.-Ленинград, Химия, 1969 с. 127
- Wheeler О.Н., Mateos J.L. Stereochemistry of reduction of ketones by complex metal hydrides // Can. J. Chem., 1958, v. 36, № 10, p. 1431−1435
- Speier J.L., Zimmerman R., Webster J. The Addition of Silicon Hydrides to Olefinic Double Bonds //J. Am. Chem. Soc., 1956, v.78, № 10, p. 2278−2281
- Бартон Д., Оллис В. Общая органическая химия / перевод с англ. под ред. В. Г. Леви и др.- Москва, Химия, 1984 т.6, с.544
- Corriu R., Henner М. The siliconium ion question // J.Organomet.Chem., 1974, v.74, № 1, p.1−28
- Девятых Г., Зорин А. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. -М., Наука 1974
- Балабанов В.В., Воротынцев В. М. Физико-химические основы глубокой очистки летучих неорганических гидридов методом ректификации при повышенных давлениях. // Высокочистые вещества, 1990, № 6, С.60 1990
- Пат. 2,882,243 (США) МПК B01J 20/18Molecular sieve adsorbents / Milton et al. -1959 (http//www.uspto.gov)
- Пат. 6,143,057 (США) МПК B01J 20/18 Adsorbents and adsorptive separation process / Bulow et al. 2000 (http//www.uspto.gov)
- Whitmore F. C., Pietrusza E. W., Sommer L. H. Hydrogen-Halogen Exchange Reactions of Triethylsilane. A New Rearrangement of Neopentyl Chloride //
- J. Am. Chem. Soc., 1947, v.69, № 9, p. 2108 2110
- Пат. 50−39 649 (Япония) МПК C07 °F 07/08 / F. Motomya -1975
- Пат. 4,774,347 (США) МПК C07 °F 07/08 Removal of chlorinated hydrocarbons from alkylsilanes / Marko et al. -1998 (http//www.uspto.gov)
- Пат. 6,444,013 (США) МПК C07 °F 07/00 Purification of methylsilanes / Helly et al. 2002 (http//www.uspto.gov)
- Пат. 4,099,936 (США) МПК C01B 33/04 Process for the purification of silane / Tarancon 1978 (http//www.uspto.gov)
- Стрельцова H.P., Вельский B.K., Стороженка П. А. И др. Строение и свойства ионных комплексов хлорида алюминия с тетрагидрофураном и макроциклическими краун-эфирами. // Координационная химия, 1987, т. 13, вып.8, с.1101−1108
- Бенсон С. Основы химической кинетики.-Москва, Мир, 1967, с. 78
- Feuer Н., Hooz J. The chemistry of the Ether Linkage.- London, Interscience, 1967 p.243
- Васильева H.B., Смолина T.A., Тимофеева B.K. и др. Органический синтез.-Москва, Просвещение, 1986 с. 121
- Бартон Д., Оллис В. Общая органическая химия / перевод с англ. под ред. В. Г. Леви и др.- Москва, Химия, 1984 т.2, с.856
- Термодинамические свойства индивидуальных веществ.-Москва, Наука, 1981, т. З, кн.1, с.116
- Термодинамические свойства индивидуальных веществ.-Москва, Наука, 1981, т. З, кн.2 с.397
- Минкин В.И., Симкин Б. Я., Миняев P.M. Теория строения молекул.-Ростов-на-Дону, Феникс, 1997 с. 5 60
- Дымент О.Н. и др. Гликоли и другие производные окисей этилена и пропилена.- Москва, Химия, 1976 с.293
- Соммер Л.Г. Стереохимия и механизмы реакций кремнийорганических соединени.- М., Мир, 1966 с. 187
- Технологический регламент производства метилсилана № 113.- Москва, ГНИИХТЭОС, 2005
- Gaussian 98 (Revision A. l) Frisch M.J., Trucks G.W., Schlegel H.B., et al.-Pittsburgh PA, Gaussian Inc., 1998
- HyperChem7 Molecular Modeling System.-Hypercube Inc., 2002
- Marciniec В., Gulinski J., Urbaniak W., Kornetka Z. Comprehensive handbook on hydrosilylation.-NY, Pergamon press, 1992 p. 754
- Бажант В., Хваловски В., Ратоуски И. Силиконы. М., Госхимиздат, 1960 с.301
- Петров А.Д., Миронов В. Ф., Пономаренко В. А., Чернышев Е. А. Синтез кремнийорганических мономеров.-М., АН СССР, 1961 с.350