Использование. 
Применение эллипсометрических комплексов

Область применения эллипсометрии — исследования оптических свойств материалов, в том числе измерения оптических постоянных тонких (например, оксидных) пленок, а также их толщин.

Интерес к эллипсометрии возрос в 70−80-х гг. 20 в. в связи с особым значением, которое приобрели анализ структуры, изучение физико-химических свойств и контроль чистоты поверхностей благодаря быстрому развитию твердотельной (прежде всего полупроводниковой) электроники.

Эллипсометрию используют также в исследованиях адсорбции в глубоком вакууме на плоских поверхностях Si, Ag, Pt и др., адсорбции полимеров на границе жидкость-газ и жидкость-жидкость, процессов катализа на микроуровне, свойств верхних слоев поверхностей, подвергнутых коррозии, в электрохимии для изучения окисления и восстановления электродов.

В микробиологии для исследования оболочек клеток и липидных мембран и др.

Сканирующий эллипсометр высокого пространственно-временного разрешения «МИКРОСКАН — M».

Характеристика: Эллипсометр «МИКРОСКАН-М» предназначен для измерения оптических параметров поверхности микрообъектов и исследования поверхностных микроструктур с высоким временным разрешением.

Принцип действия прибора основан на измерении состояния поляризации света, отраженного от поверхности образца с последующим определением на основе этих измерений оптических параметров поверхности и пленочных структур.

Технические характеристики

Прибор позволяет проводить:

• * измерение оптических параметров поверхности микрообъектов и микроструктур с пространственным разрешением 5 мкм;
• * измерение динамики изменения оптических параметров поверхности микрообъектов с временным разрешением 1 микросекунда;
• * измерение распределения оптических параметров по площади образца размерами до 150Ч150 мм;
• * измерение толщин тонкопленочных слоев с погрешностью в единицы ангстрем;
• * измерение показателей преломления и поглощения слоев с погрешностью 0,001.

Области применения: Сканирующий эллипсометр пространственно-временного разрешения «МИКРОСКАН-М» отличается исключительно широкой сферой применения и предназначен для проведения уникальных исследований в различных областях современной науки и техники.

• * В области физики полупроводников:
  • ? измерение оптических характеристик полупроводниковых материалов, включая синтезированные полупроводниковые квантово-размерные структуры (сверхрешетки, квантовые точки и т. п.);
  • ? исследование физических характеристик тонкопленочных структур микрои нанометрового диапазонов: оптических постоянных, состава, кристаллического совершенства, механических напряжений и толщин слоев;
  • ? исследование межфазных границ раздела, процессов адсорбции-десорбции на поверхности твердых и жидких тел;
  • ? исследование имплантированных слоев полупроводников: процессов дефектообразования, кристаллизации и формирования полупроводниковых наноструктур;
  • ? исследование поверхности при плазмохимическом воздействии;
  • ? диагностика атомарно чистой поверхности полупроводников;
  • ? картирование оптических свойств исследуемых образцов.
• * В оптике:
• ? исследование оптических свойств материалов, пьезо-, электро-, магнито-оптических эффектов;
• ? исследование анизотропных свойств кристаллов и поверхностных пленок в кристаллооптике;
• ? исследования объектов многослойной и градиентной оптики. 3
• * В электрохимии:
• ? изучение процессов коррозии металлов;
• ? исследование начальных стадий зародышеобразования при электролизе;
• ? исследование процессов роста — растворения анодных окислов.

При этом эллипсометрия является уникальным методом, позволяющим проводить исследования в процессе протекания электрохимических реакций.

• * В органической химии:
  • ? исследование структурных свойств и оптических характеристик полимерных пленок, включая пленки Лэнгмюра-Блоджетт;
  • ? исследования адсорбции органических молекул на межфазных границах.
• * В биологии и медицине:
• ? исследования адсорбции белков и иммунологических реакций;
• ? исследования свертываемости крови;
• ? исследования клеточных структур;
• ? исследования глазных сред.

Цена базового комплекта (USD) — 20 000.